除尘装置和尾气处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种除尘装置和尾气处理设备，所述除尘装置包括进气座、旋转轴、驱动件和铲刀，所述进气座包括座本体，所述座本体上具有腔室以及与所述腔室连通的第一进气口和出气口，所述旋转轴的至少一部分设于所述腔室内，且所述旋转轴可转动地与所述座本体相连，所述驱动件设于所述座本体上并与所述旋转轴传动相连，以驱动所述旋转轴转动，所述铲刀与所述旋转轴相连，且所述铲刀的至少一部分通过所述出气口置于所述腔室外，所述铲刀用于伸入所述尾气输送管道内，所述铲刀上具有铲韧，所述旋转轴能够带动所述铲刀转动，以便所述铲韧铲下所述尾气输送管道内壁上的生成物。具有本发明专利技术实施例的除尘装置的尾气处理设备具有负压稳定性好等优点。压稳定性好等优点。压稳定性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
除尘装置和尾气处理设备


[0001]本专利技术涉及半导体除尘
，具体涉及一种除尘装置和尾气处理设备。

技术介绍

[0002]目前的半导体、光伏行业等工厂大都会在工艺设备后端安装尾气处理设备，用于处理有毒有害的工艺废气，尾气处理设备上具有一段输送工艺废气的输送管道，由于长时间输送工艺废气，工艺气体易在输送管道的内壁上沉积而生成坚硬的生成物，从而堵塞输送管道。相关技术中，为了除去输送管道内壁上的生成物，通常采用气缸和刮尘件的结构来去除输送管道内壁上的生成物。
[0003]具体地，刮尘件置于输送管道内，气缸活塞带动刮尘板在输送管道的轴向上做间歇动作，以使刮尘板刮去输送管道内壁上的生成物，但是由于气缸带动刮尘件做间歇动作时，容易引起尾气处理设备的负压波动，导致尾气处理设备的负压稳定性较差。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本专利技术的实施例提出一种除尘装置，使得具有本专利技术实施例的除尘装置的尾气处理设备具有负压稳定性好等优点。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种除尘装置，其特征在于，包括：进气座(1)，所述进气座(1)包括座本体(101)，所述座本体(101)上具有腔室(1011)以及与所述腔室(1011)连通的第一进气口(1012)和出气口(1013)，所述出气口(1013)用于与尾气输送管道(200)连通；旋转轴(2)和驱动件(3)，所述旋转轴(2)的至少一部分设于所述腔室(1011)内，且所述旋转轴(2)可转动地与所述座本体(101)相连，所述驱动件(3)设于所述座本体(101)上并与所述旋转轴(2)传动相连，以驱动所述旋转轴(2)转动；以及铲刀(4)，所述铲刀(4)与所述旋转轴(2)相连，且所述铲刀(4)的至少一部分通过所述出气口(1013)置于所述腔室(1011)外，所述铲刀(4)用于伸入所述尾气输送管道(200)内，所述铲刀(4)上具有铲韧(401)，所述旋转轴(2)能够带动所述铲刀(4)转动，以便所述铲韧(401)铲下所述尾气输送管道(200)内壁上的生成物。2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述座本体(101)上还具有与所述腔室(1011)连通的安装口，所述安装口与所述出气口(1013)沿所述腔室(1011)的延伸方向相对布置，所述除尘装置还包括第一筒体(5)，所述第一筒体(5)密封插装在所述安装口上，且所述第一筒体(5)套设在所述旋转轴(2)上，所述第一筒体(5)与所述旋转轴(2)之间限定出密封腔(6)，所述密封腔(6)内设有磁性液体。3.根据权利要求2所述的除尘装置，其特征在于，所述第一筒体(5)包括相连的大径段(501)和小径段(502)，所述大径段(501)设于所述腔室(1011)外，所述小径段(502)插装在所述安装口上，所述大径段(501)上具有第一止抵部(5011)，所述座本体(101)上具有第二止抵部(1015)，所述第一止抵部(5011)沿所述第一筒体(5)的轴向止抵在所述第二止抵部(1015)上。4.根据权利要求3所述的除尘装置，其特征在于，所述第一止抵部(5011)上具有开口朝向所述第二止抵部(1015)的第一密封槽(50111)，所述除尘装置还包括第一密封件(701)，所述第一密封件(701)的一部分置于所述第一密封槽(50111)内，所述第一密封件(701)的另一部分止抵在所述第二止抵部(1015)上。5.根据权利要求3所述的除尘装置，其特征在于，所述小径段(502)的外周面上具有第一凹槽(5021)，所述第一凹槽(5021)与所述座本体(101)之间限定出第一缓存腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乐，何爱军，苏小海，刘黎明，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：