一种液冷镜架及其激光系统技术方案

本实用新型专利技术属于镜架散热技术领域，特别是涉及一种液冷镜架及其激光系统。液冷镜架包括镜架本体，镜架本体为挠性镜架，挠性镜架设有至少一条液冷通道，液冷通道位于挠性镜架内部或外侧，液冷通道设有进液口与出液口，用于与输液管线连接。本实用新型专利技术通过在挠性镜架上设置液冷通道，从而利用液冷通道对挠性镜架进行散热，进而保证镜架不会因温度过高产生热变形，影响光路的稳定性。并且该液冷镜架仅包括开设有液冷通道的镜架本体，无其他导热部件，使得镜架整体结构简单紧凑，成本更低，更加便于使用安装及加工。于使用安装及加工。于使用安装及加工。

【技术实现步骤摘要】
一种液冷镜架及其激光系统


[0001]本技术属于镜架散热
，特别是涉及一种液冷镜架及其激光系统。

技术介绍

[0002]挠性镜架由调节螺栓及挠性镜架结构组成，可在三维空间内通过调节螺栓对镜架进行一定角度的转动实现光路的调节。目前被广泛应用在激光相关实验或激光系统的搭建过程中。但由于挠性镜架自身结构的热稳定性较差，即便在前期调试完成，随着实验中激光持续照射在镜片上，镜片的温度升高，而当镜片进一步将热量传递给挠性镜架之后，则会使镜架发生不可逆的热变形，镜架的热变形会直接导致激光系统中的相应光路发生偏移，更会加大后续角度调节难度，进而容易导致激光系统的稳定输出性变差，甚至会在镜架内持续积累热应力，情况严重的话还会对镜架造成不可逆的损坏，因此需要采取相应的散热、冷却等温度控制措施，使镜架的温度维持在一定范围内。
[0003]授权公告号为CN201142512Y，授权公告日为2008年10月29日的中国技术专利公开了一种适合移动式加工全固态大功率激光器的光学调整镜架，其包括镜框、支架、微调螺纹副，镜框上设有四个拉簧孔并通过拉簧与支架连接，且镜框的旁侧面设置有冷却水进口和出口。可通过微调螺纹副在空间二维角度范围内变换镜片角度，并可通过冷却水通道对镜片散热。
[0004]授权公告号为CN205901060U，授权公告日为2017年1月18日的中国技术专利公开了一种激光器冷却镜架装置，其包括镜架本体，镜架本体与短板和镜片安装座安装在一起，镜片安装座内安装有镜片，还包括有冷却管线，镜架本体的底部加工有贯穿侧壁的凹槽，冷却管线安装在镜架本体的凹槽内，其通过在镜架本体上额外增加与其材质相同的冷却管线，避免冷却管线因热膨胀系数不同导致变形脱落保证持续冷却降温的功能，以解决镜片受热变形的问题。
[0005]申请公布号为CN114914776A，申请公布日为2022年8月16日的中国专利技术专利申请公开了一种用于激光系统的镜片散热装置，其安装在激光系统的镜片上，包括安装镜架、固定压圈和冷却接头，安装镜架设有中心孔洞和围绕该中心孔洞的镜片安装槽，镜片安装在镜片安装槽内并由固定压圈固定，安装镜架内部形成有冷却流道，该冷却流道的端部贯通安装镜架的端面，形成冷却液进出口。并且在安装镜架与镜片之间还开设有预留孔与高导热间隙，用于填充流动性导热材质，并在镜片与固定压圈之间设置高导热率的垫圈，使镜片与安装镜架之间实现高效导热，或通过在安装镜架与镜片支架设置导热圈，将上述导热与散热方式任意组合可达到使镜片快速散热的目的。
[0006]但上述激光器的镜架上设置的散热装置的冷却流道或冷却管线实际上是为实现镜片散热，并对镜片的温度进行有效控制，避免镜片变形，而非针对挠性镜架进行有效的散热保护，因此，目前在激光系统中缺少针对挠性镜架热稳定性差所设置的相应散热保护结构。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种液冷镜架，以解决现有技术中激光系统缺少针对挠性镜架所设置的散热保护结构的技术问题。
[0008]本技术的目的还在于提供一种激光系统，以解决同样的技术问题。
[0009]为实现上述目的，本技术所提供的液冷镜架的技术方案是：
[0010]一种液冷镜架，包括镜架本体，所述镜架本体为挠性镜架，所述挠性镜架设有至少一条液冷通道，所述液冷通道位于挠性镜架内部或外侧，所述液冷通道设有进液口与出液口，用于与输液管线连接。
[0011]有益效果是：本技术的改进之处在于通过在挠性镜架上设置液冷通道，从而利用液冷通道对挠性镜架进行散热，进而保证镜架不会因温度过高产生热变形，影响光路的稳定性。并且该液冷镜架仅包括开设有液冷通道的镜架本体，无其他导热部件，使得镜架整体结构简单紧凑，成本更低，更加便于使用安装及加工。
