本发明专利技术涉及半导体制造领域，具体是涉及一种自动清洁探针的半导体测试机，包括针盒和清洁池以及带式输送机，针盒上具有若干个供探针置放的置放针孔，清洁池的正上方设有一个升降板，升降板上等间距的设有若干个供探针固定的定位件，并且清洁池的池壁上还设有用以带动升降板移动的升降装置，还包括用以辅助清洁探针的针头的清洁装置和用以待探针的针头清洁后将其表面的水分擦干的拭水装置，拭水装置包括用以初步擦去探针的针头表面水分的擦拭机构和用以进一步烘干探针的针头表面的吹干机构，本申请通过清洁装置对探针的针头的清洁以及拭水装置对探针的针头的擦拭，减少了人力劳动，避免了探针的针头的损坏，以及提高了对探针的针头的清洁程度。针的针头的清洁程度。针的针头的清洁程度。
【技术实现步骤摘要】
一种自动清洁探针的半导体测试机
[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，具体是涉及一种自动清洁探针的半导体测试机。
技术介绍
[0002]半导体器件的整个制造流程可以分为晶圆制造、晶圆测试、晶圆封装及最后测试等分步骤，所述晶圆制造指的是在晶圆上制造半导体器件，在完成半导体器件的制造之后，晶圆上会形成多个重复的管芯，在晶圆测试步骤中，需要对所述管芯进行电性测试，以确保在封装之前，晶圆上的管芯是合格的产品，因此晶圆测试是提高半导体器件良率的关键步骤之一，通常测试设备包括探针台，所述探针台上具有探针卡，所述探针卡包括至少一根探针，所述探针触碰到晶圆上的管芯以进行电性测试，具体的，所述管芯上通常设置有一个或多个测试焊点，所述探针与所述测试焊点需要相互接触，才能完成电性测试，然而探针在长期使用以来，其针头表面会形成氧化层，为了不影响探针的使用，因此，需要定期的对探针的针头进行清洁，目前当发现探针治具因污物累积而失去正常检测功用时，大多利用人工方法以擦拭布或刷子等物理方式对探针脏污部位进行清洁，然而可能因为人工施力不当而造成探针治具结构的损伤，减少探针使用寿命。
[0003]目前公开的中国专利CN201410078912.0探针的清洁方法及探针清洁装置，包括：腔体；所述腔体的底部设有清针片；所述清针片以外的腔体侧壁设有毛刷；所述清针片以外的腔体侧壁设有一个或多个吸孔，所述吸孔通过管道与吸气阀连接，并连接至集尘装置中，所述腔体的两个相对的侧壁具有毛刷，所述毛刷具有硬质刷毛和软质刷毛；硬质刷毛位于腔体的一侧壁，软质刷毛位于腔体的另一侧壁，且硬质刷毛和软质刷毛交错间隔的设置于腔体的侧壁，所述多个吸孔设置于所述腔体的同一侧壁，可移动的托架，将所述腔体的底部固定在托架表面，通过托架的移动来移动所述腔体。
[0004]根据上述专利所述，该专利采用清针片对所述待清洁的探针进行第一清洁处理，采用毛刷对所述待清洁的探针进行第二清洁处理，最后对所述待清洁的探针进行抽气处理，使得探针的表面被清洁弯曲，然而，该专利通过这三种清洁方式对探针同时进行清理时，很容易造成探针表面的损坏，并且探针表面附着较为顽强的杂质也无法被清理出，因此，目前需要一种能够有效且自动的对探针的针头部位进行清洁的装置。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种自动清洁探针的半导体测试机，本申请通过清洁装置对探针的针头的清洁以及拭水装置对探针的针头的擦拭，减少了人力劳动，避免了探针的针头的损坏，以及提高了对探针的针头的清洁程度。
[0006]为解决现有技术问题，本专利技术采用的技术方案为：
