基板设备和方法技术

基板支撑设备可包括监控装置，所述监控装置被配置为监控多个抽吸装置中的抽吸装置的位置。在一些实施方式中，用于封装倾斜的基板堆叠的基板封装设备可包括基板支撑结构和压紧装置。在一些实施方式中，方法可包括：堆叠多个基板以形成倾斜的基板堆叠；对所述倾斜的基板堆叠的特征进行成像；以及使用在所述成像期间获得的信息来确定所述倾斜的基板堆叠的特性。在一些实施方式中，方法可包括：将附加基板堆叠在倾斜的基板堆叠上；以及在基板支撑设备接合所述附加基板的同时用所述基板支撑设备确定所述倾斜的基板堆叠的特性。确定所述倾斜的基板堆叠的特性。确定所述倾斜的基板堆叠的特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板设备和方法
[0001]本申请根据35U.S.C.
§
119要求2020年7月9日提交的美国临时申请序列号63/049,852的优先权的权益，该申请的内容是本申请的基础并以引用方式全文并入本文。


[0002]本申请大体上涉及基板设备和方法；更具体地，本申请涉及基板支撑设备、基板封装设备和方法。

技术介绍

[0003]已知将基板存储为倾斜的基板堆叠。典型地，通过连续地将单独的基板相互抵靠放置直到堆叠完成来产生倾斜的基板堆叠。在一些实施方式中，倾斜的基板堆叠可经封装以用于运输、存储和/或处理。在堆叠处理期间，可能发生不希望的扇形展开(fanning)，在扇形展开中倾斜的基板堆叠中的一个或多个基板与基板堆叠中的一个或多个其他基板不平行，使得倾斜的基板堆叠的一个位置处的厚度与倾斜的基板堆叠的另一位置处的厚度不同。需要控制倾斜的基板堆叠的扇形展开以保持倾斜的堆叠中所有基板的正确定位和/或保护倾斜的基板堆叠中的一个或多个基板免于由于过度的应力集中所导致的损坏，这种过度的应力集中可为固有的，此固有是因为过度的扇形展开。

