起阀器及其表面处理方法技术

技术编号:3760128 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种起阀器,其包括缓冲层、具有0.3~0.6μm的厚度的Me类金刚石碳层、以及具有1~1.5μm的厚度及60~70%的SP3键合部分的类金刚石碳层,这些层顺序形成在经受了碳氮共渗处理的基体上。该起阀器能够显示出优良的低摩擦特性和抗磨损性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种起阀器,其包括基体和设置在所述基体上的涂层,所述涂层包括: 缓冲层,其通过在经受了碳氮共渗处理的所述基体的表面上溅射金属靶而形成; Me类金刚石碳层,其具有0.3~0.6μm的厚度,并且通过在所述缓冲层上溅射选自W、Cr、Ti、 和Mo的靶而形成;以及 类金刚石碳层,其形成在所述Me类金刚石碳层上,具有1~1.5μm的厚度,并且具有60~70%的SP3键合部分。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕寅雄崔圣文金雄安正煜金炯翼安承均白洪吉郑轸元
申请(专利权)人:现代自动车株式会社起亚自动车株式会社
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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