本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。元进行对外加热。元进行对外加热。
【技术实现步骤摘要】
一种电磁加热装置
[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种电磁加热装置。
技术介绍
[0002]现有的金属微纳材料在制造过程中需要进行加热或局部加热，例如,microLED、miniLED的键合封装或者芯片电极的焊接等一系列的应用场合，而现有的电磁加热设备在实际应用的时候，要么是整个电磁加热设备进行加热，要么是整个电磁加热设备不进行加热，其没办法对待加热的材料进行选择性（即局部）加热，因此，需要解决上述问题。
[0003]针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种电磁加热装置，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热，以实现对待加热材料的单点加热或局部加热，无需所有电磁感应单元同时工作，减少资源浪费。
[0005]本申请提供了一种电磁加热装置，包括基板，所述基板上设置有至少一个行电极、至少一个列电极和多个电磁感应单元，且所述行电极和所述列电极的数量不同时为一；各个所述电磁感应单元均设置有第一电极、第二电极和第三电极，各个所述电磁感应单元的所述第一电极均与一个所述行电极连接，各个所述电磁感应单元的所述第二电极均与一个所述列电极连接；所有所述电磁感应单元的所述第一电极不全连接于同一个所述行电极，和/或所有所述电磁感应单元的所述第二电极不全连接于同一个所述列电极；所述行电极和所述列电极中的一个用于连接外部电源的正极，所述行电极和所述列电极中的另一个用于连接外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极，所述第三电极用于连接所述外部电源的负极或所述外部高频脉冲电源的公共极；所述电磁感应单元用于在自身的所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述外部电源的正极连通，自身的所述第一电极和所述第二电极中的另一个与所述外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通时，形成用于对外加热的交变磁场。
[0006]本申请提供的电磁加热装置，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热，以实现对待加热材料的单点加热或局部加热，无需所有电磁感应单元同时工作，减少资源浪费。
[0007]可选地，多个所述电磁感应单元以阵列方式排布在所述基板上。
[0008]可选地，所述阵列方式为方形阵列，所述方形阵列包括多个横队和多个纵队，各个所述横队均设置有一个所述行电极和多个所述电磁感应单元，所述横队的各个所述电磁感应单元的所述第一电极均与对应的所述行电极连接，各个纵队均设置有一个所述列电极和多个所述电磁感应单元，所述纵队的各个所述电磁感应单元的所述第二电极均与对应的所述列电极连接。
[0009]通过上述设置，无需在同一个横队中设置多个行电极，无需在同一个纵队中设置
多个列电极，从而简化结构，降低生产成本。
[0010]可选地，还包括第一绝缘隔层，所述第一绝缘隔层设置在所述行电极和所述列电极之间，所述第一绝缘隔层用于防止所述行电极和所述列电极短路。
[0011]通过设置第一绝缘隔层，防止行电极和列电极短路，提高安全性。
[0012]可选地，所述电磁感应单元包括LC振荡电路、MOS管和稳压二极管，所述LC振荡电路设置有第四电极和所述第一电极，所述MOS管和所述稳压二极管并联，且所述MOS管和所述稳压二极管之间的第一连接点与所述LC振荡电路的所述第四电极连接，所述MOS管和所述稳压二极管之间的第二连接点与所述第三电极连接，所述MOS管的栅极设置有所述第二电极；所述LC振荡电路用于产生所述交变磁场。
[0013]可选地，所述LC振荡电路包括平面线圈、层叠电容，所述平面线圈与所述层叠电容并联。
[0014]可选地，所述层叠电容包括多个电容介质层和多个电容极板层，多个所述电容介质层和多个所述电容极板层交替层叠。
[0015]可选地，所述LC振荡电路还包括第五电极和第六电极，所述第五电极与所述平面线圈的一端和所述层叠电容的奇数层电容极板层连接，所述第六电极与所述平面线圈的另一端和所述层叠电容的偶数层电容极板层连接，所述第六电极还用于与所述第四电极连接；所述奇数层电容极板层是指沿层叠方向排序为奇数的所述电容极板层，所述偶数层电容极板层是指沿所述层叠方向排序为偶数的所述电容极板层。
[0016]可选地，所述LC振荡电路还包括第二绝缘隔层，所述平面线圈设置在所述层叠电容的上方，所述第二绝缘隔层设置在所述平面线圈和所述层叠电容之间。
