液滴喷出装置、参数计算方法、基板处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供在早期检测喷嘴的异常的技术。本公开是从喷嘴喷出液滴的液滴喷出装置，具有：获取部，获取与液滴的喷出状态相关的信息；时间序列数据计算部，计算与上述液滴的喷出状态相关的信息的时间序列数据；计算部，基于上述时间序列数据来计算与喷嘴的清洁相关的参数；以及判断部，基于上述参数来判断清洁的定时。时。时。

【技术实现步骤摘要】
液滴喷出装置、参数计算方法、基板处理系统


[0001]本公开涉及液滴喷出装置、参数计算方法以及基板处理系统。

技术介绍

[0002]已知有通过喷出液滴来形成图像或者形成二维或三维的构造的液滴喷出装置。液滴喷出装置从喷嘴反复喷出液滴来形成对象物，但从该喷嘴喷出的液滴的着落位置等有时产生各种异常(以下，仅称为喷嘴的异常)。
[0003]研究出检测喷嘴的异常的技术(例如参照专利文献1)。在专利文献1中公开了一种液滴喷出装置，具备：配置有喷出液滴的喷嘴的头；和检测喷嘴的喷出异常的检测部，基于检测出喷出异常的异常喷嘴的头内的位置信息来判断是否需要维护异常喷嘴。
[0004]专利文献1：日本特开2017
‑
177423号公报

