本发明专利技术公开了一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，属于工业尾气处理技术领域。本发明专利技术进气组件、反应室，所述进气组件设置在反应室上端，所述反应室的外套设有夹套，反应室的下方设置有导气管，反应室的一侧设置有水箱，水箱通过管道与夹套相连，所述反应室远离水箱的一侧设置有风冷塔，所述风冷塔内部设置有螺旋气冷管，所述螺旋气冷管与导气管相连接，所述风冷塔远离反应室的一侧设置有除尘筒，所述螺旋气冷管的一端与除尘筒相连，所述除尘筒内有除尘机构，所述反应室内部设置有若干根长短不一的导热管，若干根所述导热管倾斜设置，每相邻的两根导热管倾斜方向相反，每根导热管的两端贯穿反应室。导热管的两端贯穿反应室。导热管的两端贯穿反应室。
【技术实现步骤摘要】
一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置
[0001]本专利技术涉及工业尾气处理
，具体为一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置。
技术介绍
[0002]半导体集成电路在第三次工业革命中的贡献是巨大的，进入21世纪后，集成电路的运用几乎涵盖了人们生活中的所有部分，在半导体集成电路生产制造时，会排放大量含氟化合物尾气，这些气体属于温室气体，不仅对环境危害大，而且有毒性，是我国严格限制排放的有害气体，目前针对含氟化合物尾气处理，一般采用高温燃烧裂解或碱性水吸收中和等方法，高温燃烧裂解处理尾气的方法相较于其他处理方式而言，工序流程更加的简洁直接、效率更高、处理得更加彻底，因此被芯片制造业大量地进行采用。
[0003]高温燃烧裂解装置产生的等离子气体高达3000多度，需要借助多种方式对尾气进行降温，水循环降温装置使用时间变长后容易累积水垢，影响导热效率，极其容易使得水循环降温装置烧坏，尾气燃烧后产生的大量悬浮颗粒物质需要接触过滤装置进行处理，但悬浮颗粒物一多过滤装置被堵塞过滤效率降低也就在所难免。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，包括进气组件、反应室，所述进气组件设置在反应室上端，所述反应室的外套设有夹套，反应室的下方设置有导气管，反应室的一侧设置有水箱，水箱通过管道与夹套相连，所述反应室远离水箱的一侧设置有风冷塔，所述风冷塔内部设置有螺旋气冷管，所述螺旋气冷管与导气管相连接，所述风冷塔远离反应室的一侧设置有除尘筒，所述螺旋气冷管的一端与除尘筒相连，所述除尘筒内有除尘机构。
[0006]进一步的，所述反应室内部设置有若干根导热管，若干根所述导热管沿反应室的径向从内向外依次缩短，若干根导热管倾斜设置，每相邻的两根导热管倾斜方向相反，每根导热管的两端贯穿反应室，所述水箱的中部设置有斜隔板，所述斜隔板将水箱分为上腔及下腔，所述上腔及下腔相通，水箱的外侧设置有水泵，所述水泵的抽水口通过管道与水箱下腔连接，水泵的压水口通过管道与夹套连接，进气组件射出高温等离子尾气，等离子尾气在反应室中燃烧，每根导热管被高温尾气所加热，水泵抽取水箱中的水注入到反应室与夹套之间，水流过导热管时吸收导热管的热量，水被加热蒸发，高温水流及水蒸气向上流动，通过回水管流入到水箱上腔。
[0007]进一步的，所述夹套的上端连接有回水管，所述回水管的中部设置有蒸汽冷凝器，回水管的一端设置在水箱上腔的位置处，所述上腔中转动设置有若干个散热扇，每个散热扇上有数个由导磁吸热材料制成的叶片，若干个散热扇由回水管一端向上腔与下腔相通一
