树脂填充袋、保护膜的制造方法和干膜抗蚀剂的制造方法技术

本发明专利技术涉及树脂填充袋、保护膜的制造方法和干膜抗蚀剂的制造方法。本发明专利技术的课题在于提供一种对抑制在保护膜中产生鱼眼有用的树脂填充袋。一种树脂填充袋，其为在包装袋中填充有树脂的树脂填充袋，其中，上述树脂为用于制造保护膜的树脂，上述包装袋具有外袋和内袋，上述外袋为挠性容器，并且上述内袋为以聚烯烃类树脂作为材料的袋。类树脂作为材料的袋。类树脂作为材料的袋。

【技术实现步骤摘要】
树脂填充袋、保护膜的制造方法和干膜抗蚀剂的制造方法


[0001]本专利技术涉及树脂填充袋、保护膜的制造方法和干膜抗蚀剂的制造方法。

技术介绍

[0002]以往，干膜抗蚀剂在形成用于半导体集成电路的引线框架或印刷线路板的电极时使用。这样的干膜抗蚀剂一般具有基材膜(例如由聚酯等形成的膜)、层叠在该基材膜上的感光性的抗蚀剂层和层叠在该抗蚀剂层上的保护膜。
[0003]在使用如上所述的干膜抗蚀剂形成上述电极时，将保护膜从抗蚀剂层上剥离，从而制成具有基材膜和抗蚀剂层的层叠膜。然后，以抗蚀剂层与用于形成上述电极的电极用金属层接触的方式将层叠膜层叠在电极用金属层上，并对抗蚀剂层进行曝光。由此，在抗蚀剂层上印上规定的图案。然后，除去除印在抗蚀剂层上的图案以外的区域的层叠膜，从而形成抗蚀剂图案。然后，将该抗蚀剂图案作为掩模对电极用金属层进行蚀刻，然后除去抗蚀剂图案，由此能够形成印刷线路板或引线框架的电极。
[0004]在此，在制造保护膜时，有时在保护膜中产生鱼眼。当在保护膜中存在鱼眼时，在抗蚀剂层上通过进行曝光而印上规定的图案时，有时在该图案中产生缺陷。因此，作为抑制在保护膜中产生鱼眼的方法，在专利文献1中公开了如下方法：在制造作为用于制造保护膜的树脂使用的聚乙烯时，在自由基聚合引发剂的存在下在特定的反应温度和反应压力下将乙烯聚合。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2002
‑
060426号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的问题
[0009]但是，即使是如上所述的方法，有时依然在保护膜中产生鱼眼，因此要求能够抑制在保护膜中产生鱼眼的新方法。
[0010]因此，本专利技术的课题在于提供一种对抑制在保护膜中产生鱼眼有用的树脂填充袋以及保护膜的制造方法。另外，本专利技术的课题还在于提供一种使用抑制了鱼眼的保护膜的干膜抗蚀剂的制造方法。
[0011]用于解决问题的手段
[0012]本专利技术的树脂填充袋为在包装袋中填充有树脂的树脂填充袋，其中，
[0013]所述树脂为用于制造保护膜的树脂，
[0014]所述包装袋具有外袋和内袋，
[0015]所述外袋为挠性容器，并且
[0016]所述内袋为以聚烯烃类树脂作为材料的袋。
[0017]本专利技术的保护膜的制造方法包含以下工序：
[0018]工序(1)：从上述树脂填充袋中取出树脂；和
[0019]工序(2)：将被取出的树脂熔融混炼并制膜。
[0020]本专利技术的干膜抗蚀剂的制造方法包含工序(3)：
[0021]将利用上述保护膜的制造方法得到的保护膜贴合在层叠膜上，所述层叠膜具有基材膜和形成在该基材膜上的抗蚀剂层。
[0022]专利技术效果
[0023]根据本专利技术，能够提供对抑制在保护膜中产生鱼眼有用的树脂填充袋以及保护膜的制造方法。另外，能够提供使用抑制了鱼眼的保护膜的干膜抗蚀剂的制造方法。
附图说明
[0024]图1为表示本专利技术的一个实施方式的树脂填充袋所具有的包装袋的立体图。
[0025]图2为表示该实施方式的树脂填充袋所具有的包装袋的构成构件的立体图。
[0026]图3为表示在实施例的试验中在乙烯与α
‑
烯烃的共聚物的制造中使用的装置的结构的示意图。
[0027]图4为表示在实施例的试验中在乙烯均聚物的制造中使用的装置的结构的示意图。
[0028]标号说明
[0029]1……
输送管道；2
……
输送管道；3、4、7、8
……
开关阀(阀)；5、6
……
引入管；9、10
……
气罐；11
