锁合机构及光罩盒制造技术

本申请提供了一种锁合机构及光罩盒，其中，锁合机构包括卡接组件、锁合件和限位结构，其中，卡接组件上形成有滑槽，锁合件滑动连接于滑槽，并相对卡接组件滑动以锁合所述卡接组件，限位结构设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于抵接锁合件以限定锁合件，防止锁合件与卡接组件之间因震动而产生相对滑动，从而提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
锁合机构及光罩盒


[0001]本申请属于半导体
，更具体地说，是涉及一种锁合机构及光罩盒。

技术介绍

[0002]光罩，业内又称光掩模版、掩膜版。在半导体光刻机用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此，光罩对环境的无尘等级要求极高，一般将光罩放置于光罩盒内以使光罩保持洁净，同时也便于对光罩进行保存与运输。
[0003]目前现有的光罩盒包括两个相互转动连接的壳体，两个壳体之间通过缩合机构进行锁盒，从而保证两个壳体之间在对光罩进行保存时，两个壳体之间能够处于锁合状态。但是，现有的光罩盒上的锁合机构在对光罩盒的两个壳体进行锁合时，锁合机构的可靠性不佳，锁合机构容易与壳体之间产生滑动，导致两个壳在体解锁后被打开，进而使得光罩被灰尘污染。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种锁合机构及光罩盒，以解决现有技术中光罩盒的锁合机构存在的容易与光罩盒之间相对滑动的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请的第一方面是提供一种锁合机构，包括：
[0006]卡接组件，形成有滑槽，所述滑槽沿第一方向延伸；
[0007]锁合件，滑动连接于所述滑槽，并沿所述第一方向相对于所述卡接组件滑动，所述锁合件用于锁合卡接组件；
[0008]限位结构，设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于沿第二方向所述锁合件提供外力，以限定所述锁合件沿所述第一方向和所述第二方向运动；其中，
[0009]所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
[0010]一实施例中，所述限位结构包括：
[0011]限位件，固定连接于所述卡接组件朝向所述锁合件的一侧，并沿所述第二方向延伸，所述限位件与所锁合件抵接配合，以限制所述锁合件沿所述第二方向的运动。
[0012]一实施例中，所述限位件由预设曲线绕预设旋转轴线旋转一周所形成，其中，所述预设旋转轴线的方向平行于所述第二方向。
[0013]一实施例中，所述限位结构还包括：
[0014]限位槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，所述限位槽具有开口，所述开口朝向所述限位件；
[0015]所述限位件适配于所述限位槽内，以限制所述锁合件沿第一方向的运动。
[0016]一实施例中，所述限位结构还包括：
[0017]限位条，沿所述第二方向凸设于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述限位条与所述卡接组件抵接配合。
[0018]一实施例中，还包括：
[0019]导向槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向槽用于限定所述限位件沿所述第一方向的运动；
[0020]沿所述第一方向，所述导向槽与限位槽间隔设置。
[0021]一实施例中，所述卡接组件包括第一卡接件和第二卡接件，所述第一卡接件沿第三方向与所述第二卡接件间隔；
[0022]所述滑槽包括第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽和所述第二滑槽形成于所述第一卡接件；所述第三滑槽形成于所述第二卡接件，且所述第三滑槽与所述第二滑槽连通；
[0023]所述第三滑槽和所述第二滑槽的敞口与所述第一滑槽的敞口向背设置；
[0024]所述锁合件上设有第一卡接板和第二卡接板，所述第一卡板卡接于所述第一滑槽内，且所述锁合件具有锁定位置和解锁位置；
[0025]在所述锁合件位于所述锁定位置时，所述第二卡接板至少部分卡接于和所述第二滑槽内，以及至少部分卡接于所述第三滑槽内；
[0026]在所述锁合件位于所述解锁位置时，所述第二卡接板卡接于所述第二滑槽内；其中，
[0027]所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相互垂直。
[0028]一实施例中，所述第二卡接板的数目为两个，两个所述第二卡接板分别为第一子卡板和第二子卡板，所述第一子卡板和所述第二子卡板沿所述第一方向间隔设置；
[0029]在所述锁合件位于所述锁定位置时，所述第一子卡板卡接于所述第二滑槽内，所述第二子卡板卡接于所述第三滑槽内；
[0030]在所述锁合件位于所述解锁位置时，所述第一子卡板和所述第二子卡板均卡接于所述第二滑槽内。
[0031]本申请提供的锁合机构的有益效果在于：与现有技术相比，本申请所提供给的锁合机构包括卡接组件、锁合件和限位结构，其中，卡接组件上形成有滑槽，锁合件滑动连接于滑槽，并相对卡接组件滑动以锁合所述卡接组件，限位结构设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于抵接锁合件以限定锁合件，防止锁合件与卡接组件之间因震动而相对滑动，从而提高锁合件锁合卡接组件的可靠性。
