【技术实现步骤摘要】
一种薄膜厚度检测装置
[0001]本技术涉及薄膜检测
，具体涉及一种薄膜厚度检测装置。
技术介绍
[0002]当今微电子薄膜，光学薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，由于电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。
[0003]薄膜厚度的检测，通过光接触直接感应薄膜的厚度，但是，光接触测量薄膜厚度，需要薄膜水平放置在光检测设备上；而当薄膜放置发生倾斜偏移时，会导被检测的薄膜厚度不准确。而对于光检测设备在安装固定时，需要确保设备的水平放置，尤其是放置薄膜的工作台需要保持水平。而现有技术中的光检测设备调节水平度操作复杂；因此，研发一种薄膜厚度检测装置是很有必要的。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种薄膜厚度检测装置，以解决上述问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术实施例提供了...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，包括：支撑架（1）、上探头（2）、下探头（3）、水平板（4）和检测组件（5），所述上探头（2）和所述下探头（3）分别垂直固定在所述支撑架（1）侧壁，所述下探头（3）和所述上探头（2）对称设置；所述水平板（4）可升降的设置在所述下探头（3）上端，所述检测组件（5）固定在所述下探头（3）上，且所述检测组件（5）与所述水平板（4）联动；其中，所述检测组件（5）内的球体（53）发生偏移时，以指示所述下探头（3）放置发生倾斜。2.如权利要求1所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述水平板（4）上开设有若干调节孔（41），每所述调节孔（41）内螺纹设置有一调节柱（42），所述调节柱（42）可转动的设置在所述下探头（3）上；其中，周向转动任一调节柱（42），以调节所述水平板（4）的整体水平度。3.如权利要求2所述的一种薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述下探头（3）上固定有一发生器（31），所述发生器（31）适于发射检测激光；所述水平板（4）上开设有一检测孔，检测激光适于穿过所述检测孔并射向上探头（2）。4.如权利要求3所述的一种薄...
【专利技术属性】
技术研发人员：严循东，
申请(专利权)人：蓝冰河常州精密测量技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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