本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜机用隔绝结构，该隔绝结构包括隔绝组件、第一限位机构以及驱动机构，所述隔绝组件包括门板以及活动连接于门板一端面的联动组件，所述驱动机构的输出端通过联动组件与门板驱动连接；所述驱动机构用于驱动联动组件横移，所述第一限位机构用于对门板进行横移限位并在门板位于驱动机构最远处时驱使门板往远离或靠近联动组件的方向移动，所述隔绝组件用于横移以隔绝或连通真空镀膜机的内部空间。本实用新型专利技术的目的在于提供一种真空镀膜机用隔绝结构，通过横移结构实现真空镀膜设备内部腔室的隔绝或连通，具有易维护、低成本、占用空间小等优点。空间小等优点。空间小等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用隔绝结构
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种真空镀膜机用隔绝结构。
技术介绍
[0002]现有的多腔室真空镀膜设备，腔室之间的阻隔，大多采用闸阀结构或者是合页旋转结构。闸阀结构在大型设备上使用，非常笨重，而且加工成本高，可靠性低，维护困难；合页旋转结构所占具的旋转空间大，增加了真空的抽气时间，变相的增加的设备成本和生产成本。
技术实现思路
[0003]为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本技术的目的在于提供一种真空镀膜机用隔绝结构，通过横移结构实现真空镀膜设备内部腔室的隔绝或连通，具有易维护、低成本、占用空间小等优点。
[0004]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种真空镀膜机用隔绝结构，包括隔绝组件、第一限位机构以及驱动机构，所述隔绝组件包括门板以及活动连接于门板一端面的联动组件，所述驱动机构的输出端通过联动组件与门板驱动连接；所述驱动机构用于驱动联动组件横移，所述第一限位机构用于对门板进行横移限位并在门板位于驱动机构最远处时驱使门板往远离或靠近联动组件的方向移动，所述隔绝组件用于横移以隔绝或连通真空镀膜机的内部空间。
[0006]其中，所述驱动机构包括减速电机、转轴以及若干齿轮，所述联动组件包括连接板、若干连接件以及装设于连接板的若干齿条，所述齿轮的数量、连接件的数量以及齿条的数量相同，若干所述齿轮与若干所述齿条一一对应啮合；所述连接件的一端转动连接于门板，所述连接件的另一端转动连接于齿条，所述齿轮与齿条啮合，所述减速电机通过转轴驱动连接齿轮。
[0007]其中，若干连接板间隔设置。
[0008]其中，所述隔绝结构还包括第二限位机构，所述第二限位机构包括导轨以及滑轮，所述导轨用于连接于真空镀膜机的内部，所述滑轮装设于齿条的下端，所述滑轮滑动连接于导轨。
[0009]其中，所述第一限位机构包括限位固定件以及第一轴承，所述限位固定件用于连接于真空镀膜机的内部，所述限位固定件设置有第一滑槽，所述第一滑槽远离驱动机构的一端往远离联动组件方向凸伸设置有第二滑槽，所述第一滑槽与第二滑槽连通并交叉设置，所述第一轴承装设于门板的上端，所述第一轴承滑动设置于第一滑槽或第二滑槽内。
[0010]其中，所述第一限位机构还包括第二轴承以及固定限位座，所述固定限位座用于连接于真空镀膜机的内部，所述第二轴承装设于门板远离驱动机构的一侧，所述固定限位座靠近第二轴承的一侧设置有弧形滑槽，所述第二轴承抵触于弧形滑槽。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]本技术的一种真空镀膜机用隔绝结构，通过设置有隔绝组件、第一限位机构以及驱动机构，其中隔绝组件的门板与联动组件活动连接，通过驱动机构驱动联动组件横移同时带动门板进行往复移动，实现真空镀膜机内部的开关门，另外在第一限位机构的作用下，对门板作横向移动的限位同时还驱使门板位于驱动机构最远处时驱使门板往远离或靠近联动组件的方向移动，以实现门板第一腔室与第二腔室连通处的开闭。与现有技术相比，本技术的隔绝结构开闭过程简单，结构简单紧凑，具有易维护、低成本、占用空间小等优点。
附图说明
[0013]利用附图对本技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本技术的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0014]图1为隔绝结构的立体结构示意图。
[0015]图2为隔绝结构的爆炸图。
[0016]图3为真空镀膜机的内部结构示意图。
[0017]附图标记
[0018]隔绝组件
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100，门板
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101，联动组件
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102，连接板
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103，连接件
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104，齿条
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105，
[0019]第一限位机构
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200，限位固定件
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201，第一轴承
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202，第一滑槽
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203，第二滑槽
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204，第二轴承
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205，固定限位座
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206，弧形滑槽
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207，
[0020]驱动机构
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300，减速电机
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301，转轴
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302，齿轮
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303，磁流体
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304，轴连器
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305，
[0021]第二限位机构
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400，导轨
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401，滑轮
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402，
[0022]第一腔室
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501，第二腔室
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502。
具体实施方式
[0023]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0026]现有的多腔室真空镀膜设备，腔室之间的阻隔，大多采用闸阀结构或者是合页旋转结构。闸阀结构在大型设备上使用，非常笨重，而且加工成本高，可靠性低，维护困难；合页旋转结构所占具的旋转空间大，增加了真空的抽气时间，变相的增加的设备成本和生产成本。
[0027]为了解决上述问题，本实施例公开了一种真空镀膜机用隔绝结构，其结构如图1和图2所示，该隔绝结构包括隔绝组件100、第一限位机构200以及驱动机构300，所述隔绝组件100包括门板101以及活动连接于门板101一端面的联动组件102，所述驱动机构300的输出端通过联动组件102与门板101驱动连接；所述驱动机构300用于驱动联动组件102横移，所述第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用隔绝结构，其特征在于：包括隔绝组件、第一限位机构以及驱动机构，所述隔绝组件包括门板以及活动连接于门板一端面的联动组件，所述驱动机构的输出端通过联动组件与门板驱动连接；所述驱动机构用于驱动联动组件横移，所述第一限位机构用于对门板进行横移限位并在门板位于驱动机构最远处时驱使门板往远离或靠近联动组件的方向移动，所述隔绝组件用于横移以隔绝或连通真空镀膜机的内部空间。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用隔绝结构，其特征在于：所述驱动机构包括减速电机、转轴以及若干齿轮，所述联动组件包括连接板、若干连接件以及装设于连接板的若干齿条，所述齿轮的数量、连接件的数量以及齿条的数量相同，若干所述齿轮与若干所述齿条一一对应啮合；所述连接件的一端转动连接于门板，所述连接件的另一端转动连接于齿条，所述齿轮与齿条啮合，所述减速电机通过转轴驱动连接齿轮。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用隔绝结构，其特征在于：若干连接板间隔设置。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨逑，钱锋，
申请(专利权)人：东莞市德派精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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