一种准分子灯光源模组制造技术

本实用新型专利技术提供一种准分子灯光源模组，属于准分子灯技术领域。本实用新型专利技术包括壳体、与壳体相配合连接的盖板以及准分子灯，壳体内部中空，壳体内部表面设置有反射膜，壳体相对的两侧侧壁上均匀开设有若干个散热孔，盖板中间开设有透光孔，透光孔中间设置有透光片，至少一个准分子灯固定设置在壳体内部，准分子灯两端包覆设置有金属灯头，金属灯头与壳体内壁相接触连接，本实用新型专利技术本实用新型专利技术有效提高了准分子灯的散热性能，延长了准分子灯的使用寿命，提高了准分子灯的光源输出效率。提高了准分子灯的光源输出效率。提高了准分子灯的光源输出效率。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子灯光源模组


[0001]本技术涉及一种准分子灯光源模组，属于准分子灯


技术介绍

[0002]准分子灯，又名介质阻挡放电灯，即在密闭的容器内充有一种或多种混合气体，在容器外施加高压高频单向或双向电压并在气体内部产生足够强大的电场，气体电离，出现高速运动的电子，低速移动的离子，低温准分子激发态，当不稳定的高能准分子激发态回落稳定的基态时，发出一定波长的射线。
[0003]目前的准分子灯主要有同轴双管灯，内设管状或实心金属作为内电极，外管外绕有网状，螺旋状，线性外电极，内外电极通过内外两层阻挡介质(例如石英，陶瓷，橡胶等绝缘体)绝缘；平板灯，充气容器为长方体，绝缘介质外设有电极均为外电极，网状或螺旋状，对称排布；放电容器内充有不同气体，发出不同波长的紫外光。
[0004]在半导体芯片生产过程中，和使用光刻相比，纳米压印技术作为低成本生产越来越具有重要地位。在形成模板过程中，如果有外物渗入将带来良品率的下降，于是需要对模板进行清洗。湿法清洗通过使用溶剂，碱液，酸液等化学品，在湿法清洗过程中，模板有可能会被消融因而可能变形，此外，清洗液需要收集和处理，增加了工艺的复杂性。同时，使用湿法清洗需要时间较长，影响生产效率。而使用深紫外的光清洗方法就成为高效的解决方案。
[0005]无论是半导体的光清洗还是远紫外消毒，都需要紫外线通过一定的窗口，均匀，稳定，高效的发光。而准分子灯管在工作过程中除发射紫外波段外，还发出少量红外光谱，如果没有很好的散热，灯管的温度就不断上升，随着温度上升，紫外发光效率明显下降，石英材料的透光率也逐步下降，当灯管外表面温度超过200摄氏度时，紫外强度只有最初的一半左右，效率大大降低。
[0006]现有的准分子灯模组存在的问题主要有两个方面：
[0007]1、目前为实现单面光输出应用，增加光输出，一般采用半圆形铝质反射板或贴有铝膜的半圆形装置，紫外光在透过石英管壁时存在透过损失，在铝质反射板上反射时也存在光损失，反射率只有0.1
‑
0.3，效率较低。
[0008]2、在半导体应用中采用氮气吹扫，或者水冷，不能做到和灯管的直接热接触，冷却效果不好。

