一种石墨舟缓存架制造技术

技术编号:37579643 阅读:50 留言:0更新日期:2023-05-15 07:54
本实用新型专利技术公开了一种石墨舟缓存架,包括架体、冷却系统,所述架体内设有多层缓存台和多层冷却台,所述缓存台和所述冷却台间隔设置,一个冷却台上设有一个冷却系统,冷却系统上表面高度低于冷却台上表面,冷却台下方固定设有隔热板,冷却系统包括风冷机构和水冷机构,风冷机构和水冷机构均设于冷却台上,水冷机构设于风冷机构下方,水冷机构和风冷机构之间设有间隙,风冷机构包括风机固定板和风机装置,风机固定板上设有多个风机孔位,风机孔位内设有风机装置,该缓存架通过设置隔热板使每个工艺后的石墨舟降温区域分隔开,避免其互相影响,提升石墨舟的降温效率,隔热板设置成弧形或半圆形的钢板对气流进行引导,使气流及时散开提升降温效果。散开提升降温效果。散开提升降温效果。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟缓存架


[0001]本技术涉及光伏制造领域中的PECVD设备,尤其涉及一种石墨舟缓存架。

技术介绍

[0002]PECVD是光伏制造领域不可缺少的装备,近年来随着我国光伏业迅猛发展,对装备产能和技术要求也越来越高,目前在晶硅太阳能电池加工生产过程中,其中有一步是将未镀膜的电池片装入到石墨舟内,并将该舟送到炉管内升温通特气进行辉光放电镀膜,工艺结束后,石墨舟出炉后温度在400摄氏度左右,需要将石墨舟放置在缓存架上进行降温处理以达到卸片要求,现有的缓存架每层冷却空间在降温冷却过程中会对上层冷却空间影响,导致上层冷却后的石墨舟温度升高或者冷却不充分达不到卸片要求。

技术实现思路

[0003]技术目的:针对上述问题,本技术目的是提供一种石墨舟缓存架对缓存架上工艺后的石墨舟冷却空间进行分隔减少对上层工艺后的石墨舟影响。
[0004]技术方案:一种石墨舟缓存架,包括架体、冷却系统,所述架体内设有多层缓存台和多层冷却台,所述缓存台和所述冷却台间隔设置,一个所述冷却台上设有一个冷却系统,所述冷却系统上表面高度低于所述冷却台上表面,本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟缓存架,其特征在于,包括架体(1)、冷却系统(2),所述架体(1)内设有多层缓存台(11)和多层冷却台(12),所述缓存台(11)和所述冷却台(12)间隔设置,一个所述冷却台(12)上设有一个冷却系统(2),所述冷却系统(2)上表面高度低于所述冷却台(12)上表面,所述冷却台(12)下方固定设有隔热板(13),所述冷却系统(2)包括风冷机构(21)和水冷机构(22),所述风冷机构(21)和所述水冷机构(22)均设于所述冷却台(12)上,所述水冷机构(22)设于所述风冷机构(21)下方,所述水冷机构(22)和所述风冷机构(21)之间设有间隙,所述风冷机构(21)包括风机固定板(23)和风机装置(24),所述风机固定板(23)上设有多个风机孔位(25),所述风机孔位(25)内设有所述风机装置(24)。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟缓存架,其特征在于,所述风机装置(24)在所述风...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩林芝王丽婷郑碧玉张书赵冬许峰周啸颖黄镇舒振兴王守志
申请(专利权)人:中节能太阳能科技镇江有限公司
类型:新型
国别省市:

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