一种石墨舟的清洗设备制造技术

本申请涉及光伏组件制造辅助设备的领域，尤其是涉及一种石墨舟的清洗设备，包括对石墨舟进行清洗的清洗池、设于清洗池上方且能移动石墨舟进入至对应的清洗池的抓手，清洗池设置两排，每排清洗池均包括酸池和水池，两排清洗池上方设有供抓手在两排清洗池上进行往复移动的移动部，抓手对应每个酸池和水池均设置一个，两排清洗池的酸池相远离，两排清洗池的相近一端之间均设有供清洗完成的石墨舟载具放置的初烘台和供待清洗的石墨舟载具放置的处理台，全部抓手同步移动，使得两排清洗池中的每一个石墨舟能够进行同步移动至下一个对应的酸池或是水池中，有助于清洗效率的提升。有助于清洗效率的提升。有助于清洗效率的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟的清洗设备


[0001]本申请涉及光伏组件制造辅助设备的领域，尤其是涉及一种石墨舟的清洗设备。

技术介绍

[0002]PECVD是沉积非晶硅薄膜的沉积主流方式之一，可分为管式和板式两种，管式PECVD需要将待镀膜的硅片放置于石墨舟中每一个舟片的空门两侧。当石墨舟在使用100次左右时，表面会积累一定量的非晶硅薄膜，因此需要进行及时的清洗，以保障镀膜效果。
[0003]在现有技术中，清洗石墨舟会由机械抓手将放置了石墨舟的载具抓取并移入至相应的酸槽和水槽中，不需要人工来搬运石墨舟或是人工加酸，这样能够提升石墨舟清洗时的便利性和安全性，例如一种石墨舟清洗机，公告号为CN213529923U。
[0004]显然地，在上述相关技术中，单个的机械手对应一排水槽和酸槽，每次只能移动一个石墨舟载具，这样使得机械手需要花费较多的时间将全部的石墨舟载具进行对应的移动，导致石墨舟的清洗效率降低。

