用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备技术

描述了一种用于识别基板上的线缺陷的方法，该基板具有位于基板上的显示器。所述方法包括：用第一测试确定线缺陷，所述线缺陷具有第一取向；设置用于线重新测试的线测试参数；以及测试沿第一取向被取向的一个或多个第一条带，所述一个或多个第一条带平行于所述线缺陷，所述一个或多个第一条带具有第一维度和第二维度，所述第一维度至少沿带电粒子束装置的视场延伸，并且所述第二维度仅沿所述视场的一部分延伸。部分延伸。部分延伸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于识别基板上的线缺陷的方法和用于识别基板上的线缺陷的设备


[0001]本公开内容的实施方式涉及基板的测试，特别是用于显示器制造的大面积基板的测试。实施方式涉及缺陷识别。本公开内容的实施方式总体涉及用于其上形成有电子装置的大面积基板的测试系统，并且更具体地，涉及电子装置的线缺陷。特别地，实施方式涉及一种用于识别基板上的缺陷的方法(该基板具有位于基板上的显示器的多个像素)、一种含有用于对应方法的程序的计算机可读介质和一种用于识别基板上的线缺陷的设备。

技术介绍

[0002]在许多应用中，必需检查基板以监测基板的质量。例如，其上沉积有涂层材料层的玻璃基板是为显示器市场制造的。由于在基板的处理期间可能出现缺陷，例如在基板的涂覆或涂层的结构化期间，因此检查基板以查验缺陷并监测显示器的质量是必要的。
[0003]显示器通常在基板尺寸不断增大的大面积基板上制造。此外，诸如TFT显示器的显示器需要不断改进。例如，显示器的边框越来越窄，OLED显示器除了移动设备之外还越来越多地用于笔记本电脑、台式PC监视器和TV，并且首批μ
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LED显示器已经上市。
[0004]有源矩阵液晶显示器(LCD)和OLED显示器通常用于计算机和电视显示器、手机显示器、个人数字助理(PDA)以及越来越多的其他装置等的应用。通常，有源矩阵LCD或OLED显示器包括两个平板或面板，该平板或面板分别具有夹在平板之间的液晶材料层或OLED材料层。平板典型地由玻璃、聚合物或适合于在其上形成电子装置的其他材料制成。显示器典型地包括薄膜晶体管(TFT)阵列，每个TFT耦接到像素。通过向诸如数据线和栅极线以及晶体管的驱动电路提供信号来激活每个像素，并且可通过同时寻址适当的数据线和栅极线来提供像素的激活。TFT可导通或断开以在相应TFT与滤色器的一部分之间产生电场。TFT可导通或断开以驱动电流通过OLED或μ
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LED。由于高像素密度、栅极线和数据线的紧密接近和形成TFT的复杂性，在制造工艺期间出现缺陷的可能性很高。
[0005]如上文所描述，TFT阵列可用于LCD显示器。然而，OLED和μ
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LED显示器以及其他显示器也可基于TFT阵列背板，其中像素电极被充电以激活显示器的像素。
[0006]对于显示器的测试，特别是在显示器的制造期间，可执行具有特殊测试图案的测试。例如，可针对诸如线开路缺陷和线短路缺陷的特定缺陷提供特定测试。为了缩窄显示器的边框以提供零边界面板，或者例如为了OLED技术，可提供额外的线。线缺陷的可能性提高。因此，额外的测试可能是有益的，然而这可能增加节拍时间并因此降低吞吐量。
[0007]为了进一步提高缺陷检测的吞吐量，检测方法和检测设备的进一步改进是有益的。

