一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置及工作方式制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置及工作方式，该装置主要由定子组件、动子组件、底座构成，所述定子组件通过其驱动足连接定子组件，所述动子组件通过置于底板及动子上的滚动体连接底板并构成滚动副，本发明专利技术的定子组件以双内十字构型作为定子基体，利用贴附在定子基体上多个压电陶瓷片激发定子组件的三相特定工作模态的共振或近共振，驱使定子基体上的8个驱动足生成两相正交行进的椭圆运动轨迹，据此推动动子组件同时沿x、y向移动，并输出微米甚至更高精度等级的平面运动，且使运动装置具有快速响应特性并且定子组件上的八对驱动足交替推动子组件，从而成倍地增大运动装置输出的推力并使其运行更平稳。增大运动装置输出的推力并使其运行更平稳。增大运动装置输出的推力并使其运行更平稳。

【技术实现步骤摘要】
一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置及工作方式


[0001]本专利技术涉及压电精密驱动
，尤其涉及一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置及工作方式。

技术介绍

[0002]随着航空航天、超精加工、生物医学工程等现代高科技的快速发展，人们对具有高精度、轻量化、大动力密度、响应快、智能化特性大行程平面运动装置的需求量越来越大，要求也越来越高。传统的平面运动装置往往采用两组旋转电机驱动直线变换机构(如丝杆螺母副机构、带式直线模组)以推动二维平面运动台。由于直线运动变换机构难免存在间隙、摩擦、变形等一系列问题，因此这类平面运动装置很难满足高精密运动驱动的需要，与此同时，由于运动变换机构的传动链不可避免地会给平面运动装置带来较大附加质量，从而将严重地影响这类装置的响应的快速性。除此之外，因受到丝杆副等的尺寸影响，这类装置的小型轻量化和集成化很难得以实现。因为广泛存在上述问题，因此传统的平面运动装置很难大集成度硅片加工、高精密光纤对接、IC芯片光刻、LIGA等高精尖领域得到应用。压电平面运动驱动装置或压电平面电机是解决高精密平面运动驱动的重要途径。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置，其特征在于：包括定子组件、动子组件和底座，定子组件包括定子基体、压电陶瓷片和驱动头足，定子基体整体呈内十字结构，定子基体包含方框形结构板，方框形结构板沿中线对称上下分布有四根纵杆，方框形结构板沿中线对称左右分布有四根横杆，压电陶瓷片成对环设且粘贴于纵杆和横杆的中心位置的四周，纵杆、横杆均呈方形杆状结构，纵杆、横杆的端部正面中间位置均设置有驱动足，动子组件包括上层滑板、下层滑板和平台支撑件，上层滑板、下层滑板通过立柱和动子螺栓固定连接，平台支撑件包括上层矩形板和下层矩形板，上层矩形板和下层矩形板上均设置有的凹坑，凹坑内装有滚珠，上层滑板、下层滑板分别与滚珠直接接触并构成滚动副，定子组件设置在上层滑板、下层滑板之间，设置在上、下层的纵杆、横杆的驱动足的顶面分别与上层滑板、下层滑板连接，底座包括方形支撑台，方形支撑台上设置有定子组件连接件和动子组件连接件，动子连接组件包括设置在方形支撑台上的立板，立板的上下端面均设置有弹性垫片，定子连接组件包括设置在立板上的连接轴，方框形结构板的四个边角侧边处设置有用于定子固定的定位孔，连接轴通过连接螺钉与定位孔固定连接。2.根据权利要求1所述的一种双内十字定子驱动的压电平面运动装置，其特征在于：压电陶瓷激励组件包括面外纵振激励陶瓷和面内弯振激励陶瓷，所述面外弯振激励陶瓷分别对称粘...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺红林，李晨捷，李冀，鄢殷期，龙玉繁，
申请(专利权)人：南昌航空大学，
类型：发明
国别省市：