狭缝隔板制造技术

本发明专利技术涉及一种狭缝隔板，涉及一种包括定位成彼此相邻的至少两个狭缝隔板的狭缝隔板系统，并且涉及一种具有狭缝隔板的涂覆模块或涂覆单元。涂覆单元。涂覆单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】狭缝隔板


[0001]本专利技术涉及一种狭缝隔板、一种包括布置成彼此相邻的至少两个狭缝隔板的狭缝隔板系统，并且涉及一种包括狭缝隔板的涂覆模块和涂覆设施。

技术介绍

[0002]狭缝隔板用于各种
，并且在例如涂覆设施领域中被采用。例如，在使用不同的溅射阴极和靶材物理沉积层系统的情况下，通过闭合的隔板保护相应的非活性靶材免于受到污染。在这种情况下，狭缝膜片用作挡板。然而，狭缝隔板也与可变隔板狭缝一起使用，例如以便能够选择性地影响层厚度曲线(参见例如EP 3 663 431 A1)。
[0003]用于溅射设施的各种隔板系统例如从JP H03
‑
202 466A,US 2013/299345A1,DE 10 2016 116 568 A1,EP 3 556 902 A1和EP 3 587 619 A1中已知。然而，这些狭缝隔板表现出各种缺点。例如，齿条齿轮驱动件和致动器相对昂贵，并且前者经常有机械问题。例如，它们很容易卡住或倾斜。另一方面，EP 3 556902A1中所描述的布置需要相对大量的空间。由于在真空中操作，常常需要膜波纹管，但膜波纹管容易出现故障，并且因此需要大量维护。此外，膜波纹管的使用寿命有限，并且只能持续有限次数的载荷循环。相对复杂的解决方案中的许多包括多个磨损部件，这些磨损部件会对操作可靠性产生不利影响，尤其是在真空密闭性方面。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术的目的是提供改进的狭缝隔板，特别地用于涂覆设施，所述改进的狭缝隔板考虑到上述缺点。所述目的通过下文描述的狭缝隔板和如权利要求1和2所述的狭缝隔板系统来实现。本专利技术的优选实施方案在从属权利要求中描述。
[0005]因此，本专利技术涉及一种狭缝隔板，所述狭缝隔板包括两个可移动地安装的细长隔板元件，每个元件具有第一纵向端部和第二纵向端部。具有可变宽度的细长隔板狭缝被配置在细长隔板元件之间。细长隔板元件的两个第一纵向端部连接到旋转驱动单元并且细长隔板元件的两个第二纵向端部彼此联接。
[0006]根据本专利技术的另一方面，要求保护一种包括两个可移动地安装的细长隔板元件的狭缝隔板，每个可移动地安装的细长隔板元件具有第一纵向端部和第二纵向端部，其中具有可变宽度的细长隔板狭缝被配置在细长隔板元件之间。两个细长隔板元件旋转地安装并且可由驱动单元移动，使得细长隔板狭缝的纵向取向对于不同的隔板狭缝宽度保持恒定。
[0007]换句话说，本专利技术基于，特别是，通过隔板元件的旋转轴承和/或通过旋转驱动单元替换在许多方面存在问题的已知狭缝隔板的线性驱动件的想法。隔板元件的两个第一纵向端部连接到旋转驱动单元并且两个第二纵向端部彼此联接的事实意味着狭缝隔板可用单个驱动单元打开和闭合。此外，联接确保细长隔板狭缝的纵向取向对于不同的隔板狭缝宽度保持不变，这在狭缝隔板不仅用作挡板而且例如涂覆设施要在不同的狭缝宽度下操作的情况下特别重要。
[0008]根据本专利技术的旋转驱动单元以及隔板元件的旋转轴承可以以简单的方式并且以具有成本效益的方式实现。可通过简单的旋转馈通件实现到真空的转变，因此可摒弃包括用于线性移动的机械装置的有问题的膜波纹管。最后，根据本专利技术的狭缝隔板非常节省空间，这将在下面详细解释。
[0009]根据本专利技术，细长隔板元件被理解为这样的隔板元件，其中长宽的比率为至少4，优选至少6，并且特别优选至少8。所述比率也可以是至少10或至少12。这同样适用于根据本专利技术的细长隔板狭缝的理解，其中在这种情况下最大狭缝宽度处的尺寸是决定性的。