技术实现思路

[0005]为了提升石墨舟的清洗效率，本申请提供一种石墨舟的清洗设备。
[0006]本申请提供的一种石墨舟的清洗设备采用如下的技术方案。
[0007]一种石墨舟的清洗设备，包括对石墨舟进行清洗的清洗池、设于清洗池上方且能移动石墨舟进入至对应的清洗池的抓手，所述清洗池设置两排，每排清洗池均包括酸池和水池，两排清洗池上方设有供抓手在两排清洗池上进行往复移动的移动部，抓手对应每个酸池和水池均设置一个，两排清洗池的酸池相远离，两排清洗池的相近一端之间均设有供清洗完成的石墨舟载具放置的初烘台和供待清洗的石墨舟载具放置的处理台。
[0008]通过采用上述技术方案，每一个酸池和水池中均存在一个石墨舟载具，当浸泡达到一定时长后，全部机械手对应将每个酸池和水池中的石墨舟载具移动进入至对应的下一个酸池或是水池中，位于每排清洗池中最后一个水池中的石墨舟载具移动至初烘台上，并且处理台上的石墨舟载具移入至每排清洗池中第一个酸池中，使得全部的石墨舟载具能够同步进行各自所对应的下一个清理步骤，并且抓手只需要移动较短间距即能完成全部的石墨舟载具进行下一清理步骤的移动，节省了清理过程中全部石墨舟载具移动所需要花费的时间，能有效提升石墨舟的清理效率。
[0009]可选的，所述酸池和水池中均设有能转动的两排搅拌辊，搅拌辊转动轴线方向和石墨舟长度方向相一致，两排搅拌辊位于石墨舟两侧，每排搅拌辊沿石墨舟宽度方向设置数个，每排搅拌辊表面均设有搅拌叶。
[0010]通过采用上述技术方案，使用搅拌辊配合搅拌叶来带动酸池和水池中的水进行流动，相比较传统的鼓泡器的曝气管，搅拌辊和搅拌叶不会出现堵塞的情况。
[0011]可选的，每排所述搅拌辊均同轴固定连接有辊齿轮，同排中相邻搅拌辊的辊齿轮相啮合，每排中一个辊齿轮啮合有电机齿轮，电机齿轮连接有使得电机齿轮转动的搅拌电
机。
[0012]通过采用上述技术方案，使得每排相邻两个搅拌辊反向转动，使得同排相邻两个搅拌辊相近处的清洗液流动方向相同，使得每排搅拌辊之间的清洗液流动更加顺畅。
[0013]可选的，所述水池中设有数个朝向石墨舟表面喷水清理的喷水部，喷水部位于水池的液面上方。
[0014]通过采用上述技术方案，使得在石墨舟移入或是移出水池时，喷水部能够朝向石墨舟表面喷出高压水，使得石墨舟表面在酸洗过后存在的一些杂质冲下，提升石墨舟表面的清洗效果。
[0015]可选的，全部所述喷水部连接有同一个内圈侧能供石墨舟载具穿设的传动带，水池设有池杆，池杆转动连接有两个槽轮，传动带传动连接于槽轮，槽轮转动轴线和石墨舟穿设于传动带的方向相同，池杆设有带动槽轮转动的槽轮电机。
[0016]通过采用上述技术方案，在石墨舟进入或是移出水池的过程中，传动带进行传动，并且石墨舟的移动速度配合于传动带的传动速度，使得石墨舟表面能够获得较为充分的清洗。
[0017]可选的，所述槽轮同轴固定连接有往复齿轮，往复齿轮啮合有往复齿条，往复齿条固定连接有丝杠块，丝杠块螺纹连接有往复丝杠，往复丝杠随同槽轮电机输出轴的转动而转动。
[0018]通过采用上述技术方案，使得槽轮在一定的角度范围内进行往复转动，使得每一个喷水部在一定距离内进行往复移动，以便对喷水部的管线进行相应的设置。
[0019]可选的，所述初烘台转动连接有朝向石墨舟表面送出经过加热的惰性气体的喷气部，初烘台设有带动喷气部转动的喷气部电机。
[0020]通过采用上述技术方案，使得在从水池中移出的石墨舟放置在初烘台上后能够由喷气部喷出的热气以将石墨舟表面的水滴去除，以减少后续放入至烘箱内烘干完全的时间，并且喷气部能够进行转动，以使得喷气部能对石墨舟表面进行较为充分的烘干。
[0021]可选的，所述初烘台包括供喷气部转动连接的底座、转动连接于底座且供石墨舟载具放置的动座。
[0022]通过采用上述技术方案，动座带动石墨舟载具转动，以使得石墨舟转动，使得石墨舟各处能够获得较为充分的烘干效果。
[0023]可选的，所述酸池设有起到加热作用的加热件，每个酸池供石墨舟载具放入的开口处均设有池门，池门连通有将酸池内的酸性热汽抽出的抽气管。
[0024]通过采用上述技术方案，加热件提升酸池内清洗液的温度，加快石墨舟表面非晶硅薄膜反应的速度，并且池门能在石墨舟清洗时将酸池封闭，以使得酸性热气不易随意外流，抽气管能将酸性热气及时抽走，使得酸池内气压均衡。
[0025]可选的，所述加热件在每个酸池中均设置两排，两排搅拌辊位于两排加热件之间。
[0026]通过采用上述技术方案，使得加热件附近加热的清洗液，能够在搅拌辊的搅拌作用下在整个酸池内进行流动，提升整个酸池的加热效率和温度均匀性。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：1.抓手只需要移动较短间距即能完成全部的石墨舟载具进行下一清理步骤的移动，节省了清理过程中全部石墨舟载具移动所需要花费的时间，能有效提升石墨舟的清理
效率；2.石墨舟进入或是移出水池的过程中，传动带进行传动，并且石墨舟的移动速度配合于传动带的传动速度，使得石墨舟表面能够获得较为充分的清洗。
附图说明
[0028]图1是本申请主体结构示意图；图2是酸池的侧面剖视以展示酸池内部的结构示意图；图3是酸池的内槽内部结构示意图；图4是水池上部的结构示意图；图5是图4中A处放大图；图6是图1中B处放大图。
[0029]附图标记说明：1、清洗池；2、抓手；3、酸池；31、底座；32、动座；33、加热件；34、池门；35、抽气管；36、内槽；37、完成台；38、底座杆；4、水池；41、池杆；42、槽轮；43、槽轮电机；44、往复齿轮；45、往复齿条；46、丝杠块；47、往复丝杠；48、喷气部；49、喷气部电机；5、移动部；51、初烘台；52、处理台；53、搅拌辊；54、辊齿轮；55、电机齿轮；56、搅拌电机；57、搅拌叶；58、喷水部；59、传动带。
具体实施方式
[0030]以下结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟的清洗设备，包括对石墨舟进行清洗的清洗池（1）、设于清洗池（1）上方且能移动石墨舟进入至对应的清洗池（1）的抓手（2），其特征在于：所述清洗池（1）设置两排，每排清洗池（1）均包括酸池（3）和水池（4），两排清洗池（1）上方设有供抓手（2）在两排清洗池上进行往复移动的移动部（5），抓手（2）对应每个酸池（3）和水池（4）均设置一个，两排清洗池（1）的酸池（3）相远离，两排清洗池（1）的相近一端之间均设有供清洗完成的石墨舟载具放置的初烘台（51）和供待清洗的石墨舟载具放置的处理台（52）。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟的清洗设备，其特征在于：所述酸池（3）和水池（4）中均设有能转动的两排搅拌辊（53），搅拌辊（53）转动轴线方向和石墨舟长度方向相一致，两排搅拌辊（53）位于石墨舟两侧，每排搅拌辊（53）沿石墨舟宽度方向设置数个，每排搅拌辊（53）表面均设有搅拌叶（57）。3.根据权利要求2所述的一种石墨舟的清洗设备，其特征在于：每排所述搅拌辊（53）均同轴固定连接有辊齿轮（54），同排中相邻搅拌辊（53）的辊齿轮（54）相啮合，每排中一个辊齿轮（54）啮合有电机齿轮（55），电机齿轮（55）连接有使得电机齿轮（55）转动的搅拌电机（56）。4.根据权利要求1所述的一种石墨舟的清洗设备，其特征在于：所述水池（4）中设有数个朝向石墨舟表面喷水清理的喷水部（58），喷水部（58）位于水池（4）的液面上方。5.根据权利要求4所述的一种石墨舟的清洗设备，其特征在于：全部所述喷水部（58）连接有同一...

【专利技术属性】
技术研发人员：任建强，张群芳，
申请(专利权)人：浙江合特光电有限公司，
类型：发明
国别省市：