技术实现思路

[0005]本公开的目的在于提供在早期检测喷嘴的异常的技术。
[0006]本公开是从喷嘴喷出液滴的液滴喷出装置，具有：获取部，获取与液滴的喷出状态相关的信息；时间序列数据计算部，计算与上述液滴的喷出状态相关的信息的时间序列数据；计算部，基于上述时间序列数据来计算与喷嘴的清洁相关的参数；以及判断部，基于上述参数来判断清洁的定时。
[0007]根据本公开，能够提供在早期检测喷嘴的异常的技术。
附图说明
[0008]图1是表示根据一个实施方式的有机EL显示器的主要部分的剖视图。
[0009]图2是表示根据一个实施方式的基板处理系统的俯视图。
[0010]图3是根据一个实施方式的控制装置的结构图。
>[0011]图4是表示根据一个实施方式的涂布装置的俯视图。
[0012]图5是表示由左侧的基板移动部偏转基板时的状态的侧视图。
[0013]图6是表示根据一个实施方式的喷出头的排列的俯视图。
[0014]图7是表示液滴飞翔图像的拍摄方法的一个例子的图。
[0015]图8是说明控制装置具有的与清洁相关的功能的一个例子的功能框图。
[0016]图9是表示根据正常喷嘴喷出的液滴的着落位置求出的一个例子的时间序列数据的图。
[0017]图10是表示根据异常喷嘴的着落位置求出的一个例子的时间序列数据的图。
[0018]图11是示出表示着落位置的时间变化的一个例子的图表的图。
[0019]图12是表示拍摄对液滴飞翔图像的相同的喷嘴喷出的分别不同的液滴的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0020]图13是表示使用从液滴飞翔图像检测的特征量亦即弯曲的一个例子的时间序列
数据的图。
[0021]图14是表示几个喷嘴喷出的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0022]图15是表示包含液滴点的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0023]图16是表示包含喷嘴板的污垢的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0024]图17是表示包含喷嘴漏喷的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0025]图18是表示对着落时间的每个喷嘴的偏移进行说明的一个例子的液滴飞翔图像的图。
[0026]图19是对使用时间序列数据的异常模式的一个例子的判断方法进行说明的图。
[0027]图20是对是否能够分类为集群的一个例子的判断方法进行说明的图。
[0028]图21是表示控制装置监视喷嘴的异常的步骤的一个例子的流程图。
[0029]图22是表示控制装置监视喷嘴的异常的步骤的一个例子的流程图。
[0030]图23是表示在与控制装置连接的操作面板显示的一个例子的喷嘴监视画面的图。
[0031]附图标记说明
[0032]10
…
基板；140
…
控制装置；150
…
载置台部；61
…
着落位置获取部；62
…
液滴飞翔图像获取部；64、65
…
时间序列数据计算部；66
…
异常度计算部。
具体实施方式
[0033]以下，参照附图对本公开的不限定的例示的实施方式进行说明。作为用于实施本公开的方式的一个例子，参照附图并对与喷嘴的清洁相关的参数计算方法进行说明。
[0034]〔异常度的计算方法的概略〕
[0035]在本公开中，计算喷出液滴的喷嘴的异常度，输出该异常度(在显示器中显示)，或者使用于清洁执行的判断。根据以下的两个数据计算出异常度。
[0036](i)着落位置的时间序列数据
[0037](ii)从液滴飞翔图像(拍摄飞翔的液滴得到的图像)获取到的特征量的时间序列数据
[0038]通过着眼于时间序列数据，从而容易在早期(在预兆的阶段)检测异常。另外，能够比人判断更早地检测异常。
[0039]另外，液滴喷出装置通过着落位置的时间序列数据、液滴飞翔图像的时间序列数据、或者液滴飞翔图像的图像解析，能够区分异常模式。能够根据异常模式执行适当的清洁。
[0040]因此，本公开的液滴喷出装置通过基于异常度来决定清洁的定时，从而能够使清洁频率最优化。另外，通过清洁频率的最优化和与异常模式相应的清洁的执行，能够抑制在清洁中消耗的材料的量。例如，使用有机EL的液晶的基板等所使用的材料高价，但能够极力减少在清洁中消耗的材料的量。另外，只要能够检测异常的预兆，则液滴喷出装置的工序的调度也变得容易，在产生异常之前能够进行清洁，因此也能够减少对象物的重新形成等。
[0041][关于术语][0042]喷嘴的异常是指在从喷嘴喷出的液滴有与正常的状态不同的某些异常。
[0043]与喷嘴的清洁相关的参数是指是否执行清洁或者何时执行清洁的判断所使用的信息。在本实施方式中，用异常度这一用语来说明。
[0044]与液滴的喷出状态相关的信息只要是能够计算该参数的信息即可。在本实施方式中，以着落位置以及液滴飞翔图像的至少一方为例进行说明。
[0045][液滴喷出装置的结构][0046]在说明装置的结构时，对液滴喷出装置制成的有机EL显示器的结构进行说明。
[0047]图1是表示根据一个实施方式的有机EL显示器的主要部分的剖视图。作为基板10，使用玻璃基板、树脂基板等透明基板。在基板10上形成有TFT层12。在TFT层12上形成有使由TFT层12形成的台阶平坦化的平坦化层18。
[0048]平坦化层18具有绝缘性。在贯通平坦化层18的接触孔形成有接触插塞19。接触插塞19将形成于平坦化层18的平坦面的作为像素电极的阳极21和TFT层12电连接。接触插塞19可以由与阳极21相同的材料同时形成。
[0049]有机发光二极管13形成于平坦化层18的平坦面上。有机发光二极管13具有：作为像素电极的阳极21、以像素电极为基准设置在与基板10相反侧的作为对置电极的阴极22、以及形成在阳极21与阴极22之间的有机层23。通过使TFT层12工作，从而对阳极21与阴极22之间施加电压，使有机层23发光。
[0050]阳极21例如由ITO(Indium 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液滴喷出装置，从喷嘴喷出液滴，其特征在于，上述液滴喷出装置具有：获取部，获取与液滴的喷出状态相关的信息；时间序列数据计算部，计算与上述液滴的喷出状态相关的信息的时间序列数据；计算部，基于上述时间序列数据来计算与上述喷嘴的清洁相关的参数；以及判断部，基于上述参数来判断上述喷嘴的清洁的定时。2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，具有：异常模式判断部，基于上述时间序列数据来判断喷嘴的异常模式；以及清洁种类判断部，根据上述异常模式来判断上述喷嘴的清洁种类。3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，上述异常模式判断部判断突然产生上述喷嘴的异常的异常模式、和逐渐产生上述喷嘴的异常的异常模式，根据上述异常模式来判断上述清洁的种类。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，用相关图表示上述时间序列数据，上述计算部根据时间序列数据的自相关的大小来计算上述参数。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，与上述液滴的喷出状态相关的信息是液滴的着落位置，上述计算部基于根据上述液滴的着落位置的时间序列数据计算出的相关图，来计算上述参数。6.根据权利要求1～4中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，与上述液滴的喷出状态相关的信息是液滴飞翔图像，上述计算部计算从上述液滴飞翔图像检测出的特征量的相关图，并基于上述相关图来计算上述参数。7.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村隆央，数井诚人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：