技术实现思路

[0004]下文呈现本申请的简化概述，以提供对本申请中所描述的一些实施方式的基本理解。
[0005]在一些实施方式中，用于将基板堆叠在倾斜的基板堆叠上的基板支撑设备也可用于确定倾斜的基板堆叠的特性(例如，扇形展开)。因为每个基板都用基板支撑设备堆叠在倾斜的基板堆叠上，因此这种双重功能可允许用基板支撑设备确定特性。因此，可在减少的时间量内来执行和可在堆叠每个附加基板之后来执行确定特性的步骤。
[0006]在一些实施方式中，压紧装置可用于在堆叠基板以形成倾斜的基板堆叠时减少扇形展开。在一些实施方式中，可提供单个压紧循环，其可有益于减少扇形展开同时最小化进行压紧处理所需的时间。在另外的实施方式中，压紧处理可包括在堆叠每个基板之后的两个压紧循环。与单个压紧周期相比，两个压紧周期可进一步减少扇形展开。在两个压紧循环中的每一者期间，与使用较大的压紧压力的单个压紧循环相比，用减小的压紧压力也可实现减小的扇形展开，从而减少潜在的应力断裂。
[0007]在一些实施方式中，基板支撑设备可包括底座和多个抽吸装置。多个抽吸装置中的每个抽吸装置可移动地安装到底座。基板支撑设备可进一步包括监控装置，此监控装置被配置为监控多个抽吸装置中的抽吸装置的位置。
[0008]在一些实施方式中，监控装置被配置为监控抽吸装置相对于底座的位置。
[0009]在一些实施方式中，监控装置可包括超声波传感器。
[0010]在一些实施方式中，超声波传感器可固定地安装到底座。
[0011]在一些实施方式中，多个抽吸装置中的每个抽吸装置可移动地安装到底座，以相对于底座沿调节方向平移。
[0012]在一些实施方式中，多个抽吸装置可包括一列抽吸装置。一列抽吸装置中的每个抽吸装置可沿垂直于调节方向的列轴与一列抽吸装置中的另一个抽吸装置间隔开。
[0013]在一些实施方式中，多个抽吸装置中的至少一个抽吸装置可相对于多个抽吸装置的至少一个附加抽吸装置独立地移动。
[0014]在一些实施方式中，用于封装倾斜的基板堆叠的基板封装设备可包括被配置为支撑倾斜的基板堆叠的基板支撑结构。基板支撑结构可包括被配置为支撑倾斜的基板堆叠的基板的主表面的后表面。基板支撑结构可进一步包括下表面，此下表面远离后表面延伸且被配置为支撑倾斜的基板堆叠的基板的下边缘。基板封装设备可进一步包括压紧装置，此压紧装置包括沿后表面的宽度延伸的压紧轴。
[0015]在一些实施方式中，基板封装设备可包括多个致动器，此多个致动器被配置为沿压紧轴向倾斜的基板堆叠的下部分施加力。
[0016]在一些实施方式中，压紧装置可包括多个致动器，此多个致动器被配置为沿压紧轴向倾斜的基板堆叠的下部分施加变化的力。
[0017]在一些实施方式中，多个致动器中的至少一个致动器可独立于多个致动器中的至少另一个致动器操作。
[0018]在一些实施方式中，压紧装置可包括与流体压力腔室连通的多个孔。
[0019]在一些实施方式中，方法可包括：在基板支撑结构上堆叠多个基板以形成倾斜的基板堆叠。方法可进一步包括：对倾斜的基板堆叠的特征进行成像，以及使用在成像期间获得的信息来确定倾斜的基板堆叠的特性。
[0020]在一些实施方式中，倾斜的基板堆叠的特性可包括倾斜的基板堆叠的扇形展开。
[0021]在一些实施方式中，方法可进一步包括：用支撑附加基板的基板支撑设备将附加基板堆叠在倾斜的基板堆叠上，且通过将附加基板与压紧装置接合来压紧倾斜的基板堆叠。
[0022]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，压紧装置可沿压紧轴施加压力。
[0023]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，可沿倾斜的基板堆叠的下部分定位压紧轴。
[0024]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，压紧装置可沿压紧轴向附加基板施加变化的压力。
[0025]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，压紧装置可在附加基板和压紧装置之间产生流体垫。
[0026]在一些实施方式中，可在基板支撑设备支撑附加基板的同时进行压紧。
[0027]在一些实施方式中，方法可进一步包括：使基板支撑设备与附加基板脱离。
[0028]在一些实施方式中，可在用压紧装置压紧倾斜的基板堆叠的同时使基板支撑设备与附加基板脱离。
[0029]在一些实施方式中，方法可进一步包括：使压紧装置与附加基板脱离。
