一种硅片用正放与倒放片盒端板及其片盒结构、清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片生产领域，具体涉及一种硅片用正放与倒放片盒端板及其片盒结构、清洗设备。本实用新型专利技术提供了一种硅片用正放与倒放片盒端板，包括：端板本体，以及所述端板本体侧壁分为第一底边、第二底边、第一上边和第二上边，所述第一底边与所述第一上边相对设置，所述第二底边与所述第二上边相对设置；所述第一上边沿朝向所述第一底边方向开设有若干限位槽。通过设置第一底边来适配较薄的硅片，并通过设置活动压杆来对较薄的硅片进行限位，通过设置第二底边来适配正常厚度的硅片，以实现一种片盒共用两种规格的硅片的效果。一种片盒共用两种规格的硅片的效果。一种片盒共用两种规格的硅片的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片用正放与倒放片盒端板及其片盒结构、清洗设备


[0001]本技术涉及硅片生产领域，具体涉及一种硅片用正放与倒放片盒端板及其片盒结构。

技术介绍

[0002]随着市场硅片的变化，硅片日益薄片化，硅片薄片后且在保证产能的前提下，片与片之间的间距已被固定，但薄片的刚性已变得更加柔韧即在湿法设备化学品槽内反应时，容易出现粘片异常及碎片，导致化学反应异常。因此设计一种能够针对一般厚度和更薄厚度的硅片共用的片盒是必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种硅片用正放与倒放片盒端板及其片盒结构，以解决上述问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种硅片用正放与倒放片盒端板，包括：端板本体，以及所述端板本体侧壁分为第一底边、第二底边、第一上边和第二上边，所述第一底边与所述第一上边相对设置，所述第二底边与所述第二上边相对设置；
[0005]所述第一上边沿朝向所述第一底边方向开设有若干限位槽。
[0006]进一步的，各所述限位槽平行设置，且各所述限位槽的深度相等。
[0007]进一步的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片用正放与倒放片盒端板，其特征在于，包括：端板本体（1），以及所述端板本体（1）侧壁分为第一底边（11）、第二底边（12）、第一上边（13）和第二上边（14），所述第一底边（11）与所述第一上边（13）相对设置，所述第二底边（12）与所述第二上边（14）相对设置；所述第一上边（13）沿朝向所述第一底边（11）方向开设有若干限位槽（15）。2.如权利要求1所述的一种硅片用正放与倒放片盒端板，其特征在于，各所述限位槽（15）平行设置，且各所述限位槽（15）的深度相等。3.如权利要求1所述的一种硅片用正放与倒放片盒端板，其特征在于，所述限位槽（15）为两个。4.如权利要求1或3所述的一种硅片用正放与倒放片盒端板，其特征在于，所述第一上边（13）朝向所述第一底边（11）方向开设有两第一取放槽（16）；两所述第一取放槽（16）间隔设置，所述限位槽（15）位于两个所述第一取放槽（16）之间。5.如权利要求4所述的一种硅片用正放与倒放片盒端板，其特征在于，所述第二上边（14）朝向所述第二底边（12）方向开设有两第二取放槽（17）；两所述第二取放槽（17）间隔设置。6.如权利要求5所述的一种硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，余兴梅，胡正边，万红朝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：