衰减器装置及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术的衰减器装置具备：第1窗口对，其具有一对第1窗口，该一对第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面；旋转保持部，其将第1窗口对以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持；第2窗口对，其具有一对第2窗口，该一对第2窗口包含以在与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面；及λ/4相位元件，其当激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。第2窗口对以如下方式配置，即：从在与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。位元件的光学轴倾斜45度。位元件的光学轴倾斜45度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】衰减器装置及激光加工装置


[0001]本公开的一个方式涉及一种衰减器装置及激光加工装置。

技术介绍

[0002]作为使激光衰减的衰减器，例如有专利文献1中所记载的。专利文献1中所记载的衰减器具备以与光轴形成布鲁斯特角的方式配置成V字状的一对窗口。在这样配置的窗口的表面，P偏振光分量大致100％透过，另一方面，S偏振光分量仅透过50％左右。因此，通过使激光通过一对窗口所具有的共计4个表面，从而可以去除S偏振光分量的大部分来使激光衰减。另外，通过使一对窗口绕光轴旋转，从而可以使透过分量的比例变化，来使激光的衰减率变化。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：美国专利3655268号公报

技术实现思路

专利技术想要解决的技术问题
[0004]考虑将如上述的衰减器应用于例如激光加工装置。在激光加工装置中，若由加工对象物反射的激光在传送路径中逆行而返回激光振荡器，则会成为振荡器的破损或振荡输出的不稳定化的原因。因此，追求抑制这样的返回光。
[0005]本公开的一个方式的目的在于提供一种可使激光适宜地衰减、且可抑制返回光的衰减器装置、及具备这样的衰减器装置的激光加工装置。解决问题的技术手段
[0006]本公开的一个方式的衰减器装置具备：第1窗口对，其具有供激光沿着光轴入射的一对第1窗口，且一对第1窗口各自包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，一对第1窗口的一方的一对第1表面相对于光轴，朝一对第1窗口的另一方的一对第1表面的相反侧倾斜；旋转保持部，其以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持第1窗口对；第2窗口对，其具有一对第2窗口，且一对第2窗口各自包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面，一对第2窗口的一方的一对第2表面相对于光轴，朝一对第2窗口的另一方的一对第2表面的相反侧倾斜；及λ/4相位元件，其以供激光依次通过第1窗口对及第2窗口对之后而入射的方式配置，在将激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差，第2窗口对以如下方式配置，即：从与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。
[0007]在该衰减器装置中，激光通过一对第1窗口及一对第2窗口。各第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，各第2窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面。因此，激光通过以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的共计8个
表面。由此，可使激光衰减。另外，通过旋转保持部而第1窗口对可绕光轴旋转地被保持。由此，通过使第1窗口对旋转，而可使激光的衰减率变化。特别是，在该衰减器装置中，由于激光在共计8个表面被衰减，因此可较大地确保衰减范围，从而可使衰减率较大地变化。另外，依次通过第1窗口对及第2窗口对的激光入射至λ/4相位元件，该λ/4相位元件对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。此处，第2窗口对以如下方式配置，即：在从与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。由此，第2窗口对及λ/4相位元件可作为隔离器发挥功能，而可去除返回光。因此，根据该衰减器装置，可使激光适宜地衰减，且可抑制返回光。
[0008]也可以为，第1窗口对、旋转保持部及第2窗口对彼此固定而构成1个单元。该情况下，可将衰减器装置的操作容易化。