[0010]根据本专利技术，细长隔板元件的第一纵向端部和第二纵向端部不仅被认为是准确的端部，而且被认为是位于隔板元件相反端部处的相应区域。相应纵向端部中的每一个的长度可达到隔板元件长度的20％。
[0011]根据本专利技术，细长隔板元件的两个第二纵向端部之间的联接可允许两个第二纵向端部相对于彼此的相对移动，以便因此能够改变细长隔板狭缝的宽度。特别优选地，两个第二纵向端部通过旋转轴承彼此联接。
[0012]优选地，两个细长隔板元件可由单个驱动单元移动，使得细长隔板狭缝的纵向取向对于不同的隔板狭缝宽度保持恒定。细长隔板狭缝的纵向取向可例如由细长隔板狭缝的中心轴的取向限定。进一步优选的是，隔板狭缝的宽度沿着隔板狭缝的长度基本恒定。
[0013]优选地，通过隔板元件的所有纵向端部沿圆形路径移动来实现不同的隔板狭缝宽度。优选地，这些圆形路径都具有相同的半径，这导致对于不同的隔板狭缝宽度，细长的隔板元件保持平行于彼此并且平行于狭缝的恒定纵向轴线。
[0014]为此，两个隔板元件的第一纵向端部附接到第一旋转地安装的元件，优选地以无需工具即可拆卸的方式进行，并且两个隔板元件的第二纵向端部附接到第二旋转地安装的元件，优选地以无需工具即可拆卸的方式进行。可优选地由驱动单元使第一元件围绕垂直于细长隔板狭缝的纵向取向延伸的轴线旋转。第二元件可优选地围绕与其平行的轴线旋转而无需连接到驱动单元。相反，第二元件的旋转是由两个隔板元件在被驱动时相对于彼此的相对移动赋予的。
[0015]第一元件和第二元件可以是第一臂和第二臂，其中第一臂和第二臂中的每一个旋转地安装在中心和/或其中两个隔板元件的第一纵向端部和第二纵向端部分别安装在第一臂和第二臂的相反端处。然而，代替这种臂，也可以使用圆盘或其他旋转地安装的元件。为了能够在尽可能小的旋转移动的情况下实现尽可能大的隔板狭缝宽度的可变性，优选将两个细长隔板元件附接在距离旋转地安装的元件的旋转轴线相同的距离处。
[0016]优选地，具有可变宽度的细长隔板狭缝可通过驱动单元从完全闭合状态转变到完全打开状态。在完全闭合的状态下，两个隔板元件优选地彼此重叠。所述重叠优选地为至少1mm，更优选地为至少3mm并且特别优选地为至少5mm。在完全打开状态下，两个隔板元件与彼此的距离优选地为至少5cm，更优选地为至少8cm并且特别优选地为至少10cm。根据本专利技术，两个隔板元件与彼此的距离被定义为彼此面对的两个边缘与彼此的距离，使得两个隔板元件的距离对应于细长隔板狭缝的狭缝宽度。优选地，两个隔板元件可呈现在完全闭合状态和完全打开状态之间的多个优选地无级的中间状态。
[0017]两个隔板元件的长度优选地为至少50cm，更优选地为至少75cm并且特别优选地为至少100cm。
[0018]本专利技术还涉及一种包括如上所述的至少两个狭缝隔板的狭缝隔板系统，所述至少两个狭缝隔板彼此相邻地布置。彼此相邻地布置的两个狭缝隔板被布置和配置成使得处于其完全打开状态的第一狭缝隔板的隔板元件覆盖至少部分地也被处于其完全打开状态的第二狭缝隔板的隔板元件覆盖的区域。由两个隔板元件覆盖的区域的宽度为一个隔板元件的宽度的优选地至少75％，更优选地至少85％并且特别优选地至少95％。
[0019]此外，本专利技术涉及一种包括如上所述的至少两个狭缝隔板的狭缝隔板系统，所述至少两个狭缝隔板彼此相邻地布置，其中布置成彼此相邻的两个狭缝隔板被布置和配置成使得处于其完全打开状态的第一狭缝隔板的隔板元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种狭缝隔板系统，所述狭缝隔板系统包括布置成彼此相邻的至少两个狭缝隔板，其中每个狭缝隔板包括两个可移动地安装的细长隔板元件(1)，每个可移动地安装的细长隔板元件具有第一纵向端部(2)和第二纵向端部(3)，其中具有可变宽度的细长隔板狭缝(4)被配置在所述细长隔板元件(1)之间，其中所述两个第一纵向端部(2)连接到旋转驱动单元(5)并且其中所述两个第二纵向端部(3)彼此联接；其中布置成彼此相邻的所述两个狭缝隔板被布置和配置成使得处于其完全打开状态的第一狭缝隔板的隔板元件(1a)覆盖至少部分地也被处于其完全打开状态的第二狭缝隔板的隔板元件(1b)覆盖的区域。