【技术实现步骤摘要】
POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组及其装配方法
[0001]本专利技术涉及微波封装集成
,特别是一种POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组及其装配方法。
技术介绍
[0002]随着电子信息作战形态的不断演进,电磁环境愈加复杂,为保持对战场态势的感知,需要侦察设备具有尽量宽的接收带宽,高灵敏度外差接收机等在军用电子装备中得到越来越广泛的应用。而对各种轻小无人机、无人船、巡飞弹等新型载荷平台的出现,传统宽带变频组件越来越难以满足轻小平台小型化低功耗的需求。
[0003]为实现高性能的宽带接收机,传统变频模块大多采用分立元件拼接的方式,前用大量的滤波器实现频率预选,再结合分立裸芯片在各种基板上组合排布实现变频功能,元器件整体较零碎,面积利用率不高。近年来也有一些研究尝试结合LTCC技术或者多层射频印制板技术实现小型化设计,但往往都无法摆脱金属框架封装的问题,这导致了体积重量的额外增加。
[0004]专利技术一种基于电子对抗的小型化宽带收发变频模块(申请号:202210130460.0申请日:2022
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11)块将设置有上下变频通道的复合板与设置有本振源、控制电路和电源电路的数字板通过金属隔板上下叠放,并设置连接器实现复合板和数字板之间的信号互联,实现了物理信号的良好隔离和宽带收发变频模块的小型化堆叠,但是尺寸相对较大,且功耗较高,对于一些小型化平台并不适用。而随着硅基CMOS单片集成电路技术、先进封装电子材料和射频半导体工艺水平的进步,兼顾宽带接收功能的同时 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组,其特征在于,包括陶瓷基座(1)、塑封硅基变频多功能模组(2)、MEMS毫米波开关滤波器模组(3)、倒扣盖板(4)、GaAs开关滤波器芯片(5)、二级中频滤波芯片组(6)和BGA焊球(7);所述POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组以陶瓷基座(1)为主体,顶部用BGA焊球(7)焊接塑封硅基变频多功能模组(2)和MEMS毫米波开关滤波器模组(3),陶瓷基座(1)底部腔体内部装配GaAs开关滤波器芯片(5)、二级中频滤波芯片组(6),装配完成后底部腔体使用倒扣盖板(4)封闭;陶瓷基座(1)底部四周设置BGA焊球阵列(8),作为对外的电连接口。2.根据权利要求1所述的POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组,其特征在于,所述陶瓷基座(1),采用高温共烧陶瓷基材制作,顶部留有对应堆叠焊接其他模组的BGA焊球(7)焊盘,底部设置有内凹的腔体,腔体内部设置有隔墙,将腔体分隔成两个部分;腔体内部电路按照裸芯片微组装要求设计,腔体内分别粘接GaAs开关滤波器芯片(5)和二级中频滤波芯片组(6);隔墙中间有接地通孔,隔离电磁信号;陶瓷基座(1)底部围绕腔体周围,排布BGA焊球阵列(8),作为对外的电连接口;在瓷体结构中,采用12层电路图形实现高低频信号的扇出、互联和隔离功能,其中顶部1~2层电路用做堆叠模组的电源、控制引脚扇出,3~5层电路用做射频信号互联布线,6层用做内部电路的电源、控制引脚扇出,7~8层作为底层腔体的射频布线、裸芯片装配,9~12层作为大面积接地及信号隔离。3.根据权利要求1所述的POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组,其特征在于,所述塑封硅基变频多功能模组(2),内部设置变频多功能芯片,基于硅基CMOS工艺设计制造;所述CMOS工艺利用多层金属内埋电感、传输线、构建MOS电容、高频CMOS晶体管技术手段提高芯片集成度,在单芯片上集成双向放大器、两级混频、多级数控衰减、本振倍频驱动和大部分变频组件的有源电路功能;封装采用重布线扇出技术,引出密集排布的高低频引脚到阵列排布的BGA焊球(7)引脚上,顶部做塑封处理,芯片被聚合物整个包裹保护,使用时采用回流焊工艺焊接BGA焊球(7)引脚到对接端。4.根据权利要求1所述的POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组,其特征在于,所述MEMS毫米波开关滤波器模组(3),采用基于贯穿硅通孔和晶圆级键合的MEMS加工技术制造,在硅基衬底上将MEMS滤波器、开关芯片和驱动控制芯片集成为单个系统级封装模组;毫米波一级中频滤波器起到信号带宽选择和混频交调抑制的作用,采用MEMS硅基内埋的交指滤波结构,满足滤波器的带外抑制和矩形系数要求;所述MEMS毫米波开关滤波器模组(3)通过TSV通孔连接传输信号至硅载板底部,并通过BGA焊球(7)对外连接陶瓷基座(1);所述MEMS毫米波开关滤波器模组(3)通过晶圆级键合密封为独立配装的模组。5.根据权利要求1所述的POP堆叠集成的微型宽带收发变频模组,其特征在于,所述倒扣盖板(4),采用可伐合金制作,厚度为0.8mm;所述可伐合金具有与陶瓷一致的膨胀系数,在模组装配过程与陶瓷基座保持应力匹配。6.根据权利要求1所述的POP堆叠集成的微型宽带...
【专利技术属性】
技术研发人员:韦炜,孙乎浩,费新星,王坚,王海江,王勇,邢君,张兴稳,白明强,
申请(专利权)人:中国船舶集团有限公司第七二三研究所,
类型:发明
国别省市:
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