真空压供给系统技术方案

真空压供给系统(10)具备：多个真空压供给路径(16)，其用于向使用真空压来保持物体的保持部(20)供给来自真空源(12)的所述真空压；压力调节机构(18)，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构(14)，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态，所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。述连接状态。述连接状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空压供给系统


[0001]本专利技术涉及一种真空压供给系统。

技术介绍

[0002]在各种领域中，使用利用真空压来保持物体的物体保持装置(例如真空卡盘装置)。例如，在机床中，使用真空卡盘装置保持加工对象物。在此，优选能够根据要保持的物体的重量或强度等，设定多个保持物体的保持力的大小。例如，在日本专利特开2006
‑
229027号公报中，公开了具有调整保持晶片的真空压力的流量调整阀的晶片输送装置。

技术实现思路

[0003]然而，通过流量调整阀调节真空压力需要时间。为了缩短该时间，例如可以考虑使用与多个设定值对应的多个真空源(例如真空泵)来切换保持力。但是，如果使用多个真空源，则会导致装置的大型化。
[0004]本专利技术的目的在于提供一种不使用多个真空源就能够进行保持力的切换的真空压供给系统。
[0005]一方式的真空压供给系统具备：多个真空压供给路径，其用于向使用真空压来保持物体的保持部供给来自真空源的所述真空压；压力调节机构，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态。所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。
[0006]根据本专利技术，能够提供一种不使用多个真空源就能够进行保持力的切换的真空压供给系统。
附图说明
[0007]图1是表示实施方式的真空压供给系统的构成的图。图2是表示实施方式的真空压供给系统的动作顺序的一例的图。图3是表示变形例1的真空压供给系统的构成的图。图4是表示变形例1的真空压供给系统的动作顺序的一例的图。
具体实施方式
[0008]以下，详细说明实施方式的真空压供给系统。
[0009]图1是表示实施方式的真空压供给系统10的构成的图。真空压供给系统10具有真空源12、切换机构14、多个真空压供给路径16、压力调节机构18、保持部20、操作部30、通知部32以及控制部34。作为真空压供给系统10的一例，可以举出真空卡盘装置。
[0010]真空源12例如是真空泵，产生向保持部20供给的真空压。另外，真空压是指压力比大气压低的压力状态(减压状态)，不需要是完全的真空。
[0011]在保持部20上连接有多个真空压供给路径16。多个真空压供给路径16经由切换机构14与真空源12连接。在本实施方式中，为了方便，将真空压供给路径16的数量设为5个。为了变更保持部20的保持力，切换机构14切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态。切换机构14例如选择5个真空压供给路径16中的某一个与真空源12连接，由此能够切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态。由此，真空源12产生的真空压被供给到某一个真空压供给路径16，并且能够切换被供给真空压的真空压供给路径16。以下，有时将真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态简称为“连接状态”。
[0012]如后所述，5个真空压供给路径16的压力相互不同。因此，通过选择5个真空压供给路径16中的一个与真空源12连接，能够变更保持部20保持物体的保持力。即，能够将保持部20的保持力(压力)变更为与所选择的一个真空压供给路径16对应的保持力(压力)。另外，即使5个真空压供给路径16的全部不与真空源12连接，切换机构14也能够切换连接状态。在这种情况下，由于保持部20实质上不与真空源12连接，因此保持部20保持物体的保持力变为零(保持部20的压力与大气压的差压为0kPa)。这样，通过切换机构14切换连接状态，能够变更保持部20的保持力。由切换机构14切换的连接状态是5个真空压供给路径16中的任意一个与真空源12的连接、和全部真空压供给路径16与真空源12的非连接，共计6个模式。
[0013]压力调节机构18以保持部20保持物体的力不同的方式调节真空压供给路径16内的压力。压力调节机构18调整5个真空压供给路径16内的压力，使它们相互不同。例如，压力调节机构18将5个真空压供给路径16内的各压力(与大气压的差压)调整为