[0017]可选地，所述平面线圈呈螺旋型，且螺旋间距均匀不变。
[0018]有益效果：本申请提供的一种电磁加热装置，通过设置多个电磁感应单元，所述行电极和所述列电极的数量不同时为一，并使所有所述电磁感应单元的所述第一电极不全连接于同一个所述行电极，和/或所有所述电磁感应单元的所述第二电极不全连接于同一个所述列电极，当需要进行局部加热的时候，通过使对应的电磁感应单元自身的所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述外部电源的正极连通，自身的所述第一电极和所述第二电极中的另一个与所述外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热，以实现对待加热材料的单点加热或局部加热，无需所有电磁感应单元同时工作，减少资源浪费。
附图说明
[0019]图1为本申请提供的电磁加热装置的整体结构示意图。
[0020]图2为本申请提供的电磁感应单元的结构示意图。
[0021]图3为本申请提供的平面线圈的结构示意图。
[0022]图4为本申请提供的LC振荡电路的结构示意图。
[0023]标号说明：10、基板；11、行电极；12、列电极；13、电磁感应单元；14、第一电极；15、第二电极；16、第三电极；17、第四电极；18、平面线圈；19、层叠电容；20、MOS管；21、稳压二极管；22、第五电极；23、第六电极；24、电容介质层；25、电容极板层。
具体实施方式
[0024]下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0025]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]请参照图1
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图4，图1是本申请实施例中的一种电磁加热装置的整体结构示意图，可根据实际需要，有针对性本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电磁加热装置，其特征在于，包括基板（10），所述基板（10）上设置有至少一个行电极（11）、至少一个列电极（12）和多个电磁感应单元（13），且所述行电极（11）和所述列电极（12）的数量不同时为一；各个所述电磁感应单元（13）均设置有第一电极（14）、第二电极（15）和第三电极（16），各个所述电磁感应单元（13）的所述第一电极（14）均与一个所述行电极（11）连接，各个所述电磁感应单元（13）的所述第二电极（15）均与一个所述列电极（12）连接；所有所述电磁感应单元（13）的所述第一电极（14）不全连接于同一个所述行电极（11），和/或所有所述电磁感应单元（13）的所述第二电极（15）不全连接于同一个所述列电极（12）；所述行电极（11）和所述列电极（12）中的一个用于连接外部电源的正极，所述行电极（11）和所述列电极（12）中的另一个用于连接外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极，所述第三电极（16）用于连接所述外部电源的负极或所述外部高频脉冲电源的公共极；所述电磁感应单元（13）用于在自身的所述第一电极（14）和所述第二电极（15）中的一个与所述外部电源的正极连通，自身的所述第一电极（14）和所述第二电极（15）中的另一个与所述外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通时，形成用于对外加热的交变磁场。2.根据权利要求1所述的电磁加热装置，其特征在于，多个所述电磁感应单元（13）以阵列方式排布在所述基板（10）上。3.根据权利要求2所述的电磁加热装置，其特征在于，所述阵列方式为方形阵列，所述方形阵列包括多个横队和多个纵队，各个所述横队均设置有一个所述行电极（11）和多个所述电磁感应单元（13），所述横队的各个所述电磁感应单元（13）的所述第一电极（14）均与对应的所述行电极（11）连接，各个纵队均设置有一个所述列电极（12）和多个所述电磁感应单元（13），所述纵队的各个所述电磁感应单元（13）的所述第二电极（15）均与对应的所述列电极（12）连接。4.根据权利要求3所述的电磁加热装置，其特征在于，还包括第一绝缘隔层，所述第一绝缘隔层设置在所述行电极（11）和...
【专利技术属性】
技术研发人员：田德天，李义，梁振廷，徐成，王玉，安宁，陈培培，秦燕亮，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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