锁合机构及光罩盒制造技术

本申请提供了一种锁合机构及光罩盒，其中，锁合机构包括卡接组件、锁合件和限位结构，其中，卡接组件上形成有滑槽，锁合件滑动连接于滑槽，并相对卡接组件滑动以锁合所述卡接组件，限位结构设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于抵接锁合件以限定锁合件，防止锁合件与卡接组件之间因震动而产生相对滑动，从而提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
锁合机构及光罩盒


[0001]本申请属于半导体
，更具体地说，是涉及一种锁合机构及光罩盒。

技术介绍

[0002]光罩，业内又称光掩模版、掩膜版。在半导体光刻机用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此，光罩对环境的无尘等级要求极高，一般将光罩放置于光罩盒内以使光罩保持洁净，同时也便于对光罩进行保存与运输。
[0003]目前现有的光罩盒包括两个相互转动连接的壳体，两个壳体之间通过缩合机构进行锁盒，从而保证两个壳体之间在对光罩进行保存时，两个壳体之间能够处于锁合状态。但是，现有的光罩盒上的锁合机构在对光罩盒的两个壳体进行锁合时，锁合机构的可靠性不佳，锁合机构容易与壳体之间产生滑动，导致两个壳在体解锁后被打开，进而使得光罩被灰尘污染。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种锁合机构及光罩盒，以解决现有技术中光罩盒的锁合机构存在的容易与光罩盒之间相对滑动的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请的第一方面是提供一种锁合机构，包括：
[0006]卡接组件，形成有滑槽，所述滑槽沿第一方向延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锁合机构，应用于光罩盒，其特征在于，包括；卡接组件，形成有滑槽，所述滑槽沿第一方向延伸；锁合件，滑动连接于所述滑槽，并沿所述第一方向相对于所述卡接组件滑动，所述锁合件用于锁合卡接组件；限位结构，设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于沿第二方向所述锁合件提供外力，以限定所述锁合件沿所述第一方向和所述第二方向运动；其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。2.如权利要求1所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构包括：限位件，固定连接于所述卡接组件朝向所述锁合件的一侧，并沿所述第二方向延伸，所述限位件与所锁合件抵接配合，以限制所述锁合件沿所述第二方向的运动。3.如权利要求2所述的锁合机构，其特征在于，所述限位件由预设曲线绕预设旋转轴线旋转一周所形成，其中，所述预设旋转轴线的方向平行于所述第二方向。4.如权利要求3所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构还包括：限位槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，所述限位槽具有开口，所述开口朝向所述限位件；所述限位件适配于所述限位槽内，以限制所述锁合件沿第一方向的运动。5.如权利要求4所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构还包括：限位条，沿所述第二方向凸设于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述限位条与所述卡接组件抵接配合。6.如权利要求5所述的锁合机构，其特征在于，还包括：导向槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向槽用于限定所述限位件沿所述第一方向的运动；沿所述第一方向，所述导向槽与限位槽间隔设置。7.如权利要求1
‑
6任意一项所述的锁合机构，其特征在于，所述卡接组件包括第一卡接件和第二卡接件，所述第一卡接件沿第三方向与所述第二卡接件间隔；所述滑槽包括第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽和所述第二滑槽形成于所述第一卡接件；所述第三滑槽形成于所述第二卡接件，且所述第三滑槽与所述第二滑槽连通；所述第三滑槽和所述第二滑槽的敞口与所述第一滑槽的敞口向背设置；所述锁合件上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂国梁，
申请(专利权)人：深圳市博纳新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：