Ｘ射线检查区域设定方法及设定程序、Ｘ射线检查装置制造方法及图纸

涉及能够正确且容易地输入安装元件和基板的连接配线的信息的Ｘ射线检查区域设定方法、Ｘ射线检查装置及Ｘ射线检查区域设定程序。在基板检查的示教中，若用户对基板的可见光图像输入作为检查对象的元件的二维区域，则针对该区域生成三维数据并进行解析，取得将该元件与基板连接的球状端子的中心坐标、个数、行数及列数。另外，也可以显示如此取得的中心坐标等结果。在画面（１５０１）内的显示栏（１５０２）上显示基板的可见光图像。在显示栏（１５０２）上，以与可见光图像重叠的方式，显示与作为检查对象所取得的区域对应的框（６１０），并根据基于三维数据取得的焊锡球的位置等来显示与各焊锡球对应的框（６１０Ｃ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种X射线检查方法、X射线检查装置以及X射线检查程序，特别是涉 及在检查印刷电路基板与电路元件之间的接合的合格与否等时所使用的X射线检查区域 设定方法、X射线检查装置以及X射线检查区域设定程序。
技术介绍
在现有技术中，为了通过非破坏性检查来检查锡焊在印刷电路基板(在下面简称 为“基板”)上的元件的锡焊状态合格与否等，经常使用X射线CT (Computed Tomography 计算机断层摄影法)。在X射线CT中，从多个方向利用X射线来拍摄对象物，从而取得表 示X射线吸收程度(衰減量)的分布的多张透视图像。进而，根据多张透视图像进行重建 处理，得到检查对象的X射线吸收系数分布的二维数据或三维数据。在这样的检查中，有时会对多个相同形状的基板逐个检查各基板上的相同位 置，在这样的情况下，使用作为定位基准的被测定物来向检查装置进行检查位置的示教 (teaching)。然后，对于被示教的检查位置逐个生成同种类的被测定物的X射线透视图像， 根据该透视图像来检查各被测定物。在以往公开了很多种涉及这种检查的技术。例如，在专利文献1和专利文献2中 所公开的技术中，在进行示教时，在接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线检查区域设定方法，用于设定检查区域，该检查区域用于利用Ｘ射线来检查基板，其特征是，包括：显示可见光图像的步骤，该可见光图像是从与基板面垂直的方向拍摄上述基板所得到的；接受对信息的输入的步骤，该信息用于在所显示的上述图像中指定安装在基板上的元件存在的范围；根据Ｘ射线的透视图像来生成三维的重建数据的步骤，该Ｘ射线的透视图像是指，对包括所指定的上述范围内的元件的区域的三维区域进行Ｘ射线透视所得到的透视图像；通过对上述三维的重建数据进行处理，确定用于连接上述基板和上述元件的配线的位置的信息的步骤；根据所确定的配线的位置的信息，在上述三维区域中确定与上述配线对应的区域，并将所确定的区域设定为检...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：林秀之，吉田邦雄，村上清，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]