光波导元件、光调制器、光调制模块以及光发送装置制造方法及图纸

本发明专利技术同时抑制凸状光波导与高频信号电极的多个交叉部中的光波导的光吸收损耗及高频信号电极的信号传播损耗，以实现良好的动作特性。光波导元件具有：基板，形成有光波导；以及电极，形成于基板上且具有在光波导上交叉的交叉部，所述光波导包含在基板上延伸的凸部，在沿着所述电极相邻的所述交叉部具有沿着所述电极填埋所述凸部之间并且覆盖所述凸部的上部的、包含树脂的中间层。包含树脂的中间层。包含树脂的中间层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光波导元件、光调制器、光调制模块以及光发送装置


[0001]本专利技术涉及一种光波导元件、光调制器、光调制模块以及光发送装置。

技术介绍

[0002]在高速/大容量光纤通信系统中，多使用装入有作为光波导元件的光调制元件的光调制器，所述光波导元件包含形成于基板上的光波导与对在光波导中传播的光波进行控制的控制电极。其中，将具有光电效应的LiNbO3(以下也称为LN)用于基板的光调制元件由于光的损耗少且可实现宽带域的光调制特性，因而被广泛地用于高速/大容量光纤通信系统。
[0003]尤其关于光纤通信系统的调制方式，受近年来传送容量的增大化潮流的影响，四相相移键控(Quadrature Phase Shift Keying，QPSK)或双极化四相相移键控(Dual Polarization
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Quadrature Phase Shift Keying，DP
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QPSK)等多值调制或对多值调制导入了极化多工的传送格式成为主流，除了用于基干光传送网以外，也逐渐被导入至城域网(metro network)。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光波导元件，具有：基板，形成有光波导；以及电极，形成于所述基板上且具有在所述光波导上交叉的交叉部，所述光波导元件中，所述光波导包含在所述基板上延伸的凸部，在沿着所述电极相邻的所述交叉部具有沿着所述电极填埋所述凸部之间并且覆盖所述凸部的上部的、包含树脂的中间层。2.根据权利要求1所述的光波导元件，其中所述中间层在俯视时沿着所述电极呈带状。3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其中关于所述中间层的上表面，从最靠近所述中间层的端部的所述凸部的上部的位置至所述端部为止的范围大致平坦地构成。4.根据权利要求3所述的光波导元件，其中所述中间层的从所述凸部的上表面测量的厚度大于所述凸部距所述基板的面的高度的值。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导元件，其中所述中间层包含多个层。6.根据权利要求5所述的光波导元件，其中构成所述中间层的所述多个层包含一层及配设于所述一层的上方的其他层，所述其他层包含对所述基板涂布时的粘性高于构成所述一层的一树脂的其他树脂。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光波导元件，其中所述光波导包括分别包含相互相邻的多个所述光波导的两个波导组...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎徳一，菅又彻，
申请(专利权)人：住友大阪水泥株式会社，
类型：发明
国别省市：