[0009]也可以为，第1窗口对及第2窗口对配置于1个框体内。该情况下，可将衰减器装置的操作更加容易化。另外，可将由第1窗口对及第2窗口对反射的激光保留于框体内。
[0010]也可以为，在框体设置散热构造。该情况下，可将因由第1窗口对及第2窗口对反射的激光而产生的热有效地散热。
[0011]本公开的一个方式的衰减器装置，也可以为，还具备控制部，该控制部以第1窗口对的旋转角度成为与目标强度相应的旋转角度的方式，对旋转保持部进行控制。该情况下，可将激光的衰减率调整成与目标强度相应的衰减率。
[0012]也可以为，控制部基于第1窗口对的旋转角度与第1窗口对及第2窗口对所致的激光的衰减率的关系，以第1窗口对的旋转角度成为与目标强度相应的旋转角度的方式对旋转保持部进行控制。该情况下，可将激光的衰减率可靠地调整成与目标强度相应的衰减率。
[0013]本公开的一个方式的激光加工装置具备输出激光的光源、及上述衰减器装置。根据该激光加工装置，通过上述的理由，可使激光适宜地衰减，且可抑制返回光。专利技术的效果
[0014]根据本公开的一个方式，可提供一种可使激光适宜地衰减、且可抑制返回光的衰减器装置及激光加工装置。
附图说明
[0015]图1是表示实施方式的激光加工装置的构成图。图2是表示衰减器装置的外观的立体图。图3是表示衰减器装置的内部的立体图。图4是用于说明布鲁斯特面的光的衰减的立体图。图5的(a)～(c)是表示使第1窗口对旋转时的透过分量的比例的变化的图。图6是用于说明λ/4相位元件的图。图7的(a)及(b)是用于说明隔离器功能的图。图8是表示输入至旋转保持部的脉冲数与透过率的关系的例子的图表。
具体实施方式
[0016]以下，对本公开的一实施方式，一边参照附图，一边详细地进行说明。在以下的说
明中，对于同一或相当要素使用同一符号，并省略重复的说明。
[0017]图1所示的激光加工装置1是用于对加工对象物(工件)照射激光L而对加工对象物进行加工的加工引擎。如图1所示，激光加工装置1具备：光源2、镜3、4、衰减器装置5、及控制部6。衰减器装置5具有衰减器单元7及λ/4相位元件8。镜3、4、衰减器单元7及λ/4相位元件8配置于例如矩形板状的载置台9上。
[0018]光源2例如是二氧化碳激光振荡器，输出圆偏振光的激光L。镜3例如是圆偏振光镜，使从光源2出射的激光L反射，且使激光L的偏振光状态从圆偏振光变化成直线偏振光。镜4使来自镜3的激光L向衰减器单元7反射。
[0019]衰减器单元7使激光L的强度衰减。λ/4相位元件8将通过衰减器单元7的激光L进行反射。由λ/4相位元件8反射的激光L朝加工对象物入射。控制部6例如包含计算机，该计算机包含处理器(CPU)、以及作为记录媒体的RAM及ROM(存储部)。控制部6对激光加工装置1的各部分的动作进行控制。
[0020]如图2及图3所示，衰减器单元7具备：第1窗口对10、旋转保持部20、第2窗口对30、及框体40。第1窗口对10及第2窗口对30配置于共同的框体40内。第1窗口对10、旋转保持部20及第2窗口对30固定于框体40，与框体40一起构成1个单元。
[0021]框体40具有：容纳第1窗口对10的箱状的第1部分41、及容纳第2窗口对30的箱状的第2部分42。在第1部分41，形成有供激光L入射的入射部43，在第2部分42，形成有供激光L出射的出射部44。旋转保持部20配置于第1部分41与第2部分42之间。也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种衰减器装置，其中，具备：第1窗口对，其是具有供激光沿着光轴入射的一对第1窗口的第1窗口对，并且所述一对第1窗口各自包含以与所述光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，所述一对第1窗口的一方的所述一对第1表面相对于所述光轴，朝所述一对第1窗口的另一方的所述一对第1表面的相反侧倾斜；旋转保持部，其将所述第1窗口对以所述第1窗口对能够绕所述光轴旋转的方式保持；第2窗口对，其是具有一对第2窗口的第2窗口对，并且所述一对第2窗口各自包含以与所述光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面，所述一对第2窗口的一方的所述一对第2表面相对于所述光轴，朝所述一对第2窗口的另一方的所述一对第2表面的相反侧倾斜；以及λ/4相位元件，其以供所述激光在依次通过所述第1窗口对及所述第2窗口对之后入射的方式配置，当所述激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与所述光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差，所述第2窗口对，以在从与所述光轴平行的方向观察的情况下...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤晴康，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：