‑
75kPa(G)、
‑
60kPa(G)、
‑
45kPa(G)、
‑
30kPa(G)和
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15kPa(G)。该差压对应于保持部20的保持力。即，差压越小(差压的绝对值越大)，保持部20的保持力越强。由于保持力和差压具有相关关系，因此以下有时用该差压来表示保持力。
[0014]在此，压力调节机构18具有5个节流阀22，该5个节流阀22设置在5个真空压供给路径16上。通过使用5个节流阀22调节真空压供给路径径16各自的流量，能够使5个真空压供给路径16内的压力相互不同。另外，也可以不在真空压供给路径16上设置节流阀22。例如，通过使真空压供给路径16的内径不同，也可以使真空压供给路径16的流量(真空压供给路径16内的压力)不同。
[0015]保持部20使用从真空源12经由真空压供给路径16供给的真空压来吸引并保持物体。作为保持部20的一例，可以举出真空卡盘机构。如上所述，切换机构14通过切换真空源12与5个真空压供给路径16的连接状态，能够变更保持部20的保持力。该结果是，能够使用单一的真空源12来切换保持力。即，由于不需要与多个保持力的设定值对应的多个真空源12，所以能够缩小设置空间，实现装置的小型化。
[0016]在此，从真空源12与真空压供给路径16的连接状态的切换到保持部20的保持力的变更结束需要一定程度的时间(例如0.1～1秒)。即，即使连接状态切换，保持部20中的吸引压力(用于物体的吸引的压力)也不会立即切换。由于连接状态的切换，保持部20的保持力(吸引压力)开始变化(保持力的变更开始)。然后，保持部20的保持力达到与切换后的真空压供给路径16对应的保持力(吸引压力)(变更结束)。
[0017]操作部30是用于操作者进行用于变更保持部20的保持力的操作的输入装置，例如是开关、键盘或触摸面板。操作者使用操作部30选择保持部20的保持力。操作者可选择的保持力的数量和大小取决于5个真空压供给路径16。在本实施方式中，可选择的保持力的数量
为6个。因此，在本实施方式中，操作者从[保持力：
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75kPa(G)]、[保持力：
‑
60kPa(G)]、[保持力：
‑
45kPa(G)]、[保持力：
‑
30kPa(G)]、[保持力：
‑
15kPa(G)]以及[保持力：0kPa(G)]中选择一个。
[0018]通知部32是声音输出装置(例如扬声器)、图像显示装置(例如液晶显示装置、EL显示装置)或光输出装置(例如LED装置)，由通知控制部38控制。通知部32使用声音、图像或光来通知保持部20的保持力即将变更这一情况(保持力的变更预告)、或者由于连接状态的切换而保持部20的保持力发生了变化这一情况(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空压供给系统(10)，其特征在于，具备：多个真空压供给路径(16)，其用于向使用真空压来保持物体的保持部(20)供给来自真空源(12)的所述真空压；压力调节机构(18)，其以保持物体的保持力相互不同的方式调节多个所述真空压供给路径内的压力；以及切换机构(14)，其为了变更所述保持部的保持力，切换所述真空源与多个所述真空压供给路径的连接状态，所述切换机构选择一个所述真空压供给路径与所述真空源连接，由此切换所述连接状态。2.根据权利要求1所述的真空压供给系统，其特征在于，所述切换机构以多个所述真空压供给路径不与所述真空源连接的方式切换所述连接状态。3.根据权利要求1或2所述的真空压供给系统，其特征在于，具备：切换控制部(36)，其为了变更所述保持部的保持力，控制所述切换机构，切换所述连接状态；以及通知控制部(38)，其在所述连接状态切换之前，从通知部(32)通知所述保持力被变更这一情况。4.根据权利要求3所述的真空压供给系统，其特征在于，所述通知控制部从所述通知部通知由于所述连接状态的切换而所述保持力发生了变化这一情况。5.根据权利要求3或4所述的真空压供给系统，其特征在于，所述通知控制部仅在由于所述连接状态切换而所述保持力降低的情况下，从所述通知部通知所述保持力被变更这一情况。6.根据权利要求3～5中任一项所述的真空压供给系统，其特征在于，具备操作部(30)，所述操作部(30)由操作者进行用于变更所述保持力的操作，所述切换控制部根据操作者进行的操作来控制所述切换机构。7.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村牧人，室田真弘，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：