【技术实现步骤摘要】
一种光纤阵列组件及制作方法
[0001]本专利技术涉及光纤阵列
,特别是涉及一种光纤阵列组件及制作方法。
技术介绍
[0002]光波导芯片作为多通道光器件的一种集成解决方案,如多通道数的分光器、基于阵列波导光栅的波分复用/解复用器、4或者8通道的光波导光收发器组件等。多通道光波导芯片封装时,光纤阵列作为一种光纤组件,通常采用作为波导芯片输入/输出对外的信号接口,广泛的应用于光波导器件封装。
[0003]近年基于硅波导的光电集成技术飞速发展,与之前的平面光分路器、波分复用/解复用器芯片不同,硅光波导芯片耦合端面多采用悬臂波导结构,波导端面距离芯片衬底水平方向有5~30μm的间距,垂直方向有100μm的刻蚀台阶。
[0004]传统光纤阵列端面都是光纤、基板和盖板粘接固定后通过研磨抛光加工制作而成。常规光纤阵列与芯片耦合时,端面胶水既作为结构粘接,也作为折射率匹配。
[0005]由于5~30μm的水平间距,因此常规光纤阵列无法用于硅波导芯片的耦合封装。再考虑端面波导折射率要求,该类硅光芯片耦合 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光纤阵列组件,其特征在于,包括盖板(1)、基板(2)、阵列光纤(3)和结构胶(4),所述盖板(1)上刻有V型槽(11),V型槽(11)的数量和V型槽间距根据光波导芯片通道间距保持一致,所述基板(2)上设置有沟槽(22)和光纤阵列的固定台(23),具体的:所述阵列光纤(3)的纤芯端面与所述盖板(1)端面耦合,所述盖板(1)盖合在所述光纤阵列的固定台(23)上;所述沟槽(22)与所述固定台(23)相邻,并且在盖合所述盖板(1)后,位于所述盖板(1)和所固定的阵列光纤(3)的下方;所述结构胶(4)从相对固定台(23)与盖板(1)上相对阵列光纤(3)延展方向垂直的交界面注入,并在溢出到所述沟槽(22)中后,完成结构胶(4)对盖板(1)和固定台(23)之间的固定作用。2.根据权利要求1所述的光纤阵列组件,其特征在于,所述盖板(1)盖合在所述光纤阵列的固定台(23)上,具体包括:所述盖板(1)与光纤端面齐平的边,相对基板(2)的边凸出5~30μm,其中,5~30μm是根据光波导芯片端面刻蚀宽度而定;其中,所述凸出的5~30μm是在制作过程中,所述基板(2)的边与盖板(1)的边对齐后下沉,压紧阵列光纤(3)后,通过微调架往后移动基板5~30μm得到。3.根据权利要求1所述的光纤阵列组件,其特征在于,所述沟槽(22)包括第一段台阶(221)和第二段台阶(222),具体的:所述第一段台阶(221)的一面是基板(2)的第一侧面,所述第一侧面与设置阵列光纤(3)的端面是同侧的面;其中,第一端台阶(221)的上表面相对基板(2)上表面下沉第一距离;所述第二段台阶(222)位于所述第一端台阶(221)和固定台(23)之间,所述第二段台阶(222)的上表面相对基板(2)上表面下沉第二距离;其中,第二距离大于所述第一距离从而构成沟槽结构。4.根据权利要求3所述的光纤阵列组件,其特征在于,所述第一距离为0.15mm+0.03mm;所述第二距离为0.3mm+0.03mm;所述第一端台阶(221)的宽度为0.2mm+0.03mm;所述第二台阶(222)的宽度为0.2mm+0.03mm。5.根据权利要求1所述的光纤阵列组件,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜巍,宋琼辉,许胜兰,
申请(专利权)人:武汉光迅科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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