薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法技术

提供：一种粘着剂，其基本上不包含表面改性剂，并且在薄膜组件分离后留下较少的残留物；一种薄膜组件；以及一种选择留下较少残留物的粘着剂的方法。更具体地说，提供：一种薄膜组件用粘着剂，该粘着剂的剥离强度与拉伸强度之比为一种薄膜组件，其包括薄膜组件框架、设置在所述薄膜组件框架的上端面上方的薄膜组件膜和粘附到所述薄膜组件框架的下端面的所述粘着剂；以及一种选择粘着剂的方法，包括以下步骤：测量粘着剂的剥离强度和拉伸强度，以及选择前者与后者之比为0.10至0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。

【技术实现步骤摘要】
薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法
[0001]本申请是分案申请，原案申请的申请号为201710555994.7，申请日为2017年7月10日，优先权日为2016年7月11日，专利技术名称为“薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法”。


[0002]本专利技术涉及在生产半导体装置、印刷板、液晶显示器和类似装置时用作防尘罩的光刻用薄膜组件(pellicle)。

技术介绍

[0003]在诸如LSI和超级LSI的半导体、液晶显示器或类似装置的生产中，用光照射半导体晶片或液晶的主板以形成图案。当使用附着有灰尘的光掩模或光罩(以下简称为“光掩模”)进行图案化时，所得到的图案具有粗糙的边缘，或者基底具有黑色污渍，例如导致尺寸受损、质量较差或外观差。
[0004]为了解决这些问题，通常在洁净室中进行这种工艺，但是仍然难以恒定地保持光掩模清洁。因此，在曝光之前，将作为防尘罩的薄膜组件附着到光掩模的表面。在这种情况下，异物不直接附着到光掩模的表面，而是附着在该薄膜组件上。当光刻的焦点设置在光掩模上的图案时，该薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜组件的粘着剂，所述粘着剂的剥离强度与拉伸强度之比为0.10至0.33。2.根据权利要求1所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述粘着剂是丙烯酸粘着剂。3.根据权利要求1或2所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述粘着剂包含由组合物固化的产物，该组合物包含：丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物，以及固化剂，其为环氧化合物和异氰酸酯化合物，其中所述丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物包含丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯单体单元和与环氧基或异氰酸酯基具有反应性的单体单元。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述粘着剂具有660％以下的行程，其中所述行程是在测量所述拉伸强度中断裂时的伸长率。5.根据权利要求1
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4中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述剥离强度为1.20N/cm2以上。6.根据权利要求1
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4中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述剥离强度为1.20至30N/cm2。7.根据权利要求1
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4中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述剥离强度为1.20至3.27N/cm2。8.根据权利要求1
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7中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述拉伸强度为7.99至15.85N/cm2。9.根据权利要求3
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8中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述组合物包含：所述丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物，其包含90
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99重量％的丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯单体单元和1
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10重量％的与环氧基或异氰酸酯基具有反应性的单体单元，以及所述固化剂。10.根据权利要求3
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9中任一项所述的用于薄膜组件的粘着剂，其中所述组合物基本上不含表面改性剂。11.一种薄膜组件，其包括：薄膜组件框架；设置在所述薄膜组件框架的上端面上方的薄膜组件膜；以及粘附到所述薄膜组件框架的下端面的权利要求1
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10中任一项所述的粘着剂。12.根据权利要求11所述的薄膜组件，其中所述薄膜组件框架具有四边形框架形状。13.根据权利要求11或12所述的薄膜组件，其中所述剥离强度是通过如下得到：抓住所述薄膜组件框架的长边并以恒定的速度拉动所述薄膜组件来测量载荷，直到所述薄膜组件与光掩模完全分离，然后将最大载荷除以剥离面积。14.根据权利要求11
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13中任一项所述的薄膜组件，其中所述粘着剂设置在所述薄膜组件框架的下端面上的整个周界上方。15.一种带有粘着剂的薄膜组件框架，其包括：薄膜组件框架；以及所述粘着剂，其粘附到所述薄膜组件框架的下端面并具有0.10至0.33的剥离强度与拉
伸强度之比。16.根据权利要求15所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述粘着剂是丙烯酸粘着剂。17.根据权利要求15或16所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述粘着剂包含由组合物固化的产物，该组合物包含：丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物，以及固化剂，其为环氧化合物和异氰酸酯化合物，其中所述丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物包含丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯单体单元和与环氧基或异氰酸酯基具有反应性的单体单元。18.根据权利要求15
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17中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述粘着剂具有660％以下的行程，其中所述行程是在测量所述拉伸强度中断裂时的伸长率。19.根据权利要求15
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18中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述剥离强度为1.20N/cm2以上。20.根据权利要求15
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18中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述剥离强度为1.20至30N/cm2。21.根据权利要求15
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18中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述剥离强度为1.20至3.27N/cm2。22.根据权利要求15
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21中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述拉伸强度为7.99至15.85N/cm2。23.根据权利要求17
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22中任一项所述的带有粘着剂的薄膜组件框架，其中所述组合物包含：所述丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯共聚物，其包含90
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99重量％的丙烯酸烷基酯或甲基丙烯酸烷基酯单体单元和1
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10重量％的与环氧基或异氰酸酯基具有反应性的单体单元，以及所述固化...

【专利技术属性】
技术研发人员：簗濑优，堀越淳，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：