【技术实现步骤摘要】
一种前级管道加热套
[0001]本技术涉及管道
,具体涉及一种前级管道加热套。
技术介绍
[0002]管道是用管子、管子联接件和阀门等联接成的用于输送气体、液体或带固体颗粒的流体的装置。通常,流体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后,从管道的高压处流向低压处,也可利用流体自身的压力或重力输送。管道的用途很广泛,主要用在给水、排水、供热、供煤气、长距离输送石油和天然气、农业灌溉、水力工程和各种工业装置中。
[0003]现有技术中,刻蚀设备在加工晶圆时,会产生废气,废气会对车间工作人员的健康造成损害,废气遇冷会结晶,现有的管道不适用于传送废气。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题,本技术提供一种前级管道加热套,包括上侧管道、第一阀门、控制器和第二阀门,所述上侧管道外侧包裹有加热带裁片,所述第一阀门外侧包裹加热带裁片,所述第二阀门外侧包裹有加热带裁片。
[0005]优选的:所述上侧管道下端安装有所述第一阀门,所述上侧管道固定连接所述第一阀门。
[0006]优选的:所述第一阀门一侧安 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种前级管道加热套,包括上侧管道(1)、第一阀门(2)、控制器(11)和第二阀门(3),其特征在于,所述上侧管道(1)外侧包裹有加热带裁片,所述第一阀门(2)外侧包裹加热带裁片,所述第二阀门(3)外侧包裹加热带裁片。2.根据权利要求1所述的一种前级管道加热套,其特征在于,所述上侧管道(1)下端安装有所述第一阀门(2),所述上侧管道(1)固定连接所述第一阀门(2)。3.根据权利要求2所述的一种前级管道加热套,其特征在于,所述第一阀门(2)一侧安装有所述控制器(11),所述第一阀门(2)固定连接所述控制器(11)。4.根据权利要求3所述的一种前级管道加热套,其特征在于,所述第一阀门(2)下端安装有所述第二阀门(3),所述第一阀门(2)固定连接所述第二阀门(3)。5.根据权利要求1所述的一种前级管道加热套,其特征在于,所述上侧管道(1)外侧安装有加热带裁片,所述加热带裁片下侧为弧形与所述上侧管道(1)形状吻合,贴合所述上侧管道(1)下端,防止所述上侧管道(1)连接处热量散失。6.根据权利要求2所述的一种前级管道加热套,其特征在于,所述第一阀门(2)上下两侧安装有圆片加热带裁片(4),所述圆片加热带裁片(4)中部为空心状,便于连接所述上侧管道(1)与所述第二阀门(3),所述圆片加热带...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁正西,丁建文,
申请(专利权)人:无锡海鼎微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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