一种高纯度气体纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种高纯度气体纯化装置，包括装置本体，所述装置本体的顶部靠近两侧边缘处均固定有进料管，两个所述进料管的内壁之间沿圆周方向均等距固定有多个支杆，多个所述支杆分为两组，位于每个所述进料管内部的多个支杆为一组，每组多个所述支杆的一端之间均固定有固定套，两个所述固定套子的内壁均开设有环形槽，本实用新型专利技术，通过设置滤芯和稳流叶片，使得可以对气体进行过滤，并且对气体进行稳流，使得流入装置内部的气体平缓波动性较小，解决了现有的气体大多通过管道直接进行输送这种输送方式很容易导致气体在通入装置内部时产生混乱，使得气体在装置内部出现波动的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯度气体纯化装置


[0001]本技术涉及工业自动化
，尤其涉及一种高纯度气体纯化装置。

技术介绍

[0002]超纯气体通常是指单一超纯气体或多种单一气体混合而成的混合超纯气体，其在电子行业、石油化工、医药国防等各领域发挥着巨大的作用，应用领域主要在集成电路制造、新型电子元器件等领域。基于超高纯气体在电子产业中的重要性。
[0003]目前在对气体进行纯化过程中，现有的气体大多通过管道直接进行输送这种输送方式很容易导致气体在通入装置内部时产生混乱，使得气体在装置内部出现波动。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是，通过设置滤芯和稳流叶片，使得可以对气体进行过滤，并且对气体进行稳流，使得流入装置内部的气体平缓波动性较小，解决了现有的气体大多通过管道直接进行输送这种输送方式很容易导致气体在通入装置内部时产生混乱，使得气体在装置内部出现波动的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高纯度气体纯化装置，包括装置本体，所述装置本体的顶部靠近两侧边缘处分别设置有多个进料管，在每个进料管的内壁之间沿圆周方向均等距固定有多个支杆的一端，每根支杆的另一端固定在中间设置的固定套上，所述固定套的内壁开设有环形槽，环形槽的内部均转动连接有环形圈，环形圈的内壁之间固定有转轴，该转轴的外表面沿圆周方向均等距固定有多个叶片，所述进料管的外表面靠近顶部边缘处均套有连接套。
[0006]作为优选：所述连接套的内壁之间固定有压管，在压管的底部位于进料管的内部贴合有滤芯。r/>[0007]作为优选：所述装置本体的外表面位于进料管的下方边缘处固定有安装板，所述装置本体的前侧固定有压力计。
[0008]作为优选：所述装置本体的底部位于中间部位固定有出料管，所述出料管的内部设置有调节阀，在出料管的底部还固定有过渡盘。
[0009]作为优选：所述过渡盘的底部沿圆周方向均等距固定有多个支管，多个所述支管的外表面均套有锁紧套。
[0010]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0011]1、本技术中，在使用本装置时首先将多个叶片通过转轴安装在进料管的内部，然后通过连接套内部的压管将滤芯设置在进料管的内部，使得可以在通入空气时对空气进行过滤，并且在空气流入装置本体的内部时对空气进行稳流，防止空气在装置本体的内部出现混乱，在安装时通过装置本体上的安装板使得可以将装置本体进行安装。
[0012]2、本技术中，在装置本体的底部设置出料管，并且在出料管的底部固定过渡盘，使得将支管安装在过渡盘的底部，从而可以对流出的气流进行分流，在出料管的内部设
置调节阀，使得可以控制装置本体内部气流流出的速率，在装置本体的外表面上设置压力计，使得可以随时监测装置本体内部的压力，在转轴转动时，通过环形槽和环形圈对转轴进行限位，使得可以承受转轴所受到的轴向力，从而使得转轴转动更加平稳。
附图说明
[0013]图1为本技术提出一种高纯度气体纯化装置的主视立体结构示意图；
[0014]图2为本技术提出一种高纯度气体纯化装置的仰视立体结构示意图；
[0015]图3为本技术提出一种高纯度气体纯化装置的局部剖视立体结构示意图；
[0016]图4为本技术图3中A处的放大视图。
[0017]图例说明：1、装置本体；2、安装板；3、压力计；4、进料管；5、连接套；6、出料管；7、调节阀；8、支管；9、锁紧套；10、过渡盘；11、压管；12、滤芯；13、支杆；14、固定套；15、环形槽；16、环形圈；17、转轴；18、叶片。