技术实现思路

[0008]鉴于上述，提供了一种用于识别基板上的缺陷的方法、一种包括用于识别基板上的缺陷的程序的计算机可读介质和一种用于识别基板上的线缺陷的设备，该基板具有位于
其上的多个像素。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、描述和附图中显而易见。
[0009]根据一个实施方式，提供了一种用于识基板上的线缺陷的方法，该基板别具有位于基板上的显示器。所述方法包括：用第一测试确定线缺陷，所述线缺陷具有第一取向；设置用于线重新测试(line
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retest)的线测试参数；以及测试沿第一取向被取向的一个或多个第一条带，所述一个或多个第一条带平行于所述线缺陷，所述一个或多个第一条带具有第一维度和第二维度，所述第一维度至少沿带电粒子束装置的视场延伸，并且所述第二维度仅沿所述视场的一部分延伸。
[0010]根据一个实施方式，提供了一种识别基板上的线缺陷的设备，该基板具有位于其上的多个像素。所述设备包括：检测器，所述检测器被配置用于在所述基板上的电压对比图像生成；以及计算机可读介质，所述计算机可读介质包括用于识别基板上的线缺陷的程序，该基板具有位于其上的多个像素，当由处理器执行所述程序时执行根据本公开内容的实施方式中任一项所述的方法。
附图说明
[0011]为了可详细地理解本公开内容的上述的特征的方式，可参考实施方式来得到上文简要概述的本公开内容的更特别的描述，实施方式中的一些在附图中示出。然而，需注意，附图仅示出示例性实施方式，并且因此不应当被视为对范围的限制，并且可承认其他等效实施方式。
[0012]图1示出了根据本公开内容的一个实施方式的可用于电子束测试的电子束测试设备；
[0013]图2示出了具有薄膜晶体管(TFT)阵列的示例性大面积平板基板，每个TFT耦接到像素并且具有栅极驱动器以及可根据本文描述的实施方式进行测试的栅极线和数据线；
[0014]图3A和图3B示出了说明根据本公开内容的实施方式的测试序列的表；
[0015]图4示出了具有在基板上制造的多个显示器的玻璃基板和与束测试设备相关联的测试区域，以说明本专利技术的实施方式；
[0016]图5分别示出了玻璃基板的一部分和基板上的显示器，以说明根据本公开内容的实施方式的识别基板上的缺陷、特别是基板上的线缺陷的方法；
[0017]图6分别示出了玻璃基板的一部分和基板上的显示器，以说明根据本公开内容的实施方式的识别基板上的缺陷、特别是基板上的线缺陷的方法；
[0018]图7分别示出了玻璃基板的一部分和基板上的显示器，以说明根据本公开内容的实施方式的识别基板上的缺陷、特别是基板上的线缺陷的方法；
[0019]图8分别示出了玻璃基板的一部分和基板上的显示器，以说明根据本公开内容的实施方式的识别基板上的缺陷、特别是基板上的线缺陷的方法；
[0020]图9分别示出了玻璃基板的一部分和基板上的显示器，以说明根据本公开内容的实施方式的识别基板上的缺陷、特别是基板上的线缺陷的方法；
[0021]图10示出了根据本公开内容的实施方式的带电粒子束装置；以及
[0022]图11是根据本公开内容的实施方式的用于识别是否存在线缺陷的示例操作的流程图。
[0023]为了便于理解，已经尽可能使用相同的附图标记标示各图共同的相同元素。设想
的是，一个实施方式的元素和特征可被有益地结合在其他实施方式中，而无需进一步陈述。
具体实施方式
[0024]现在将详细地参考示例性实施方式，各图中示出了这些实施方式的一个或多个示例。每个示例以解释的方式提供的，并且不意在作为限制。例如，被示出或描述为一个实施方式的部分的特征可在其他实施方式上或结合其他实施方式使用，以产生又一个实施方式。本公开内容旨在包括此类的修改和变化。
[0025]在各图的以下描述内，相同的附图标记是指相同的部件。仅描述相对于个别实施方式的差异。所示的结构不一定按比例描绘，而是为了更好地理解实施方式。
[0026]本公开内容的实施方式提供了用于确定显示器内是否存在线缺陷的技术和设备，并且具体地用于表征线缺陷。本公开内容的实施方式特别地提供用于线缺陷检测的增加的吞吐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于识别基板上的线缺陷的方法，所述基板具有位于所述基板上的显示器，所述方法包括：用第一测试确定线缺陷，所述线缺陷具有第一取向；设置用于线重新测试的线测试参数；以及测试沿第一取向被取向的一个或多个第一条带，所述一个或多个第一条带平行于所述线缺陷，所述一个或多个第一条带具有第一维度和第二维度，所述第一维度至少沿带电粒子束装置的视场延伸，并且所述第二维度仅沿所述视场的一部分延伸。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一维度与所述第二维度之间的纵横比是至少10:1、特别地是至少40:1、更特别地是至少100:1。3.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中所述一个或多个第一条带包括所述线缺陷。4.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中所述一个或多个第一条带排除所述线缺陷。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述一个或多个第一条带是所述视场内的多个条带。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中用所述第一测试确定所述线缺陷的步骤包括：设置不同于所述线测试参数的主测试参数。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中用所述第一测试确定所述线缺陷的步骤包括：利用在所述第一维度和所述第二维度上沿所述视场的扩展来测试所述视场。8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中用所述第一测试确定所述线缺陷的步骤包括：用沿不...

【专利技术属性】
技术研发人员：李泰基，阿克塞尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：