一种电镜载物装置及扫描电镜制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及扫描电镜技术领域，具体涉及一种电镜载物装置及扫描电镜，电镜载物装置包括第一载物台和第二载物台，第一载物台呈矩形状，顶面设有多个第一载物槽，适于放置样品，第一载物台侧壁活动连接有至少一个第二载物台，第二载物台上设有第二载物槽，且第二载物槽位置低于第一载物槽。通过将第二载物台活动连接在第一载物台的侧壁上，提高了装置的载物能力，增加了一次性放入样品的数量，避免观测时多次换样，提高了观察效率，增加了装置的放置能力，具有简单便捷又增加高弧段试样形貌观察范围的优点，为部件失效收集更多证据。为部件失效收集更多证据。为部件失效收集更多证据。

【技术实现步骤摘要】
一种电镜载物装置及扫描电镜


[0001]本技术涉及扫描电镜
，具体涉及一种电镜载物装置及扫描电镜。

技术介绍

[0002]燃气轮机高温部件工作时服役于高速、高压、高温的燃气腐蚀环境中，承受着复杂应力作用，部件自身复杂的几何形状造成表面不连续。高温部件腐蚀及摩擦损伤多发部位的表面质量分析是其失效判据收集的主要途径。
[0003]一般采用线切割获得部件样品，然后进行扫描电镜分析，但切割所得大量弧形试样存在形状复杂、高低不平等特性，常形成高、低弧形试样，为批量异形样件快速、高效形貌观察带来难度，其中高弧试样壁面形貌观察尤为困难。
[0004]由于扫描电镜要求批次放入载物台样件的高度基本一致，而且电镜高真空环境要求高，现有技术中的扫描电镜载物能力差，通常采用将同一类型试样多批次放入扫描电镜载物台进行观察，从而导致换样耗时耗力，造成异形样件损伤形貌观察效率低。

技术实现思路

[0005]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中扫描电镜载物台载物能力差，从而导致换样耗时耗力，造成异形样件损伤形貌观察效率低的缺陷。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镜载物装置，其特征在于，包括：第一载物台(1)，呈矩形状，所述第一载物台(1)顶面设有多个第一载物槽(11)，适于放置样品；至少一个第二载物台(2)，与所述第一载物台(1)侧壁活动连接，所述第二载物台(2)上设有第二载物槽(21)，且所述第二载物槽(21)位置低于所述第一载物槽(11)。2.根据权利要求1所述的电镜载物装置，其特征在于，所述第二载物台(2)呈L形。3.根据权利要求2所述的电镜载物装置，其特征在于，所述第一载物台(1)侧壁上开设有多个安装孔(12)，所述第二载物台(2)侧壁上开设有安装槽(22)，所述安装孔(12)与所述安装槽(22)间连接有固定件(3)。4.根据权利要求2所述的电镜载物装置，其特征在于，所述第一载物台(1)侧壁上安装有滑轨(13)，所述第二载物台(2)侧壁上安装有滑块(23)，所述滑块(23)滑动安装在所述滑轨(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘全明，马伟，肖俊峰，高斯峰，唐文书，南晴，张炯，李永君，徐小卜，高松，陈佰鑫，
申请(专利权)人：华能国际电力股份有限公司，
类型：新型
国别省市：