具体实施方式
[0018]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0019]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0020]实施例1，如图1
‑
4所示，本技术提供一种高纯度气体纯化装置技术方案：包括装置本体1，装置本体1的顶部靠近两侧边缘处均固定有进料管4，两个进料管4的内壁之间沿圆周方向均等距固定有多个支杆13，多个支杆13分为两组，位于每个进料管4内部的多个支杆13为一组，每组多个支杆13的一端之间均固定有固定套14，两个固定套14的内壁均开设有环形槽15，两个环形槽15的内部均转动连接有环形圈16，两个环形圈16的内壁之间固定有转轴17。
[0021]其整个实施例1达到的效果为，在使用本装置时首先将多个叶片18通过转轴17安装在进料管4的内部，然后通过连接套5内部的压管11将滤芯12设置在进料管4的内部，使得可以在通入空气时对空气进行过滤，并且在空气流入装置本体1的内部时对空气进行稳流，防止空气在装置本体1的内部出现混乱，在安装时通过装置本体1上的安装板2使得可以将装置本体1进行安装，解决了现有的气体大多通过管道直接进行输送这种输送方式很容易导致气体在通入装置内部时产生混乱，使得气体在装置内部出现波动的问题。
[0022]实施例2，如图1
‑
4所示，两个转轴17的外表面沿圆周方向均等距固定有多个叶片18，两个进料管4的外表面靠近顶部边缘处均套合有连接套5，两个连接套5的内壁之间固定有压管11，两个进料管4的内部均设置有滤芯12，两个滤芯12的顶部均贴合在压管11的底部，装置本体1的外表面靠近顶部边缘处固定有安装板2，装置本体1的前侧固定有压力计3，装置本体1的底部位于中间部位固定有出料管6，出料管6的内部设置有调节阀7，出料管6的底部固定有过渡盘10，过渡盘10的底部沿圆周方向均等距固定有多个支管8，多个支管8的外表面均套合有锁紧套9。
[0023]其整个实施例2达到的效果为，在装置本体1的底部设置出料管6，并且在出料管6的底部固定过渡盘10，使得将支管8安装在过渡盘10的底部，从而可以对流出的气流进行分流，在出料管6的内部设置调节阀7，使得可以控制装置本体1内部气流流出的速率，在装置本体1的外表面上设置压力计3，使得可以随时监测装置本体1内部的压力。
[0024]工作原理：在使用本装置时首先将多个叶片18通过转轴17安装在进料管4的内部，然后通过连接套5内部的压管11将滤芯12设置在进料管4的内部，使得可以在通入空气时对空气进行过滤，并且在空气流入装置本体1的内部时对空气进行稳流，防止空气在装置本体1的内部出现混乱，在安装时通过装置本体1上的安装板2使得可以将装置本体1进行安装，在装置本体1的底部设置出料管6，并且在出料管6的底部固定过渡盘10，使得将支管8安装在过渡盘10的底部，从而可以对流出的气流进行分流，在出料管6的内部设置调节阀7，使得可以控制装置本体1内部气流流出的速率，在装置本体1的外表面上设置压力计本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯度气体纯化装置，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）的顶部靠近两侧边缘处分别设置有多个进料管（4），在每个进料管（4）的内壁之间沿圆周方向均等距固定有多个支杆（13）的一端，每根支杆（13）的另一端固定在中间设置的固定套（14）上，所述固定套（14）的内壁开设有环形槽（15），环形槽（15）的内部均转动连接有环形圈（16），环形圈（16）的内壁之间固定有转轴（17），该转轴（17）的外表面沿圆周方向均等距固定有多个叶片（18），所述进料管（4）的外表面靠近顶部边缘处均套有连接套（5）。2.根据权利要求1所述的高纯度气体纯化装置，其特征在于：所述连接套（5）的内壁之间固定有压管（11...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪梦丽，马国红，周宽章，宁燕，蔡泠子，丁海武，张沙沙，徐鑫琳，
申请(专利权)人：杭氧集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：