热电堆器件的塞贝克系数测试方法、装置、系统和设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种热电堆器件的塞贝克系数测试方法、装置、系统和计算机设备、存储介质，测试系统包括红外成像仪、纳伏计、加热器、样品台、探针以及计算机设备；样品台用于放置热电堆器件的测试样品；加热器用于为测试样品加热；纳伏计连接探针并通过探针测试测试样品的热电势差，并将热电势差发送到计算机设备；红外成像仪放置在样品台的上方，用于采集测试样品的温差，并将温差发送到计算机设备；计算机设备用于根据测试样品的热电势差以及温差计算热电堆器件的塞贝克系数。上述测试系统实现了对热电堆器件的塞贝克系数的测试，从而采用该套测试系统能够测试出热电堆器件的电偶尺寸的增大对热电堆器件的塞贝克系数的影响。寸的增大对热电堆器件的塞贝克系数的影响。寸的增大对热电堆器件的塞贝克系数的影响。

【技术实现步骤摘要】
热电堆器件的塞贝克系数测试方法、装置、系统和设备


[0001]本专利技术涉及微机电系统
，特别是涉及一种热电堆器件的塞贝克系数测试方法、装置、系统和计算机设备、存储介质。

技术介绍

[0002]随着微机电系统MEMS技术的发展，热探测器件低成本、微型化、实现了大批量生产及应用。热电堆作为热红外探测器的一种，由于其在室温下不制冷、无斩波要求且成本低、响应范围宽等优点，已成MEMS热传感器件的研究热点。
[0003]为了改善用于MEMS热电堆器件的性能，往往采用掺杂工艺，通过增加积体材料的载流子/空穴浓度来增大塞贝克系数绝对值，从而提高器件的输出电压来提升器件性能。然而，采用掺杂工艺增加积体材料的载流子/空穴浓度时，将导致热电堆器件的电偶尺寸增大。当前，没有关注到热电堆器件的电偶尺寸的增大将影响器件的塞贝克系数。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种热电堆器件的塞贝克系数测试方法、装置、系统和计算机设备、存储介质。
[0005]为了解决上述中至少一个技术问题，本专利技术实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热电堆器件的塞贝克系数测试系统，其特征在于，所述测试系统包括红外成像仪、纳伏计、加热器、样品台、探针以及计算机设备；所述样品台用于放置热电堆器件的测试样品；所述加热器用于为所述测试样品加热；所述纳伏计连接所述探针并通过所述探针测试所述测试样品的热电势差，并将所述热电势差发送到所述计算机设备；所述红外成像仪放置在所述样品台的上方，用于采集所述测试样品的温差，并将所述温差发送到所述计算机设备；所述计算机设备用于根据所述测试样品的热电势差以及温差计算所述热电堆器件的塞贝克系数。2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述加热器用于在平行于所述测试样品的长度方向向所述测试样品施加温度梯度的热量。3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，所述探针分别连接所述测试样品的第一铝电极和第三铝电极，以测量所述测试样品的热电势差。4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述热电势差为最高电压和最低电压的差值，所述温差为最高温度和最低温度的差值；其中，所述最高电压与所述最高温度对应，所述最低电压和所述最低温度对应。5.根据权利要求4所述的测试系统，其特征在于，所述计算机设备用于根据所述测试样品的热电势差以及温差的线性关系的斜率计算所述热电堆器...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹轶，黄蓝花，
申请(专利权)人：深圳市氿博传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：