技术实现思路

[0009]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种准分子灯光源模组，用于解决现有技术中现有的准分子灯光源模组散热效率差，光源透过损失较大，反射率低的问题。
[0010]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种准分子灯光源模组，包括壳体、与壳体相配合连接的盖板以及准分子灯，所述壳体内部中空，壳体内部表面设置有反射膜，壳体相对的两侧侧壁上均匀开设有若干个散热孔，所述盖板中间开设有透光孔，透光
孔中间设置有透光片，至少一个所述准分子灯固定设置在壳体内部，所述准分子灯两端包覆设置有金属灯头，金属灯头与壳体内壁相接触连接。
[0011]于本技术的一实施例中，所述壳体相对的两侧侧壁上一侧均匀设置若干个散热孔，另一侧设置风扇。
[0012]通过采用这种技术方案：壳体一侧的风扇启动，外界空气在风扇的作用下进入壳体内部再经风扇排出，通过空气的流动带走壳体内部的热量提高准分子灯的散热效果。
[0013]于本技术的一实施例中，所述壳体外侧表面均匀设置有若干个散热凹槽。
[0014]通过采用这种技术方案：壳体外侧表面设置的散热凹槽增大了壳体与空气的接触面积从而提高壳体的散热效果。
[0015]于本技术的一实施例中，所述壳体和盖板均采用不锈钢壳体和不锈钢盖板。
[0016]通过采用这种技术方案：壳体和盖板均采用不锈钢壳体和不锈钢盖板导热效率高，散热效果好。
[0017]于本技术的一实施例中，所述透光片采用石英玻璃片或石英透光片。
[0018]于本技术的一实施例中，所述壳体内部相对的两侧侧壁上对称设置有弧形槽。
[0019]通过采用这种技术方案：弧形槽提高光源的反射率，确保光源反射到透光孔。
[0020]于本技术的一实施例中，所述壳体内部中空且中空部分截面为弧形。
[0021]通过采用这种技术方案：通过弧形面进行聚光，使得准分子灯的光源从透光孔中射出，从而提高光源输出效果
[0022]于本技术的一实施例中，所述壳体内部两端对称设置有至少两个固定夹，两个固定夹分别夹持准分子灯两端。
[0023]于本技术的一实施例中，所述壳体内部两侧侧壁上设置嵌入凹槽，所述准分子灯两端的金属灯头嵌入设置在嵌入凹槽中。
[0024]通过采用这种技术方案：准分子灯两端的金属灯头直接嵌入设置在壳体内壁上的嵌入凹槽中，嵌入凹槽对准分子灯进行固定的同时使得金属灯头与壳体内壁相接触提高导热效率。
[0025]如上所述，本技术的一种准分子灯光源模组，具有以下有益效果：
[0026]本技术中光源模组采用金属外壳，导热性能好散热效率高，壳体上还设置散热孔和风扇，大大提高散热效果，壳体内部设置了反射膜并设置弧形槽提高光源的反射效果，提高光源的输出，本技术有效提高了准分子灯的散热性能，延长了准分子灯的使用寿命，提高了准分子灯的光源输出效率，且装置结构简单，使用简便。
附图说明
[0027]图1显示为本技术实施例中一种准分子灯光源模组的整体结构示意图。
[0028]图2显示为本技术实施例中一种准分子灯光源模组的左视结构示意图。
[0029]图3显示为本技术实施例中一种准分子灯光源模组的右视结构示意图。
[0030]图4显示为本技术实施例中一种准分子灯光源模组的左视内部结构示意图。
[0031]图5显示为本技术实施例中一种准分子灯光源模组的主视内部结构示意图。
[0032]其中，1、壳体；2、盖板；3、透光孔；4、透光片；5、散热凹槽；6、风扇；7、散热孔；8、弧
形槽；9、准分子灯；10、固定夹；11、金属灯头；12、反射膜。
具体实施方式
[0033]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0034]请参阅图1至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0035]实施例一：
[0036]请参阅图1至图5，本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子灯光源模组，其特征在于，包括壳体(1)、与壳体(1)相配合连接的盖板(2)以及准分子灯(9)，所述壳体(1)内部中空，壳体(1)内部表面设置有反射膜(12)，壳体(1)相对的两侧侧壁上均匀开设有若干个散热孔(7)，所述盖板(2)中间开设有透光孔(3)，透光孔(3)中间设置有透光片(4)，至少一个所述准分子灯(9)固定设置在壳体(1)内部，所述准分子灯(9)两端包覆设置有金属灯头(11)，金属灯头(11)与壳体(1)内壁相接触连接。2.根据权利要求1所述的一种准分子灯光源模组，其特征在于：所述壳体(1)相对的两侧侧壁上一侧均匀设置若干个散热孔(7)，另一侧设置风扇(6)。3.根据权利要求1所述的一种准分子灯光源模组，其特征在于：所述壳体(1)外侧表面均匀设置有若干个散热凹槽(5)。4.根据权利要求1所述的一种准分子...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏金飞，
申请(专利权)人：夏金飞，
类型：新型
国别省市：