端从高到低设置，每两个散热扇之间设置有磁铁，所有的所述磁铁设置在水箱上，水蒸气在蒸汽冷凝器中聚集冷却呈水珠，随着高温水流流入水箱上腔，高温水流沿着斜隔板流动，逐个冲击若干个散热扇，使得若干个散热扇旋转，同时高温水流的流速变缓，与高温水流接触的叶片迅速吸收水流中的热量，当叶片旋转到两块磁铁之间时，导磁吸热材料中的磁畴受磁场的作用排布变得有序，材料的吸热性能下降放出热量，散热扇在转动的过程中还会使得靠近叶片的空气流动，加速叶片的散热，当叶片再次与高温水流接触时，叶片远离磁场，材料中的磁畴排布无序，材料的吸热性能提升进而吸热，经过若干个散热扇的吸热降温后，水流流入水箱的下腔中，实现对反应室的水冷循环。
[0008]进一步的，所述夹套的外侧设置有与导热管数量相同的导向管，若干个所述导向管与若干根导热管高的一端相对齐，每根导向管与对应的导热管之间连接有引导片，每根导向管中滑动安装有铲头，每个所述铲头的一端连接有弹簧杆，弹簧杆的轴向压缩量小，每个弹簧杆的一端连接有滑柱，所述夹套的外侧滑动安装有推环，每个所述滑柱与推环滑动连接。
[0009]进一步的，每个所述弹簧杆在所对应导热管中移动，弹簧杆的长度随着导热管的缩短而变短，每个所述滑柱的两端设置有挡块，所述滑柱的长度随着弹簧杆的缩短而增加，导热管经过等离子尾气的长时间加热后，导热管的内壁与冷却水接触的位置处产生水垢，两个电机同时旋转，通过齿轮与齿条的啮合传动带动推环向上移动，短的滑柱先被推环向上推动，推环在长的滑柱上滑动，直到抵到长的滑柱上的挡块后带动长的滑柱向上移动，滑柱向上移动时推动弹簧杆向上移动，弹簧杆将铲头推入到导热管中，弹簧杆的长度使得铲头的移动距离与导热管的长度一致，铲头将导热管内壁上的水垢全部刮除，被刮下的水垢被推出导热管落到封堵环上。
[0010]进一步的，所述夹套上对称嵌设有两个齿条，所述推环上对应两个齿条的位置处均设有电机，每个所述电机上安装有齿轮，一对所述齿轮分别与两个齿条相啮合，每个所述齿条与夹套的上端设置有弹簧，所述夹套与反应室之间设置有封堵环，所述封堵环滑动设置在反应室上，封堵环与齿条的底部相连接，当推环移动到最上端无法再上移时，齿轮施加到齿条上的反作用力克服了弹簧的收缩力，齿条向下滑动，封堵环在齿条的带动下向下滑动，使得夹套与反应室之间的下端打开，水垢掉落到夹套的外部，两个电机反转使得推环下移动，弹簧杆拉动铲头复位，齿条在弹簧的作用下向上移动，封堵环对夹套与反应室的底部进行封堵。
[0011]进一步的，所述风冷塔的底部转动设置有风扇，所述风扇的下方设置有从动轮，所述风冷塔的外侧设置有散热电机，所述散热电机的电机轴上设置有主动轮，所述主动轮与从动轮之间连接有V带，高温等离子尾气燃烧后的气体顺着导气管进入到螺旋气冷管中流动，散热电机通电驱动主动轮旋转，主动轮通过V带带动从动轮转动，从动轮使得风扇运转，风扇带动气流对螺旋气冷管进行散热降温，使高温气体降温。
[0012]进一步的，所述除尘机构包括若干个空心电极环，若干个所述空心电极环的直径依次增大，大的空心电极环套设在小的空心电极环外侧，若干个空心电极环相间隔与电极的不同极性相连接，每个空心电极环中空设置，若干空心电极环的上端还对称设置有进水管及出水管，进水管及出水管分别与每个空心电极环的中空部分连通，进水管与水泵的压水口相连通，出水管的一端位于上腔的上端。
