一种单晶硅生产用旋片隔离阀制造技术

本发明专利技术涉及一种单晶硅生产用旋片隔离阀，其中，包括隔离阀腔体、阀板、升降驱动件、旋转驱动件，所述阀板位于所述隔离阀腔体内，所述旋片隔离阀还包括第一连接件和连接轴，所述第一连接件套设在所述连接轴的一端，所述连接轴穿设在所述隔离阀腔体内，所述第一连接件位于所述隔离阀腔体外；所述升降驱动件活动接于所述第一连接件，所述旋转驱动件位于所述隔离阀腔体的外壁上且活动接于所述第一连接件。其有益效果是，相对于现有技术改变升降驱动件和旋转驱动件的位置，充分利用了隔离阀腔体的外壁上的空间，其很大程度地简化了旋片隔离阀在连接轴方向的结构，利于设备整体布局，为拉晶作业提供更大的空间。业提供更大的空间。业提供更大的空间。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产用旋片隔离阀


[0001]本专利技术涉及单晶硅生产
，尤其涉及一种单晶硅生产用旋片隔离阀。

技术介绍

[0002]电子元件的生产需要使用到单晶硅材料，单晶硅材料在生产的过程中需要进行拉晶步骤，拉晶的过程中，则需要使用到隔离阀对原料的落料进行控制，以保持炉内晶体生长环境，进而保证晶体的成型效果，现有的单晶硅晶体生产用隔离阀机构在使用时还存在一些缺陷。
[0003]现有的旋片隔离阀多采用自动化驱动方式，可有效的提高作业效率，降低劳动强度和成本，但是，带来的不良影响是机械结构过于厚重，占用炉盖上的空间较大，不利于设备整体布局；同时，随着晶棒规格逐步增大，在拉晶过程中需要的空间也变大，厚重的旋片隔离阀的结构也在一定程度上影响拉晶生产过程。
[0004]如在中国专利，公开号为CN114165602A的专利中，公开了一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，阀轴安装座的左侧连接有第一驱动气缸，第一驱动气缸的前端转动安装有升降杠杆，升降杠杆的内部设置有旋片隔离阀轴，旋片隔离阀轴的顶部固定安装有旋转臂，旋转臂的前端连接有第二驱动气缸，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产用旋片隔离阀，包括，隔离阀腔体(1)、阀板(2)、升降驱动件(3)、旋转驱动件(4)，所述阀板(2)位于所述隔离阀腔体(1)内，所述升降驱动件(3)和所述旋转驱动件(4)均位于所述隔离阀腔体(1)外侧；其特征在于：所述旋片隔离阀还包括第一连接件(51)和连接轴(52)，所述第一连接件(51)套设在所述连接轴(52)的一端，所述连接轴(52)延伸的方向垂直于所述阀板(2)并与之连接，所述连接轴(52)穿设在所述隔离阀腔体(1)内，所述第一连接件(51)位于所述隔离阀腔体(1)外；所述升降驱动件(3)活动接于所述第一连接件(51)，所述旋转驱动件(4)位于所述隔离阀腔体(1)的外壁上且活动接于所述第一连接件(51)；所述升降驱动件(3)和所述旋转驱动件(4)通过所述第一连接件(51)驱动所述连接轴(52)以带动所述阀板(2)在所述隔离阀腔体(1)内部旋转升降，进而实现所述旋片隔离阀的开关。2.如权利要求1所述的单晶硅生产用旋片隔离阀，其特征在于：所述第一连接件(51)上相对设置有凸轮(53)，所述凸轮(53)朝向所述连接轴(52)；所述升降驱动件(3)上还设有过渡接头(6)，所述过渡接头(6)一端接于所述升降驱动件(3)，另一端外侧周向设置环形凹槽；所述凸轮(53)活动卡接于所述环形凹槽，所述凸轮(53)可沿所述环形凹槽移动。3.如权利要求1所述的单晶硅生产用旋片隔离阀，其特征在于：还包括阀臂转轴(54)，所述阀臂转轴(54)接于所述连接轴(52)背离所述第一连接件(51)的端部；所述阀板(2)上朝向所述第一连接件(51)的一侧设置有阀臂横杆(7)；所述阀板(2)通过所述阀臂横杆(7)接于所述阀臂转轴(54)。4.如权利要求1所述的单晶硅生产用旋片隔离阀，其特征在于：还包括第一密封机构(55)和安装座(56)；所述第一密封机构(55)套设在所述连接轴(52)上，且卡接于所述隔离阀腔体(1)的外壁上；所述安装座(56)平行于所述连接轴(52)接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李锋伟，卢维平，孙辰，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：