一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆芯片标记追溯技术领域，尤其为一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体，所述箱体的外围一侧面上连接有导气管，所述箱体的顶部安装有喷码器，所述喷码器的一侧面上连接有喷码管，所述箱体外部一侧面底部的延长板上垂直固定安装有挡板，本实用新型专利技术中通过设计的一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，通过电动伸缩杆的来回伸缩可以带动清洗托盘上晶圆芯片前后移动，同时直线电机可以在滑动座上左右移动，从而使清洗托盘能够左右移动，从而实现无需人工对晶圆芯片进行调整的情况下自动完成晶圆芯片的喷码作业，有效解决了在对晶圆芯片进行喷码时需要人工不间断对晶圆芯片位置进行调整的问题。断对晶圆芯片位置进行调整的问题。断对晶圆芯片位置进行调整的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置


[0001]本技术涉及晶圆芯片标记追溯
，具体为一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置。

技术介绍

[0002]半导体行业内已知的对晶圆芯片标记采用在制造过程中，专门设计一块区域用来放置晶圆信息，需要专门的掩膜来刻录，该方法需要使用到激光标记，无法满足后期快速变更的需求，以及返工的需求，同时晶圆级激光成本高昂，从而限制了激光的实际使用场景，目前解决方法是对晶圆背面玻璃面进行流程1等离子清洗，可采用100％Ar气，在等离子清洗结束后讲晶圆放置到喷码设备上进行流程2喷码，设备运行到对应的芯片位置时，按照编码规则喷下序列内容，喷码结束后设备上配套的OCR系统对喷码内容进行流程3OCR识别，通过后按需求输出序列文件，最后进行流程4油墨烘烤固化，在清洗后对晶圆进行喷码时，需要通过人工对晶圆的位置进行调整，非常麻烦，不能使晶圆自动进行前后左右的移动。
[0003]因此设计一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置以改变上述技术缺陷，提高整体实用性，显得尤为重要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的外围一侧面上连接有导气管(2)，所述箱体(1)的顶部安装有喷码器(3)，所述喷码器(3)的一侧面上连接有喷码管(4)，所述箱体(1)外部一侧面底部的延长板上垂直固定安装有挡板(5)，所述挡板(5)的内侧顶部两端对称安装有电动伸缩杆(6)；所述箱体(1)的内侧两侧面之间连接有滑动座(7)，所述滑动座(7)的上滑动安装有直线电机(8)，所述直线电机(8)的顶部安装有清洗托盘(9)，所述清洗托盘(9)的底部开设有镂空槽(901)，所述清洗托盘(9)的顶部开设有圆孔槽(902)，所述圆孔槽(902)的内侧面上设有台阶板(10)，所述清洗托盘(9)的顶部位于圆孔槽(902)对应的两端开设有提取槽(903)。2.根据权利要求1所述的一种微型芯片追溯打标清洗喷码装置，其特征在于：所述导气管(2)与箱体(1)的内部相通，且所述导气管(2)的一端与可以输入等离子气体Ar气的设备相连接。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，
申请(专利权)人：菲尼萨光电通讯上海有限公司，
类型：新型
国别省市：