一种准分子光源制造技术

本实用新型专利技术涉及准分子光源技术领域，提供了一种准分子光源，包括：放电管，具有密封的腔体，腔体内封入稀有气体和卤素作为发光气体；第一电极，设置在放电管一端的第一位置；第二电极，设置在放电管另一端的第二位置，第一电极与第二电极适于在放电管的内部产生介质阻挡放电，放电管介于第一位置与第二位置之间的区域形成放电区域；其中，放电管的腔体的体积记为Vmm3，放电管处于放电区域的内表面积记为Smm2，发光气体中卤素原子分压记为Ptorr，则满足下述公式：(V

【技术实现步骤摘要】
一种准分子光源


[0001]本技术涉及准分子光源
，具体涉及一种准分子光源。

技术介绍

[0002]准分子是一种处于激发状态的双原子分子，状态不稳定，在很短时间内跃迁回到能量较小的状态，分解为原子，同时辐射出光能量。根据该原理制作的光源称为准分子光源。以KrCl准分子光源举例，主要反应过程是，石英管内封闭氪气(Kr)和氯气(Cl)，在外电场作用下电子获得能量，周围的Kr被激发电离，Kr离子和Cl原子碰撞形成KrCl准分子复合物，该准分子复合物状态不稳定，一般几个纳秒内就会迅速分解还原为Kr和Cl，并辐射出主波长为222nm的紫外光。
[0003]KrCl准分光源在工作状态下，Cl原子被激励电离，在外电场作用下，轰击石英管被捕获，从而从石英管内消失。因为氯气的损耗，而照成紫外辐射能量减少，照度降低。定义照度降低到50％视为光源的寿命，如何延长光源的寿命显然具有经济效益。现有技术中的准分子灯，通过限定放电区域面积提升光源寿命。但在限定放电区域面积时，也限制了准分子光源的输出能力，导致准分子光源的照度输出不佳。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于现有技术中的准分子灯，通过限定放电区域面积提升光源寿命，但在限定放电区域面积时，也限制了准分子光源的输出能力，导致准分子光源的照度输出不佳，从而提供一种准分子光源。
[0005]为解决上述技术问题，本技术的技术方案如下：
[0006]一种准分子光源，包括：放电管，具有密封的腔体，所述腔体内封入稀有气体和卤素作为发光气体；第一电极，设置在所述放电管一端的第一位置；第二电极，设置在所述放电管另一端的第二位置，所述第一电极与所述第二电极适于在所述放电管的内部产生介质阻挡放电，所述放电管介于所述第一位置与所述第二位置之间的区域形成放电区域；其中，所述放电管的腔体的体积记为Vmm3，所述放电管处于所述放电区域的内表面积记为Smm2，发光气体中卤素原子分压记为Ptorr，则满足下述公式：
[0007](V
×
P)/S＜4.5。
[0008]进一步地，所述第一电极与所述第二电极均紧贴所述放电管的侧壁设置。
[0009]进一步地，所述发光气体为氯原子和氪原子的混合气体，所述发光气体的气压范围为40torr
‑
230torr。
[0010]进一步地，所述发光气体中氯原子的分压比例不大于2％，氪原子分压不小于98％。
[0011]进一步地，所述放电管的长度不小于50mm。
[0012]进一步地，所述第一电极与所述第二电极的材料均包括高密度铝、不锈钢或镍合金中的一种或多种。
[0013]进一步地，所述放电管为石英管。
[0014]进一步地，所述石英管的石英玻璃羟基小于10ppm。
[0015]进一步地，所述放电管包括方管、圆管以及同心管中的一种或多种。
[0016]进一步地，所述第一电极与所述第二电极均包括弧形板、平板或网状板结构中的一种或多种。
[0017]本技术技术方案，具有如下优点：
[0018]本技术提供的准分子光源，放电区域的内表面积相对于整个放电管的体积更大，可以有更高的光引出效率，获得更高的功率和照度，同时又可以适当兼顾准分子光源的寿命，使得该准分子光源更加契合需要强功率和照度的应用场景。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术实施例中的准分子光源的整体结构示意图；
[0021]图2为图1的剖视图；
[0022]图3为图1的侧视图；
[0023]图4为本技术实施例中的准分子光源中第一电极的示意图；
[0024]图5为本技术实施例中的准分子光源中使用图4中的第一电极时的示意图；
[0025]图6为本技术实施例中的准分子光源中放电管为方管时的示意图；
[0026]图7为本技术实施例中的准分子光源中放电管为同心管时(电极在外)的示意图；
[0027]图8为本技术一个实施例中的准分子光源中放电管为同心管时(电极在内)的示意图；
[0028]图9为本技术又一个实施例中的准分子光源中放电管为同心管时(电极在内)的示意图；
[0029]图10为本技术又一个实施例中的准分子光源中放电管为同心管时(内外均有电极)的示意图；
[0030]图11为本技术又一个实施例中的准分子光源中电极为网状板结构时的示意图。
[0031]1、放电管；2、第一电极；3、第二电极。
具体实施方式
[0032]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖
直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0036]图1为本技术实施例中的准分子光源的整体结构示意图；图2为图1的剖视图；图3为图1的侧视图；如图1、图2以及图3所示，本实施例提供一种准分子光源，包括：放电管1，具有密封的腔体，腔体内封入稀有气体和卤素作为发光气体；第一电极2，设置在放电管1一端的第一位置；例如，第一电极2的端部可以与放电管1的端部平齐，再例如，放电管1也可以相对于第一电极2向外伸出。第二电极3，设置在放电管1另一端的第二位置，例如，第二电极3的端部可以与放电管1的端部平齐，再例如，放电管1也可以相对于第二电极3向外伸出。第一电极2与第二电极3适于在放电管1的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子光源，其特征在于，包括：放电管，具有密封的腔体，所述腔体内封入稀有气体和卤素作为发光气体；第一电极，设置在所述放电管一端的第一位置；第二电极，设置在所述放电管另一端的第二位置，所述第一电极与所述第二电极适于在所述放电管的内部产生介质阻挡放电，所述放电管介于所述第一位置与所述第二位置之间的区域形成放电区域；其中，所述放电管的腔体的体积记为Vmm3，所述放电管处于所述放电区域的内表面积记为Smm2，发光气体中卤素原子分压记为Ptorr，则满足下述公式：(V
×
P)/S＜4.5。2.根据权利要求1所述的准分子光源，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极均紧贴所述放电管的侧壁设置。3.根据权利要求1所述的准分子光源，其特征在于，所述发光气体为氯原子和氪原子的混合气体，所述发光气体的气压范围为40torr
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：韩伟，姜文锋，牟忠德，
申请(专利权)人：江苏生命之守医疗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：