[0030]在一些实施方式中，方法可进一步包括：将附加基板与压紧装置重新接合。
[0031]在一些实施方式中，方法可包括：将附加基板堆叠在倾斜的基板堆叠上，其中基板
支撑设备接合附加基板。方法可进一步包括：在基板支撑设备接合附加基板的同时，用基板支撑设备确定倾斜的基板堆叠的特性。
[0032]在一些实施方式中，在将附加基板堆叠在倾斜的基板堆叠上时，基板支撑设备的多个抽吸装置可以可移除地附接到附加基板。
[0033]在一些实施方式中，确定特性的步骤可包括：相对于多个抽吸装置中的另一个抽吸装置移动多个抽吸装置中的一个抽吸装置。
[0034]在一些实施方式中，确定特性可包括：监控一个抽吸装置的位置。
[0035]在一些实施方式中，可用超声波传感器监控一个抽吸装置的位置。
[0036]在一些实施方式中，方法可进一步包括：用压靠在附加基板上的压紧装置压紧倾斜的基板堆叠。
[0037]在一些实施方式中，压紧倾斜的基板堆叠的步骤可包括：用压紧装置沿压紧轴向附加基板施加压力。
[0038]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，可沿倾斜的基板堆叠的下部分定位压紧轴。
[0039]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆叠时，压紧装置可沿压紧轴向附加基板施加变化的压力。
[0040]在一些实施方式中，当压紧倾斜的基板堆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板支撑设备，包括：底座；多个抽吸装置，所述多个抽吸装置中的每一者可移动地安装到所述底座；以及监控装置，所述监控装置被配置为监控所述多个抽吸装置中的抽吸装置的位置。2.如权利要求1所述的基板支撑设备，其中所述监控装置被配置为监控所述抽吸装置相对于所述底座的所述位置。3.如权利要求1至2中任一项所述的基板支撑设备，其中所述监控装置包括超声波传感器。4.如权利要求3所述的基板支撑设备，其中所述超声波传感器固定地安装到所述底座。5.如权利要求1至4中任一项所述的基板支撑设备，其中所述多个抽吸装置中的每个抽吸装置可移动地安装至所述底座，以相对于所述底座沿调节方向平移。6.如权利要求5所述的基板支撑设备，其中所述多个抽吸装置包括一列抽吸装置，其中所述一列抽吸装置中的每个抽吸装置沿列轴与所述一列抽吸装置中的另一抽吸装置间隔开，所述列轴垂直于所述调节方向。7.如权利要求5至6中任一项所述的基板支撑设备，其中所述多个抽吸装置中的至少一个抽吸装置可相对于所述多个抽吸装置的至少一个附加抽吸装置独立地移动。8.一种用于封装倾斜的基板堆叠的基板封装设备，所述基板封装设备包括：基板支撑结构，所述基板支撑结构被配置为支撑所述倾斜的基板堆叠，所述基板支撑结构包括后表面和下表面，所述后表面被配置为支撑所述倾斜的基板堆叠的基板的主表面，所述下表面远离所述后表面延伸并被配置为支撑所述倾斜的基板堆叠的所述基板的下边缘；以及压紧装置，所述压紧装置包括沿所述后表面的宽度延伸的压紧轴。9.如权利要求8所述的基板封装设备，其中所述压紧装置包括多个致动器，所述多个致动器被配置为沿所述压紧轴向所述倾斜的基板堆叠的下部分施加力。10.如权利要求8所述的基板封装设备，其中所述压紧装置包括多个致动器，所述多个致动器被配置为沿所述压紧轴向所述倾斜的基板堆叠的下部分施加变化的力。11.如权利要求9至10中任一项所述的基板支撑设备，其中所述多个致动器中的至少一个致动器可独立于所述多个致动器中的至少另一个致动器操作。12.如权利要求8所述的基板封装设备，其中所述压紧装置包括与流体压力腔室连通的多个孔。13.一种方法，包括：在基板支撑结构上堆叠多个基板以形成倾斜的基板堆叠；对所述倾斜的基板堆叠的特征进行成像；以及使用在所述成像的成像期间获得的信息来确定所述倾斜的基板堆叠的特性。14.如权利要求13所述的方法，其中所述倾斜的基板堆叠的所述特性包括所述倾斜的基板堆叠的扇形展开(fanning)。15.如权利要求13至14中任一项所述的方法，进一步包括：用支撑附加基板的基板支撑设备将所述附加基板堆叠在所述倾斜的基板堆叠上，以及通过将所述附加基板与所述压紧装置接合来压紧所述倾斜的基板堆叠。
16.如权利要求15所述的方法，其中当压紧所述倾斜的基板堆叠时，所述压紧装置沿压紧轴施加压力。17.如权利要求16述的方法，其中当压紧所述倾斜的基板堆叠时，沿所述倾斜的基板堆叠的下部分定位所述压紧轴。18...

【专利技术属性】
技术研发人员：N，
申请(专利权)人：康宁公司，
类型：发明
国别省市：