光扫描装置、其驱动方法及图像描绘系统制造方法及图纸

处理器进行如下处理：对第1致动器施加具有第1驱动频率的第1驱动信号；对第2致动器施加具有第2驱动频率的第2驱动信号；通过对第1角度检测传感器的输出信号进行基于第1驱动频率的第1频率滤波处理，生成第1角度检测信号；通过对第2角度检测传感器的输出信号进行基于第2驱动频率的第2频率滤波处理，生成第2角度检测信号；根据第1角度检测信号，导出反射镜部绕第1轴的角度即第1角度；根据第2角度检测信号，导出反射镜部绕第2轴的角度即第2角度；根据第1角度调整第1驱动信号；根据第2角度调整第2驱动信号。第2驱动信号。第2驱动信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描装置、其驱动方法及图像描绘系统


[0001]本专利技术的技术涉及一种光扫描装置、其驱动方法及图像描绘系统。

技术介绍

[0002]作为使用硅(Si)的细微加工技术来制作的微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems：MEMS)器件之一已知有微镜器件(也被称为微型扫描仪。)。具备该微镜器件的光扫描装置为小型且低耗电量，因此可期待对激光显示器或激光投影仪等图像描绘系统的应用。
[0003]微镜器件的反射镜部形成为能够绕彼此正交的第1轴及第2轴摆动，通过反射镜部绕各轴摆动，使反射镜部所反射的光进行二维扫描。并且，已知有通过使反射镜部绕各轴共振，能够使光进行利萨茹扫描的微镜器件。
[0004]已知有在这种微镜器件中，为了以高精度控制反射镜部的偏转角，而设置输出与反射镜部的角度相对应的信号的角度检测传感器(例如，参考日本特开2019
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082639号公报及日本特开2018
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063228号公报)。
[0005]日本特开2019
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08263本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描装置，其具备：反射镜部，其具有反射入射光的反射面；第1致动器，其使所述反射镜部绕第1轴摆动，该第1轴位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内；第2致动器，其使所述反射镜部绕第2轴摆动，该第2轴位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内、且与所述第1轴正交；第1角度检测传感器，其输出与所述反射镜部绕所述第1轴的角度相对应的信号；第2角度检测传感器，其输出与所述反射镜部绕所述第2轴的角度相对应的信号；及至少一个处理器，其中，在所述光扫描装置中，所述处理器进行如下处理：对所述第1致动器赋予具有第1驱动频率的第1驱动信号；对所述第2致动器赋予具有第2驱动频率的第2驱动信号；通过对所述第1角度检测传感器的输出信号进行基于所述第1驱动频率的第1频率滤波处理，生成第1角度检测信号；通过对所述第2角度检测传感器的输出信号进行基于所述第2驱动频率的第2频率滤波处理，生成第2角度检测信号；根据所述第1角度检测信号，导出所述反射镜部绕所述第1轴的角度即第1角度；根据所述第2角度检测信号，导出所述反射镜部绕所述第2轴的角度即第2角度；根据所述第1角度调整所述第1驱动信号；根据所述第2角度调整所述第2驱动信号。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，所述处理器进行如下处理：当所述第1角度不满足第1条件时，调整所述第1驱动信号；当所述第2角度不满足第2条件时，调整所述第2驱动信号。3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其中，所述处理器进行如下处理：调整所述第1驱动信号及所述第2驱动信号的电压值。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光扫描装置，其中，所述第1频率滤波处理为提取包含所述第1驱动频率的第1频带的信号成分的带通滤波处理，所述第2频率滤波处理为提取包含所述第2驱动频率的第2频带的信号成分的带通滤波处理。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光扫描装置，其中，所述第1角度检测传感器及所述第2角度检测传感器分别为压电元件。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：吉泽宏俊，园田慎一郎，菱沼庆一，田中伸也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：