【技术实现步骤摘要】
清洗设备和清洗系统
[0001]本技术涉及清洗
,特别是涉及一种清洗设备和清洗系统。
技术介绍
[0002]传统的坩埚清洗一般是采用人工方式进行的,该清洗过程易于受到人为因素的影响而难以管控。而且,人工清洗费时费力,清洗质量参差不齐。
[0003]中国技术专利CN202220413947.5公开了一种石英坩埚的清洗吹干装置,该技术中将清洗机器和吹风烘干室组装为一体,将两个加工程序组装为一体更便于石英坩埚一次性进行清洗吹干。由于采用旋转清洗刷及水冲刷坩埚的方式进行清洗,长期清洗容易对坩埚内壁造成刮痕,影响坩埚的使用寿命。
技术实现思路
[0004]基于此,提供一种清洗设备,旨在自动清洗坩埚,省时省力,能够保证清洗质量,且清洗方式更为轻柔,不伤坩埚内壁。
[0005]一种清洗设备,包括:
[0006]壳体;
[0007]清洗座,所述清洗座可旋转设于所述壳体,所述清洗座用于放置具有容槽的工件;
[0008]清洗组件,所述清洗组件设于所述壳体,且位于所述清洗座的上方,所述清洗 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洗设备,其特征在于,包括:壳体;清洗座,所述清洗座可旋转设于所述壳体,所述清洗座用于放置具有容槽的工件;清洗组件,所述清洗组件设于所述壳体,且位于所述清洗座的上方,所述清洗组件用于供给清洗液;以及驱动组件,所述驱动组件设于所述壳体,且连接所述清洗座,所述驱动组件用于驱动所述清洗座摆动,而晃动所述工件的容槽内的清洗液。2.根据权利要求1所述的清洗设备,其特征在于,相对于最低位置,所述清洗座的摆动角度范围为
‑
45
°
~+45
°
。3.根据权利要求1所述的清洗设备,其特征在于,所述壳体设有至少两个间隔的支撑结构;所述驱动组件包括驱动电机和至少两个传动机构,每一所述传动机构包括输入轴和输出轴,所有所述传动机构共用同一所述输入轴,所述输入轴轴向连接所述驱动电机的转轴,每一所述传动机构的输出轴分别连接一所述支撑结构、一所述清洗座,而驱动所述清洗座相对于所述支撑结构转动。4.根据权利要求3所述的清洗设备,其特征在于,每一所述传动机构还包括啮合的第一齿轮和第二齿轮,所述第一齿轮与所述输入轴固定连接,所述第二齿轮与所述输出轴固定连接。5.根据权利要求1至4任意一项所述的清洗设备,其特征在于,所述清洗组件包括升降机构、连接结构以及喷头,所述连接结构连接于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈仁奇,柯雅真,汪瑞,林凤,张朋磊,赵中原,
申请(专利权)人:厦门钨业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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