衰减器装置及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术的衰减器装置具备：第1窗口对，其具有一对第1窗口，该一对第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面；旋转保持部，其将第1窗口对以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持；第2窗口对，其具有一对第2窗口，该一对第2窗口包含以在与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面；及λ/4相位元件，其当激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。第2窗口对以如下方式配置，即：从在与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。位元件的光学轴倾斜45度。位元件的光学轴倾斜45度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衰减器装置及激光加工装置


[0001]本公开的一个方式涉及一种衰减器装置及激光加工装置。

技术介绍

[0002]作为使激光衰减的衰减器，例如有专利文献1中所记载的。专利文献1中所记载的衰减器具备以与光轴形成布鲁斯特角的方式配置成V字状的一对窗口。在这样配置的窗口的表面，P偏振光分量大致100％透过，另一方面，S偏振光分量仅透过50％左右。因此，通过使激光通过一对窗口所具有的共计4个表面，从而可以去除S偏振光分量的大部分来使激光衰减。另外，通过使一对窗口绕光轴旋转，从而可以使透过分量的比例变化，来使激光的衰减率变化。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：美国专利3655268号公报

技术实现思路

专利技术想要解决的技术问题
[0004]考虑将如上述的衰减器应用于例如激光加工装置。在激光加工装置中，若由加工对象物反射的激光在传送路径中逆行而返回激光振荡器，则会成为振荡器的破损或振荡输出的不稳定化的原因。因此，追求抑制这样的返回光。
[0005]本公开的一个方式的目的在于提供一种可使激光适宜地衰减、且可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种衰减器装置，其中，具备：第1窗口对，其是具有供激光沿着光轴入射的一对第1窗口的第1窗口对，并且所述一对第1窗口各自包含以与所述光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，所述一对第1窗口的一方的所述一对第1表面相对于所述光轴，朝所述一对第1窗口的另一方的所述一对第1表面的相反侧倾斜；旋转保持部，其将所述第1窗口对以所述第1窗口对能够绕所述光轴旋转的方式保持；第2窗口对，其是具有一对第2窗口的第2窗口对，并且所述一对第2窗口各自包含以与所述光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面，所述一对第2窗口的一方的所述一对第2表面相对于所述光轴，朝所述一对第2窗口的另一方的所述一对第2表面的相反侧倾斜；以及λ/4相位元件，其以供所述激光在依次通过所述第1窗口对及所述第2窗口对之后入射的方式配置，当所述激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与所述光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差，所述第2窗口对，以在从与所述光轴平行的方向观察的情况下...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤晴康，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：