透射式光学低温恒温探针台制造技术

本发明专利技术提供一种透射式光学低温恒温探针台，主要分为真空腔和探测架两部分，真空腔的设置有用于光线透射的法兰口；探测架主要将轴承与载物托板进行嵌合设计，通过电机控制载物托板进行任意圈数的旋转，并将样品槽设计成通孔的形式，保证光线可以通过样品槽。本发明专利技术实现了透射式光学探测，在探测过程中需要更换探测样品时，仅需要控制载物托板进行旋转即可更换探测样品，无需手动改变探针位置，无需重新进行回温、回压、抽真空、降温等繁杂的过程，极大较低了探测过程复杂程度以及缩短了探测时间。间。间。

【技术实现步骤摘要】
透射式光学低温恒温探针台


[0001]本专利技术涉及探针台
，具体提供一种透射式光学低温恒温探针台。

技术介绍

[0002]探针台主要用于半导体、生物蛋白检测以及芯片上的高精密电学测量等行业。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能和要求逐步提高。目前，世界各地的政府实验室、工业和大学的研究需要低温恒温探针台，国内市场上的低温恒温探针台均为进口的设备，价格昂贵，而且目前绝大多数低温恒温探针台均是采用横向放置样品的形式，在一些需要进行透射式探测时，现有的低温恒温探测台则无法使用，例如泵浦探测类实验、可透光半导体材料器件检测、溶液生物蛋白材料检测、可透光金属薄膜检测等。此外，现有的低温恒温探测台在更换探测材料时，需要通过回温、回压再抽真空、降温等繁杂过程更换待测样品。
[0003]因此，亟需一种探测样品更换简单且能够满足透射式探测的低温恒温探针台。

技术实现思路

[0004]本专利技术为解决上述问题，提供了一种透射式光学低温恒温探针台，将载物托板进行可旋转化的设计，将样品槽设计成通孔的形式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透射式光学低温恒温探针台，其特征在于，包括：真空腔和探测架；所述真空腔的侧面设置有对称的法兰口，所述法兰口采用透光材料密封，所述法兰口用于光线透射；所述探测架包括液氮循环腔、载物托板、电机、导热片、轴承、球头探针和电控伺服平台；所述液氮循环腔与所述轴承连接，所述液氮循环腔用于储存液氮并向所述轴承进行热传导；所述载物托板固定在所述轴承的内部，所述载物托板的正面均匀设置有至少两个样品槽，样品槽为通孔状，光线可穿过样品槽，每个样品槽的附近位置设置有至少四个探针孔，所述载物托板的背面贴合有所述导热片，导热片将所述轴承的热量均匀传导至所述载物托板，所述载物托板的背面中心处与所述电机连接，所述电机用于控制所述载物托板进行旋转；所述球头探针与所述电控伺服平台连接，所述电控伺服平台用于控制所述球头探针移入或移出探针孔。2.如权利要求1所述的透射式光学低温恒温探针台，其特征在于，所述真空腔具有测温、调温以及抽真空的功能。3.如权利要求1所述的透射式光学低温恒温探针台，其特征在于，所述真空腔通过真空电缆连接器对所述探测架供电。4.如权利要求1所述的透射式光学低温恒温探针台，其特征在于，探针孔的数量为4，分别通...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云鹏，赵东旭，王飞，范翊，成明，姜洋，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：