电镀液自动管控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件，本实用新型专利技术提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。动上传数据的电镀液自动管控装置。动上传数据的电镀液自动管控装置。

【技术实现步骤摘要】
电镀液自动管控装置


[0001]本技术涉及半导体电镀领域，更具体涉及一种电镀液自动管控装置。

技术介绍

[0002]电镀是指通过电化学原理在框架表面沉积一层镀层。是半导体集成电路工艺制造过程的重要工艺，因此电镀液的成分、浓度等参数对镀层的质量至关重要。
[0003]目前电镀液的浓度管控是通过实验室检测并管控的，首先要人工取样，再手动检测各管控项目的数据，再根据各项目的管控目标值用计算机计算出调整所需的添加量，最后由人工将各种药液添加进电镀槽内，待混合均匀后才能开始生产，并需要做好数据记录保存工作。
[0004]主要存在以下缺点：
[0005]1.人工取样费时费力，电镀液具有腐蚀性，存在与皮肤接触的风险。不同的电镀液有不同的温度使用要求，人工取样到检测时，电镀液的温度已经发生变化，检测出来的浓度也会受到影响，取样前需要排出部分管道中残留的电镀液，避免影响检测数据。
[0006]2.手动检测时，需要提前准备大量标准溶液，还要对样品进行前处理工作，取样时存在人为误差，会对最终的检测结果有一定影响。<br/>[0007]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.电镀液自动管控装置，其特征在于，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，所述电镀液槽连接循环泵组件，所述循环泵组件连接滤芯罐组件，所述接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，所述补液组件连接电镀液槽，所述自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件。2.根据权利要求1所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述循环泵组件包括第一出液管、循环泵和第二出液管，所述第一出液管连接循环泵和电镀液槽，所述第二出液管连接循环泵和滤芯罐组件。3.根据权利要求2所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述滤芯罐组件包括：滤芯罐、流量调节阀、第三出液管和第四出液管，所述第三出液管连接滤芯罐和电镀液槽，所述第四出液管连接自动分析组件和补液组件最后回流至电镀液槽。4.根据权利要求3所述的电镀液自动管控装置，其特征在于，所述第二出液管连接循...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦芹，许艳林，
申请(专利权)人：江苏芯德半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：