【技术实现步骤摘要】
一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法及装置
[0001]本申请涉及太阳能电池制备
，更具体地，涉及一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法及装置。
技术介绍
[0002]在光伏半导体行业的化学气相沉积、磷扩散、硼扩散以及氧化工艺过程中，把产品送入炉内，加工完成后，需将产品取出，由于硅片厚度只有0.16mm左右，是高精度的轻薄产品，进出炉的速度需非常缓慢，一般传送机构速度设在5
‑
10mm/s，常规行程有3
‑
4米，单行程需5
‑
10分钟。
[0003]如专利CN112820680A所述，现有技术都是先由桨把产品送入炉内，双桨上设有密封炉门，双桨到达工艺位置时，炉门与炉体形成真空腔室。经过工艺时间处理后，双桨承托产品缓慢退出，这是一个完整的工艺循环，桨等推动机构统称为推舟机构，是净化台整机的一个关键运动机构。将产品推送到炉内和退出炉膛的过程中，桨会产生一定的抖动，抖动可能使得一些薄硅片产品产生一定的位移，从而影响产品的加工效果。
[0004]因此，如何减少...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法，其特征在于，所述方法包括：获取推舟抖动的影响因素，影响因素包括主影响因素和从影响因素；获取推舟抖动的评价因素，根据主影响因素和评价因素筛选出具有因果关系的主影响因素，将具有因果关系的主影响因素作为因果因素；基于因果因素和影响因素得到权重，基于权重和影响因素得到影响总分；根据影响总分和动力源控制参数建立模糊控制器，根据模糊控制器得到动力源目标控制参数和动力源PID参数，基于动力源目标控制参数和动力源PID参数得到动力源优化参数。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据主影响因素和评价因素筛选出具有因果关系的主影响因素，包括：根据主影响因素建立第一状态空间，根据评价因素建立第二状态空间，根据第一状态空间和第二状态空间得到非线性依赖度；若非线性依赖度超过阈值，则对应的主影响因素和评价因素之间具有因果关系。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若非线性依赖度不超过阈值，则对应的主影响因素和评价因素之间相互独立。4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，基于因果因素和影响因素得到权重，包括：将抛去因果因素后剩余的主影响因素作为从影响因素添加到从影响因素中；基于非线性依赖度和因果因素得到第一权重，基于预设方法和从影响因素得到第二权重。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，基于权重和影响因素得到影响总分，包括：基于因果因素和第一权重得到第一分，基于从影响因素和第二权重得到第二分；基于第二分修正第一分，得到影响总分。6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据影响总分和动力源控制参数建立模糊控制器，根据模糊控制器得到动力源目标控制参数，包括：模糊控制器包括第一模糊控制器，第一模糊控制器包括第一模糊规则；根据影响总分和动力源控制参数修正系数建立第一模糊规则...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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