[0013]进一步的，所述除尘机构还包括动力扇、排尘管，所述动力扇转动设置在除尘筒内，动力扇位于若干个空心电极环的下方，动力扇上设置有扫尘刷，所述扫尘刷上设置有刷毛，所述刷毛伸入每两个相邻的空心电极环之间，所述动力扇的中部中空，动力扇对应扫尘刷的位置开设有缺口，所述排尘管的一端与动力扇的中部转动相接，高温气体中掺杂着燃烧时产生的悬浮颗粒物，被风冷后的燃烧气体流出螺旋气冷管后进入到除尘筒中，气体经过若干个空心电极环时，悬浮颗粒物在电场的作用下被吸附到若干个空心电极环的表面，悬浮颗粒物夹带的热量传导到空心电极环上，气流在除尘筒中向上流动的同时带动动力扇旋转，动力扇带动扫尘刷同时转动，扫尘刷将附着在空心电极环表面的悬浮颗粒物扫下，颗粒物质通过缺口掉入到排尘管中，并顺着排尘管排出除尘筒，水箱中的水通过进水管流入到若干个空本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，其特征在于：包括进气组件(2)、反应室(3)，所述进气组件(2)设置在反应室(3)上端，所述反应室(3)的外套设有夹套(4)，反应室(3)的下方设置有导气管(5)，反应室(3)的一侧设置有水箱(1)，水箱(1)通过管道与夹套(4)相连，所述反应室(3)远离水箱(1)的一侧设置有风冷塔(6)，所述风冷塔(6)内部设置有螺旋气冷管(7)，所述螺旋气冷管(7)与导气管(5)相连接，所述风冷塔(6)远离反应室(3)的一侧设置有除尘筒(8)，所述螺旋气冷管(7)的一端与除尘筒(8)相连，所述除尘筒(8)内有除尘机构。2.根据权利要求1所述的一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，其特征在于：所述反应室(3)内部设置有若干根导热管(15)，若干根所述导热管(15)沿反应室(3)的径向从内向外依次缩短，若干根导热管(15)倾斜设置，每相邻的两根导热管(15)倾斜方向相反，每根导热管(15)的两端贯穿反应室(3)，所述水箱(1)的中部设置有斜隔板(9)，所述斜隔板(9)将水箱(1)分为上腔及下腔，所述上腔及下腔相通，水箱(1)的外侧设置有水泵(12)，所述水泵(12)的抽水口通过管道与水箱(1)下腔连接，水泵(12)的压水口通过管道与夹套(4)连接。3.根据权利要求2所述的一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，其特征在于：所述夹套(4)的上端连接有回水管(13)，所述回水管(13)的中部设置有蒸汽冷凝器(14)，回水管(13)的一端设置在水箱(1)上腔的位置处，所述上腔中转动设置有若干个散热扇(10)，每个散热扇(10)上有数个由导磁吸热材料制成的叶片，若干个散热扇(10)由回水管(13)一端向上腔与下腔相通一端从高到低设置，每两个散热扇(10)之间设置有磁铁(11)，所有的所述磁铁(11)设置在水箱(1)上。4.根据权利要求2所述的一种具有分级冷却功能的等离子体尾气循环装置，其特征在于：所述夹套(4)的外侧设置有与导热管(15)数量相同的导向管(16)，若干个所述导向管(16)与若干根导热管(15)高的一端相对齐，每根导向管(16)与对应的导热管(15)之间连接有引导片，每根导向管(16)中滑动安装有铲头(17)，每个所述铲头(17)的一端连接有弹簧杆(18)，每个弹簧杆(18)的一端连接有滑柱(19)，所述夹套(4)的外侧滑动安装有推环(20)，每个所述滑柱(19)与推环(20)滑动连接。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：舒庆予，杜东恒，孙云鹏，邵家国，
申请(专利权)人：无锡海莱德智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。