【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关一种激光器，特别是指一种转换效率高、光束质量好的高重复频率窄脉宽的半导体泵浦紫外激光器。
技术介绍
紫外激光是光谱区域中波长位于450nm以下激光的统称，由于紫外激光波长短，频率高，单光子能量大，可以直接作用于材料的分子键或原子键，从而实现材料的精密冷加工，加工效率高，热影响小。因此紫外激光在各种精密加工如硅片刻划、三维微细加工中有重要的应用。 目前，获得紫外激光的途径有多种，用以产生紫外激光的常见激光器有染料紫外激光器、准分子紫外激光器及固体紫外激光器等。染料及准分子紫外激光器重复频率低，通常在1kHz以下；功率小，通常为mW量级，寿命较短，主要用于医学，精密测量等领域。半导体泵浦的固体紫外激光器是目前工业用紫外激光器发展的主要潮流，具有功耗小，结构小巧紧凑，性能稳定可靠等优点。但是目前半导体泵浦的固体紫外激光器的功率受制于倍频效率和倍频晶体的质量，很难通过单纯增加泵浦功率来提高功率；同时由于紫外激光波长短，单光子能量高，所以激光器光学元件很容易在一段时间的使用后发生不可逆转的损伤，因此现有的半导体泵浦的固体紫外激光器存在有难以产生更大功率紫外激...
【技术保护点】
一种半导体泵浦紫外激光器，其特征在于，其包括有两组泵浦耦合聚焦系统及一个谐振腔，所述两组泵浦耦合聚焦系统分别位于所述谐振腔的两端，所述泵浦耦合聚焦系统发出的泵浦光射入所述谐振腔内双端面泵浦所述谐振腔内的激光工作晶体，所述谐振腔内设有紫外激光输出装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：闵大勇，卢飞星，何里，
申请(专利权)人：武汉华工激光工程有限责任公司，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]
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