用于制备电子发射器的水基复合物及使用其制备的发射器制造技术

本发明专利技术提供一种用于制备电子发射器的水基复合物及使用其制备的发 射器。一种用于形成电子发射器的水基复合物，其包括含碳化合物、硅酸盐 化合物和水。一种电子发射器包括含碳化合物和硅酸盐化合物，并且使用水 基复合物来制备。一种电子发射器件包括该电子发射器。用于形成电子发射 器的水基复合物适于形成特别的图案，且采用水基复合物制备的电子发射器 具有非常小的残余碳量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的方案涉及水基复合物，其用于形成电子发射器并包括含碳化合 物、硅酸盐化合物和水，还涉及使用水基复合物制备的电子发射器和包括电子发射器的电子发射器件；更具体地，涉及水基复合物，其用于形成电子发 射器并适于形成特别的或勾画干净的图案，还涉及使用水基复合物制备的电 子发射器和包括电子发射器的电子发射器件，在该水基复合物中残余碳的含 量很小。
技术介绍
通常，电子发射器件被分为热电极型电子发射器件，在其中热电极作为 电子发射器，和冷电极型电子发射器件，在其中冷电极作为电子发射器。冷 电极型电子发射器件的例子为场发射器阵列(FEA, field emitter array )型电 子发射器件、表面传导发射器(SCE, surface conduction emitter)型电子发射 器件、金属绝缘体金属(MIM)型电子发射器件、金属绝缘体半导体(MIS ) 型电子发射器件和弹道电子表面发射(BSE， ballistic electron surface emitting) 型电子发射器件。FEA型电子发射器件基于以下原理运行，当电子发射器由具有低功函数 或高贝塔函数(betaftm本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于形成电子发射器的水基复合物，所述复合物包括：　含碳化合物；　硅酸盐化合物；和　水。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金润珍，金载明，朱圭楠，朴铉基，李邵罗，文希诚，
申请(专利权)人：三星SDI株式会社，
类型：发明
国别省市：KR