[0007]本专利技术提供一种自动清洁探针的半导体测试机，包括针盒和设置在针盒旁侧的清洁池以及设置在清洁池旁侧的带式输送机，针盒上具有若干个供探针置放的置放针孔，清洁池的正上方设有一个升降板，升降板上等间距的设有若干个供探针固定的定位件，并且
清洁池的池壁上还设有一个用以带动升降板朝向清洁池的方向移动的升降装置，还包括用以辅助清洁探针的针头的清洁装置和用以待探针的针头清洁后将其表面的水分擦干的拭水装置，清洁装置设置在清洁池上，拭水装置包括用以初步擦去探针的针头表面水分的擦拭机构和用以进一步烘干探针的针头表面的吹干机构，擦拭机构设置在清洁池的上半部且位于清洁池和升降板之间，吹干机构设置在带式输送机上且位于其正下方。
[0008]优选的，清洁装置包括超声波发生器，超声波发生器设置在清洁池的底部。
[0009]优选的，清洁装置包括磁力振动机，磁力振动机设置在清洁池的底部，并且清洁池内还铺设有若干个与磁力振动机配合使用的磁针。
[0010]优选的，清洁池的上半部安装有一个托架，托架上对应于每个定位件的位置处均开设有一个能够供定位件穿过的穿孔，擦拭机构包括有同轴设置在每个穿孔处的固定柱，每个固定柱上均贯通开设有一个十字口，每个固定柱的十字口的四个边口内还均设有一个弹性夹件，并且每个弹性夹件上还均设有一个用以擦去探针的针头表面水分的海绵。
[0011]优选的，弹性夹件具体为一个通过弹簧连接在固定柱上的滑块，滑块的上端具有供定位件方便向下伸入的圆角且滑块的下端还为供海绵安装的竖直边，海绵粘贴在滑块的竖直边上。
[0012]优选的，托架上的每个穿孔内均安装有一个契合于穿孔的圆盘，每个圆盘上均具有能够供定位件穿过的中空口，并且每个圆盘上还均开设有能够供海绵上被挤出的水流回到清洁池内的流水口。
[0013]优选的，吹干机构包括有一个吹风通道，吹风通道呈条状结构，吹风通道的长度方向平行于带式输送机的输送方向，吹风通道还位于带式输送机的中部，吹风通道上沿着带式输送机的输送方向开设有一个供探针的针头滑过的引导条口，吹风通道上连通有一个通气管，并且通气管的输入端还连接有一个用以提供空气的气泵。
[0014]优选的，吹风通道上的引导条口的两端均安装有一个用以刷去探针的针头表面水分的毛刷，并且吹风通道的内部中端还设有用以提供热量且供空气通过的加热管。
[0015]优选的，定位件包括有一个针套，升降板上开设有供每个针套穿过的通孔，升降板上的通孔与托架上对应的穿孔共轴线，针套穿插在通孔内，针套的上端通过一个固定座固定在升降板上，针套的下端具有能够契合探针端部的承托部，探针插设在针套内且其针头穿过针套向下伸出，针套的上端设有一个与针套同轴设置的橡胶圈，橡胶圈通过插销固定在固定座上，并且橡胶圈的顶部还与其同轴设有一个方便探针插入针套内的引导套，引导套的顶部具有倾斜向内的坡口，引导套的底部固定在固定座上。
[0016]优选的，清洁池的池壁上设有一个用以供水和清洁液加入的加液管口，加液管口的开设位于托架的下方，并且托架上还设有一个伸入清洁池内的液位传感器，液位传感器的输出端朝向清洁池的底部。
[0017]本申请相比较于现有技术的有益效果是：
[0018]1.本申请通过清洁装置对探针的针头的清洁以及拭水装置对探针的针头的擦拭，实现了对探针的针头的自动清洁以及紧随其后的表面清理，减少了人力劳动，避免了探针的针头的损坏，以及提高了对探针的针头的清洁程度。
[0019]2.本申请通过超声波发生器对探针的清洁，实现了探针的针头表面被清理干净且不会被损坏，减少了人力劳动，以及提高了清洁效果。
