用于确定通过衍射光学元件所产生的波前的方法技术

一种用于确定由衍射光学元件(24)所产生的波前(54)的方法包含以下步骤：提供n维非周期性图案(58)，其代表配置在衍射光学元件上的衍射结构(34)，其中n具有1或2的数值；以及通过计算来确定由衍射光学元件所产生的波前(54)，同时考虑n维非周期性图案，其中在计算确定波前的过程中，n维非周期性图案(58)嵌入到更高维表示中，衍射结构由该更高维表示中的周期性图案(64)表示。图案(64)表示。图案(64)表示。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于确定通过衍射光学元件所产生的波前的方法
[0001]本申请案主张2020年7月30日申请的德国专利申请案10 2020 209580.9的优先权。此专利申请案的整体内容以引用的方式并入本申请案。


[0002]本专利技术关于用于确定由衍射光学元件所产生的波前的方法，并关于用于测试对象的表面形状的干涉测量的方法及测量装置。

技术介绍

[0003]干涉测量装置和方法(其中衍射光学元件从输入波产生测试波和参考波)已知用于光学表面的高精度干涉测量，其范围可低至亚纳米级。衍射光学元件允许测试波的波前适应于测试对象的目标表面，使得该波前以基本上垂直的方式入射在目标形状的每个位置上并从该位置反射回自身。接着，在通过将反射的测试波叠加在参考波上而形成的干涉图的协助下，可确定与目标形状的偏差。
[0004]US2018/0106591A1描述了这种干涉测量装置的实施例，其中复杂编码的计算机生成全息图(CGH)用作衍射光学元件。除了指向待测表面的测试波和穿过参考臂的参考波外，CGH还从输入波产生多个校准波。
[0005]需要非常准确地了解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于确定由衍射光学元件所产生的波前的方法，包含以下步骤：提供n维非周期性图案，其代表配置在该衍射光学元件上的衍射结构，其中n具有1或2的数值；以及通过计算来确定由该衍射光学元件所产生的该波前，同时考虑该n维非周期性图案，其中在计算确定该波前的过程中，该n维非周期性图案嵌入到更高维表示中，该衍射结构由该更高维表示中的周期性图案表示。2.如权利要求1所述的方法，其中在计算确定该波前的过程中，从该更高维的周期表示中出现的图案由傅里叶级数来表示，且该n维非周期性图案通过该周期性图案的该傅里叶级数中所包含的多个扩展系数转换为傅里叶表示。3.如权利要求2所述的方法，其中通过该衍射光学元件所产生的该波前通过基于该n维非周期性图案的该傅里叶表示以及配置在该衍射光学元件上的该衍射结构的形貌的算法来确定。4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中该非周期性图案是二维的且代表至少3次编码的衍射图案。5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中该衍射光学元件配置为以用于测量装置中，用于对测试对象的表面的形状进行干涉测量。6.如权利要求3至5中任一项所述的方法，其中通过将基于该衍射结构的布局所仿真的波前与考虑该衍射结构的该形貌所确定的该波前进行比较来确定波前校正。7.一种用于对测试对象的表面的形状进行干涉测量的方法，包含以下步骤：将由衍射光学元件所产生的测试波辐射到该测试对象的表面上；通过根据前述权利要求中任一项所述的方法，通过计算来确定该测试波的波前；以及评估干涉图，该干涉图是在与该测试对象的表面相互作用后通过该测试波所产生，其中考虑了通过计算所确定的该测试波的该波前。8.如权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：