一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，包括水箱，水箱底部水平设置多个滑槽，每个滑槽内可滑动设置夹具支撑组件，夹具支撑组件用于装夹光学元件的镜体并调节镜体高度；夹具支撑组件包括可沿滑槽滑动的夹具座，夹具座内部中空设置竖直的安装部，夹具座内部壁设置凹槽，安装部内水平穿设夹具夹块，夹具夹块的一端从凹槽内穿入安装部内进行固定，夹具夹块的另一端位于安装部外，位于安装部外的夹具夹块上垂直设置支撑单元，支撑单元调节所夹持的镜体在垂直方向上的高度；夹具座顶部设置上盖板，上盖板设置夹持单元，对镜体进行装夹。本发明专利技术可满足不同口径光学元件的装夹需求，匹配适应不同厚度的光学元件装夹需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置


[0001]本专利技术涉及可调节镜体支撑装置，尤其涉及一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置。

技术介绍

[0002]当前我国在强激光、光电子、X射线和空间光学等高科技领域对超光滑超高精度表面的获得提出了迫切需求。其主要特征具体表现为：(1)具有极小的表面粗糙度保证极低的散射特性；(2)具有超高精度的面形精度保证其优异的波前面形质量；(3)作为功能元件表面应具有完整的晶格结构保证其极高灵敏性、可靠性以及极高的频响性；这均给超光滑超高精度表面加工技术带来巨大的挑战。
[0003]弹性发射加工是一种基于流体动力润滑效应的理想超光滑表面加工技术，其加工系统是由旋转轮、加工液和工件组成，工件和旋转轮都浸漬在加工液中，当旋转轮高速旋转时，在旋转轮与工件之间楔形间隙就形成了类似于流体动压现象。在流体剪切应力的作用下，使工件表面产生原子级的极微量的弹性破坏，实现工件表面层原子的分离加工，从而去除工件表面材料。由于微细磨粒冲击工件表面所产生的能量不足以使工件表面材料产生塑性变形，其只有原子间结合的微小弹性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，包括水箱(2)，所述水箱(2)底部水平设置多个滑槽(2
‑
1)，其特征在于，每个滑槽(2
‑
1)内可滑动设置夹具支撑组件(1)，所述夹具支撑组件(1)用于装夹光学元件的镜体并调节镜体高度；所述夹具支撑组件(1)包括可沿所述滑槽(2
‑
1)滑动的夹具座(1
‑
1)，所述夹具座(1
‑
1)内部中空设置竖直的安装部(1
‑1‑
1)，夹具座(1
‑
1)内部壁设置凹槽(1
‑1‑
2)，所述安装部(1
‑1‑
1)内水平穿设夹具夹块(1
‑
2)，所述夹具夹块(1
‑
2)的一端从所述凹槽(1
‑1‑
2)内穿入安装部(1
‑1‑
1)内进行固定，夹具夹块(1
‑
2)的另一端位于安装部(1
‑1‑
1)外，位于安装部(1
‑1‑
1)外的夹具夹块(1
‑
2)上垂直设置支撑单元(1
‑
5)，所述支撑单元(1
‑
5)调节所夹持的镜体在垂直方向上的高度；所述夹具座(1
‑
1)顶部设置上盖板(1
‑
3)，所述上盖板(1
‑
3)垂直设置连接体(1
‑3‑
1)，所述连接体(1
‑3‑
1)上水平设置夹持单元(1
‑
6)，所述夹持单元(1
‑
6)对镜体进行装夹。2.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述支撑单元(1
‑
5)包括垂直穿设在所述夹具夹块(1
‑
2)上的第一顶丝座(1
‑5‑
1)，所述第一顶丝座(1
‑5‑
1)中垂直设置底部顶丝(1
‑5‑
2)对镜体底部进行支撑。3.根据权利要求2所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述夹持单元(1
‑
6)包括水平穿设在所述连接体(1
‑3‑
1)上的第二顶丝座(1
‑6‑
1)，所述第二顶丝座(1
‑6‑
1)中水平设置侧位顶丝(1
‑6‑
2)对镜体进行夹持。4.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述滑槽(2
‑
1)和夹具支撑组件(1)的数量分别为4个，一一对应均布在以水箱(2)底部中心为圆心的圆周处，4个支撑单元(1
‑
5)的底部顶丝(1
‑5‑
2)支撑点高度相同。5.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述上盖板(1
‑
3)上设置第一螺纹孔(1
‑3...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁蛟腾，姜向敏，姚永胜，马臻，李奇炘，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：