[0020]3.本申请通过磁力振动机与磁针之间的配合，实现了对探针的针头的清洁，减少了人力劳动，以及提高了清洁效果。
[0021]4.本申请通过四个弹性夹件带着海绵对探针的针头的包裹，实现了对探针的针头表面水分的吸取，避免探针被提取出时其针头上的水分发生滴落的情况。
[0022]5.本申请通过气泵向着吹风通道内吹气的方式，实现了对探针的针头的吹干处理，使得探针干净整洁，避免其针头表面附着污水的情况。
[0023]6.本申请通过针套对探针的支撑以及橡胶圈对探针的束缚，实现了探针在伸入清洁池内被清洗的稳定，提高了对探针清洁的效果，以及对探针起到了稳定保护的效果。
附图说明
[0024]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动清洁探针的半导体测试机，包括针盒(1)和设置在针盒(1)旁侧的清洁池(2)以及设置在清洁池(2)旁侧的带式输送机(3)，针盒(1)上具有若干个供探针(1a)置放的置放针孔，清洁池(2)的正上方设有一个升降板(4)，升降板(4)上等间距的设有若干个供探针(1a)固定的定位件(4a)，并且清洁池(2)的池壁上还设有一个用以带动升降板(4)朝向清洁池(2)的方向移动的升降装置(5)，其特征在于，还包括用以辅助清洁探针(1a)的针头的清洁装置(6)和用以待探针(1a)的针头清洁后将其表面的水分擦干的拭水装置(7)，清洁装置(6)设置在清洁池(2)上，拭水装置(7)包括用以初步擦去探针(1a)的针头表面水分的擦拭机构(7a)和用以进一步烘干探针(1a)的针头表面的吹干机构(7b)，擦拭机构(7a)设置在清洁池(2)的上半部且位于清洁池(2)和升降板(4)之间，吹干机构(7b)设置在带式输送机(3)上且位于其正下方。2.根据权利要求1所述的一种自动清洁探针的半导体测试机，其特征在于，清洁装置(6)包括超声波发生器(6a)，超声波发生器(6a)设置在清洁池(2)的底部。3.根据权利要求1所述的一种自动清洁探针的半导体测试机，其特征在于，清洁装置(6)包括磁力振动机(6b)，磁力振动机(6b)设置在清洁池(2)的底部，并且清洁池(2)内还铺设有若干个与磁力振动机(6b)配合使用的磁针(6b1)。4.根据权利要求1所述的一种自动清洁探针的半导体测试机，其特征在于，清洁池(2)的上半部安装有一个托架(2a)，托架(2a)上对应于每个定位件(4a)的位置处均开设有一个能够供定位件(4a)穿过的穿孔，擦拭机构(7a)包括有同轴设置在每个穿孔处的固定柱(7a1)，每个固定柱(7a1)上均贯通开设有一个十字口，每个固定柱(7a1)的十字口的四个边口内还均设有一个弹性夹件(7a2)，并且每个弹性夹件(7a2)上还均设有一个用以擦去探针(1a)的针头表面水分的海绵(7a3)。5.根据权利要求4所述的一种自动清洁探针的半导体测试机，其特征在于，弹性夹件(7a2)具体为一个通过弹簧(7a21)连接在固定柱(7a1)上的滑块(7a22)，滑块(7a22)的上端具有供定位件(4a)方便向下伸入的圆角且滑块(7a22)的下端还为供海绵(7a3)安装的竖直边，海绵(7a3)粘贴在滑块(7a22)的竖直边上。6.根据权利要求4所述的一种自动清洁探针的半导体测试机...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅雨，冯武卫，
申请(专利权)人：浙江海洋大学，
类型：发明
国别省市：
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