[0012]作为进一步地改进，所述液冷通道由挠性镜架内部开设的孔道构成，所述孔道的两端口分别为进液口与出液口。
[0013]有益效果是：将液冷通道设于挠性镜架内部，并直接将孔道的两端口作为进液口与出液口，可减少挠性镜架外部部件数目，使其结构更加简单紧凑。
[0014]作为进一步地改进，所述进液口和出液口的内径与孔道主体内径一致，用于直接或通过转接头与输液管线连通。
[0015]有益效果是：使液冷通道的进液口与出液口的内径与孔道主体内径一致，可使进液口与出液口的结构简单，并直接或通过转接头与外界供液装置连通，避免在挠性镜架上额外固定配备供液体进出的接头，简化结构，减少成本。
[0016]作为进一步地改进，所述孔道为波纹状孔道。
[0017]有益效果是：波纹状孔道可增大液冷通道内部表面积，从而提高内部冷却液体与镜架本体的换热效率。
[0018]作为进一步地改进，所述液冷通道为U形结构，环绕镜片的安装位置。
[0019]有益效果是：设置孔道为环绕镜片安装位置的U型结构，可实现通过液冷通道同时对镜片与镜架进行充分散热，进一步提高液冷镜架的冷却散热效果以及液冷通道的充分利用率。
[0020]为实现上述目的，本技术所提供的激光系统的技术方案是：
[0021]一种激光系统，包括液冷镜架，所述液冷镜架包括镜架本体，所述镜架本体为挠性镜架，所述挠性镜架设有至少一条液冷通道，所述液冷通道位于挠性镜架内部或外侧，所述液冷通道设有进液口与出液口，用于与输液管线连接。
[0022]有益效果是：本技术的改进之处在于通过在挠性镜架上设置液冷通道，从而利用液冷通道对挠性镜架进行散热，进而保证镜架不会因温度过高产生热变形，影响光路的稳定性。并且该液冷镜架仅包括开设有液冷通道的镜架本体，无其他导热部件，使得镜架整体结构简单紧凑，成本更低，更加便于使用安装及加工。
[0023]作为进一步地改进，所述液冷通道由挠性镜架内部开设的孔道构成，所述孔道的两端口分别为进液口与出液口。
[0024]有益效果是：将液冷通道设于挠性镜架内部，并直接将孔道的两端口作为进液口
与出液口，可减少挠性镜架外部部件数目，使其结构更加简单紧凑。
[0025]作为进一步地改进，所述进液口和出液口的内径与孔道主体内径一致，用于直接或通过转接头与输液管线连通。
[0026]有益效果是：使液冷通道的进液口与出液口的内径与孔道主体内径一致，可使进液口与出液口的结构简单，并直接或通过转接头与外界供液装置连通，避免在挠性镜架上额外固定配备供液体进出的接头，简化结构，减少成本。
[0027]作为进一步地改进，所述孔道为波纹状孔道。
[0028]有益效果是：波纹状孔道可增大液冷通道内部表面积，从而提高内部冷却液体与镜架本体的换热效率。
[0029]作为进一步地改进，所述液冷通道为U形结构，环绕镜片的安装位置。
[0030]有益效果是：设置孔道为环绕镜片安装位置的U型结构，可实现通过液冷通道同时对镜片与镜架进行充分散热，进一步提高液冷镜架的冷却散热效果以及液冷通道的充分利用率。
附图说明
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液冷镜架，包括镜架本体，所述镜架本体为挠性镜架，其特征是，所述挠性镜架设有至少一条液冷通道，所述液冷通道位于挠性镜架内部或外侧，所述液冷通道设有进液口与出液口，用于与输液管线连接。2.根据权利要求1所述的液冷镜架，其特征是，所述液冷通道由挠性镜架内部开设的孔道构成，所述孔道的两端口分别为进液口与出液口。3.根据权利要求2所述的液冷镜架，其特征是，所述进液口和出液口的内径与孔道主体内径一致，用于直接或通过转接头与输液管线连通。4.根据权利要求3所述的液冷镜架，其特征是，所述孔道为波纹状孔道。5.根据权利要求1
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4任一项所述的液冷镜架，其特征是，所述液冷通道为U形结构，环绕镜片的安装位置。6.一种激光系统，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：张颖力，马孝海，张超，
申请(专利权)人：河南省启封新源光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：