【技术实现步骤摘要】
一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法
[0001]本专利技术属于超分辨成像
,具体涉及一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法。
技术介绍
[0002]微纳结构因其尺度细微产生的众多优良理化特性,被广泛应用于电子信息、国防军工和生物医学等众多领域。为了寻求更加优异的性能,微纳结构的尺度已由微米量级发展至纳米量级。数字全息作为一种微纳光学测量手段,相较于其他测量方法免去了扫描步骤,可实现面形信息的快速构建,是一种有效的微纳结构的高精度三维形貌表征手段。数字全息作为光学手段存在衍射受限,其横向分辨率仅能达到300nm左右。如何突破衍射极限,提升数字全息系统的分辨率,一直是检测领域关注的难点问题之一。
[0003]多年来,研究人员相继提出了一系列突破衍射极限的光学测量手段,其中结构光照明超分辨凭借其装置简单、面快速成像的优势已成为光学显微超分辨成像方面应用最多的技术之一。
[0004]为了提升数字全息的测量分辨率,研究者将结构光照明超分辨技术结合到数字全息测量光路中,能够将数字全息分辨率提升一倍,形成了全新的结构光数字全息显微方案。但该方案为实现超分辨信息的解调和各向同性,需要采集多幅相移结构光数字全息图。研究者提出了许多无相移的测量方案,配合并后续解调算法以提升测量系统的测量效率。然而,以前提出的方案在无相移的过程中,基本都是通过迭代算法对混叠频谱进行解调,实时性较差。现有测量系统存在的问题限制了结构光数字全息在高速三维超分辨测量领域的应用。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法,其特征在于,包括:采用三种不同波长的光束产生结构光场,每个结构光光场由一束45
°
线偏振光束与一束圆偏振光光束干涉产生,形成复合结构光场照明待测样品,通过显微物镜产生物光,随后正入射到分光元件上;同时一束45
°
线偏振光束作为参考光入射分光元件的另一侧,物光和参考光通过偏振分光元件后,两束光的S光和P光分离,经耦合透镜产生横向位移,在彩色相机上相干叠加产生两幅带有相移差的彩色结构光数字全息图;通过对每幅图像的色彩通道进行分离,单次曝光得到六幅结构光数字全息图,通过后续超分辨解调算法解调出其中的高频信息,实现瞬态三维超分辨成像。2.根据权利要求1所述的一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法,其特征在于,所述两幅带有相移差的彩色结构光数字全息图的产生方法具体为:假定结构光光场的两个干涉光束为平面波,则光束可以表示为:假定结构光光场的两个干涉光束为平面波,则光束可以表示为:其中O
1j
为45
°
线偏振光,O
2j
为右旋圆偏振光,A为光束的振幅,为光束的相位。O
1、2j
分别表示当j=1时,表示在水平方向的干涉光束,当j=2时,表示与水平方向呈60
°
方向的干涉光束,当j=3时,表示与水平方向呈120
°
方向的干涉光束,相同波长的两束光载频呈共轭状态;在透射过待测物体之后,两束物光可以表示为:态;在透射过待测物体之后,两束物光可以表示为:其中为待测物体的相位信息,假定与水平方向呈45
°
的线偏振光为平面波,则可以表示为:其中为待测物体的相位信息,物光和参考光在通过偏振分光元件之后,P光和S光部分分别相干叠加产生固定相位差为的结构光数字全息光场:
加载在相位光栅周期T=100μm。3.根据权利要求2所述的一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法,其特征在于,所述超分辨解调算...
【专利技术属性】
技术研发人员:金川,周吉,刘俊伯,全海洋,孙海峰,
申请(专利权)人:四川科奥达技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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