……
气相聚合反应器；12
……
料斗(容器)；13
……
压缩机；14
……
热交换器；15
……
循环气体管线；16
……
气体分散板；20
……
气相聚合装置；21
……
初级压缩机前段；22
……
初级压缩机后段；23
……
次级压缩机；24
……
高压聚合反应器；25
……
高压分离器；26
……
未反应高压乙烯管道；27
……
聚乙烯抽出管道；28
……
低压分离器；29
……
未反应低压乙烯管道；30
……
聚乙烯抽出管道；31
……
高压聚合装置；101
……
包装袋；102
……
填充部；103
……
封闭部；104
……
外袋；105
……
内袋；106
……
主体部；107
……
吊绳部；108
……
侧壁部；109
……
开口部；110
……
底部；111
……
开口部
具体实施方式
[0030]以下，根据附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。需要说明的是，在以下的附图中，对相同或相应的部分标注相同的参考符号，不重复进行其说明。
[0031]本实施方式的树脂填充袋为在图1所示的包装袋101中填充有用于制造保护膜的树脂(以下也记载为“保护膜用树脂”)的袋。因此，首先对保护膜用树脂进行说明。
[0032]作为保护膜用树脂，例如可以列举聚烯烃类树脂等。
[0033](聚烯烃类树脂)
[0034]作为聚烯烃类树脂，例如可以列举聚乙烯类树脂、聚丙烯类树脂等，优选为聚乙烯类树脂。
[0035](聚乙烯类树脂)
[0036]聚乙烯类树脂包含乙烯类聚合物。即，在保护膜用树脂为聚乙烯类树脂的情况下，该保护膜用树脂包含乙烯类聚合物。乙烯类聚合物为包含大于50质量％的衍生自乙烯的结构单元的聚合物，可以为乙烯均聚物，也可以为包含大于50质量％的衍生自乙烯的结构单
元的乙烯类共聚物。作为乙烯类共聚物，可以列举乙烯与α
‑
烯烃的共聚物、乙烯与被脂环族化合物取代的α
‑
烯烃的共聚物等。聚乙烯类树脂可以仅包含乙烯均聚物和乙烯类共聚物中的一者作为乙烯类聚合物，也可以包含乙烯均聚物和乙烯类共聚物这两者作为乙烯类聚合物。在聚乙烯类树脂包含乙烯均聚物和乙烯类共聚物这两者作为乙烯类聚合物的情况下，聚乙烯类树脂可以包含乙烯均聚物与乙烯类共聚物的混合物。作为该混合物，例如可以列举通过聚合得到乙烯均聚物并在所得到的乙烯均聚物的存在下进行乙烯类共聚物的聚合而得到的混合物(多步聚合物)。
[0037]需要说明的是，在本说明书中，“衍生自乙烯的结构单元”这样的术语中的“结构单元”是指单体的聚合单元。因此，例如“衍生自乙烯的结构单元”是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种树脂填充袋，其为在包装袋中填充有树脂的树脂填充袋，其中，所述树脂为用于制造保护膜的树脂，所述包装袋具有外袋和内袋，所述外袋为挠性容器，并且所述内袋为以聚烯烃类树脂作为材料的袋。2.如权利要求1所述的树脂填充袋，其中，所述用于制造保护膜的树脂为用于制造干膜抗蚀剂的保护膜的树脂。3.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述用于制造保护膜的树脂包含乙烯类聚合物。4.如权利要求3所述的树脂填充袋，其中，所述乙烯类聚合物为高压法低密度聚乙烯。5.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述内袋为以乙烯类聚合物作为材料的袋。6.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述外袋的厚度为0.10mm以上且3.00mm以下，所述内袋的厚度为0.05mm以上且0.10mm以下。7.如权利要求1或2所述的树脂填充袋，其中，所述外袋的容量为50L以上且5000L以下，所述内袋...

【专利技术属性】
技术研发人员：棤木健介，濑户美喜，真见俊彦，广江崇，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：