【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
近年来，考虑了对环境的影响，正在推进化学传感器、气味传 感器和气体传感器等的开发，这些传感器在晶体振荡器或表面弹性 波元件等的压电元件上形成吸附化学物质的分子的感应膜，通过将 所述感应膜的质量变化作为压电元件的振荡频率的变化来掌握，乂人 而检测包含在空气中的化学物质。例如，下述专利文献l中公开了一种为了提高吸附灵敏度(即、 传感器灵敏度)而使薄膜(感应膜)的吸附面积增大的制造方法以及1"吏用了通过该制造方法制造的薄膜的化学传感器，该方法包括 将感应膜材料和微粒子混合的步骤；使感应膜材料和微粒子的混合 物形成为薄膜的步骤；干燥该薄膜的步骤；以及将露出于干燥后的 薄膜表面的微粒子除去的步骤。在上述现有技术中，为了提高感应膜的吸附灵敏度，另外需要 如上所述的特殊的制造步骤，因此，导致制造成本的增加，出现了 化学传感器的造价变高的问题。专利文献1:特开2007-147556号7>才艮
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的事实而做出的，其目的在于提供一种廉价 且高灵敏度的半导体传感器以及该半导体传感器的制造方法。为了达到上述目的，本专利...
【技术保护点】
一种半导体传感器，其特征在于，包括： 多层压电薄膜，层压在半导体基板上； 一对电极，形成在所述多层压电薄膜中的至少上下一对的压电薄膜的界面上，用于激发表面弹性波； 金属薄膜，形成在最下层的压电薄膜与所述最下层的压电薄膜正下 面的薄膜的界面上，并且，该金属薄膜促进最上层的压电薄膜的表面上的凸凹部的生成；以及 感应膜，在所述最上层的压电薄膜上至少形成在所述凸凹部上，用于分子吸附。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽照夫，近藤贵幸，轰原正义，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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