[0032]所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
[0033]另一方面，本申请提供一种光罩盒，包括：
[0034]第一盖体和第二盖体，所述第一盖体和所述第二盖体转动连接，且所述第一盖体和所述第二盖体内形成有用于容置目标物体的容纳空间；
[0035]如上述任意一项所述锁合机构；其中，所述锁合机构中的第一卡接件固定连接于所述第一盖体；所述锁合机构中的第二卡接件固定连接于所述第二盖体；
[0036]定位件，固定连接于所述容纳空间内，所述定位件上设有固定结构，所述固定结构用于固定所述目标物体。
[0037]一实施例中，所述固定结构包括：
[0038]第一定位凸起，所述第一定位凸起的延伸方向垂直于所述第三方向，且所述第一定位凸起与所述目标物体沿周向的侧壁抵接，用于限定所述目标固体沿垂直于所述第三方向的方向运动。
[0039]一实施例中，所述第一定位凸起朝向所述目标物体的一侧形成第一抵接面，所述第一抵接面为弧形面结构，所述第一抵接面抵接于所述与所述目标物体沿周向的侧壁。
[0040]一实施例中，所述固定结构还包括：
[0041]第二定位凸起，形成有第二抵接面，所述第二抵接面为弧形面结构，所述第二抵接面用于沿所述第三方向支撑所述目标物体。
[0042]本申请提供的光罩盒的有益效果在于：与现有技术相比，本申请所提供的光罩盒包括相互转动连接的第一盖体和第二盖体，以及用于锁合第一盖体和第二盖体的锁合机构，其中锁合机构为上述任意一项所述的锁合机构，在第一盖体和第二盖体闭合时，锁合机构用于对第一盖体和第二盖体进行锁定，锁合机构上的卡接组件和锁合件之间在限位结构的作用下，锁合机构在受到震动时，卡接组件和锁合件之间不会发生相对滑动，从而提高第一盖体和第二盖体在闭合时的稳定性，进而提高第一盖体和第二盖体之间密封的稳定性；而且，本申请的所述提供的光罩盒内部设有定位件，定位件上设有定位凸起，定位凸起上设有弧形结构的抵接面，抵接面与目标物体抵接，用于限定目标物体在容纳空间内的运动；抵接面设置为弧形结构，在对目标物体抵接以限定目标物体运动的同时，防止目标物体与定位件之间的硬接触对目标物体造成损伤。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锁合机构，应用于光罩盒，其特征在于，包括；卡接组件，形成有滑槽，所述滑槽沿第一方向延伸；锁合件，滑动连接于所述滑槽，并沿所述第一方向相对于所述卡接组件滑动，所述锁合件用于锁合卡接组件；限位结构，设置于所述卡接组件和所述锁合件之间，用于沿第二方向所述锁合件提供外力，以限定所述锁合件沿所述第一方向和所述第二方向运动；其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。2.如权利要求1所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构包括：限位件，固定连接于所述卡接组件朝向所述锁合件的一侧，并沿所述第二方向延伸，所述限位件与所锁合件抵接配合，以限制所述锁合件沿所述第二方向的运动。3.如权利要求2所述的锁合机构，其特征在于，所述限位件由预设曲线绕预设旋转轴线旋转一周所形成，其中，所述预设旋转轴线的方向平行于所述第二方向。4.如权利要求3所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构还包括：限位槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，所述限位槽具有开口，所述开口朝向所述限位件；所述限位件适配于所述限位槽内，以限制所述锁合件沿第一方向的运动。5.如权利要求4所述的锁合机构，其特征在于，所述限位结构还包括：限位条，沿所述第二方向凸设于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述限位条与所述卡接组件抵接配合。6.如权利要求5所述的锁合机构，其特征在于，还包括：导向槽，形成于所述锁合件朝向所述卡接组件的一侧，且所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向槽用于限定所述限位件沿所述第一方向的运动；沿所述第一方向，所述导向槽与限位槽间隔设置。7.如权利要求1
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6任意一项所述的锁合机构，其特征在于，所述卡接组件包括第一卡接件和第二卡接件，所述第一卡接件沿第三方向与所述第二卡接件间隔；所述滑槽包括第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，所述第一滑槽和所述第二滑槽形成于所述第一卡接件；所述第三滑槽形成于所述第二卡接件，且所述第三滑槽与所述第二滑槽连通；所述第三滑槽和所述第二滑槽的敞口与所述第一滑槽的敞口向背设置；所述锁合件上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂国梁，
申请(专利权)人：深圳市博纳新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：