2.一种狭缝隔板系统，所述狭缝隔板系统包括布置成彼此相邻的至少两个狭缝隔板，其中每个狭缝隔板包括两个可移动地安装的细长隔板元件(1)，每个可移动地安装的细长隔板元件具有第一纵向端部(2)和第二纵向端部(3)，其中具有可变宽度的细长隔板狭缝(4)被配置在所述细长隔板元件(1)之间，其中所述两个细长隔板元件(1)旋转地安装并且能够由驱动单元(5)移动，使得所述细长隔板狭缝(4)的纵向取向对于不同的隔板狭缝宽度保持恒定；其中布置成彼此相邻的所述两个狭缝隔板被布置和配置成使得处于其完全打开状态的第一狭缝隔板的隔板元件(1a)覆盖至少部分地也被处于其完全打开状态的第二狭缝隔板的隔板元件(1b)覆盖的区域。3.如权利要求1或2所述的狭缝隔板系统，其中所述两个细长隔板元件(1)能够由单个驱动单元(5)移动，使得所述细长隔板狭缝(4)的纵向取向对于不同的隔板狭缝宽度保持恒定。4.如权利要求1、2或3所述的狭缝隔板系统，其中通过所述隔板元件(1)的所有纵向端部(2,3)沿着圆形路径(14)移动来实现不同的隔板狭缝宽度。5.如前述权利要求中任一项所述的狭缝隔板系统，其中所述两个隔板元件(1)的所述第一纵向端部(2)附接到第一旋转地安装的元件(6)，优选地以无需工具即可拆卸的方式进行，并且其中所述两个隔板元件(1)的所述第二纵向端部(3)附接到第二旋转地安装的元件(6)，优选地以无需工具即可拆卸的方式进行。6.如权利要求5所述的狭缝隔板系统，进一步包括驱动单元(5)，所述驱动单元被配置来使所述第一元件(6)围绕垂直于所述细长隔板狭缝(4)的纵向取向延伸的轴线(13a)旋转。7.如权利要求5或6所述的狭缝隔板系统，其中所述第一元件和第二元件(6)是第一臂和第二臂，并且其中所述第一臂和所述第二臂中的每一个旋转地安装在中心和/或其中所述两个隔板元件(1)的所述第一纵向端部(2)和第二纵向端部(3)分别安装在所述第一臂和第二臂的相反端部处。8.如前述权利要求中任一项所述的狭缝隔板系统，其中具有可变宽度的所述细长隔板狭缝(4)能够通过所述驱动单元(5)从完全闭合状态转变到完全打开状态。9.如权利要求8所述的狭缝隔板系统，其中在所述完全闭合状态下，所述两个隔板元件(1)彼此重叠，优选地重叠至少1mm，更优选地重叠至少3mm，特别优选地重叠至少5mm。10.如权利要求8或9所述的狭缝隔板系统，其中在所述完全打开状态下，所述两个隔板元件(1)的距离(D)为至少5cm，优选地至少10cm，并且特别优选地至少15cm。11.如权利要求8、9或10所述的狭缝隔板系统，其中所述两个隔板元件(1)能够呈现在所述完全闭合状态和所述完全打开状态之间的多个优选地无级的中间状态。
12.如前述权利要求中任一项所述的狭缝隔板系统，其中所述两个隔板元件(1)的长度为至少50cm，优选地至少75cm，并且特别优选地至少100cm。13.如前述权利要求中任一项所述的狭缝隔板系统，其中由两个隔板元件(1a,1b)所覆盖的相应区域的宽度为一个隔板元件(1)的宽度的至少75％，优选地至少85％，并且特别优选地至少95％。14.如权利要求1至12中任一项所述的狭缝隔板系统，其中所述布置成彼此相邻的两个狭缝隔板被布置和配置成使得处于其完全打开状态的第一狭缝隔板的隔板元件(1a)与处于其完全闭合状态的第二狭缝隔板的隔板元件(1b)基本直接相邻。15.如权利要求14所述的狭缝隔板系统，其中在所述状态下的所述两个隔板元件(1a,1b)的距离为一个隔板元件(1)的宽度的至多20％，优选...

【专利技术属性】
技术研发人员：彼得，
申请(专利权)人：新格拉斯科技集团，
类型：发明
国别省市：