一种真空系统技术方案

本申请提供一种真空系统，用于紫外光谱辐射检测，真空系统包括：真空舱和抽真空装置，抽真空装置用于对真空舱进行抽真空；真空舱包括真空舱体和真空舱盖，真空舱体与真空舱盖围合成一密闭容纳腔；真空舱采用屈服应力高于5.050

【技术实现步骤摘要】
一种真空系统


[0001]本申请涉及光学测试设备校准
，具体涉及一种真空系统。

技术介绍

[0002]精确测量各个波段的真空紫外光谱辐射参数，可以对预测空间天气、太阳风暴形成、飞行器等航天器件的真空紫外波段测试提供很大的帮助，因此，对于真空紫外波段的研究成为了焦点。
[0003]由于真空紫外波段能量在大气中会被严重吸收，故而无法在非真空条件下开展相应的精密测量工作。为了对真空紫外波段进行测量，往往需要在真空舱内对真空紫外波段进行检测，然而，在相关技术中，为了避免真空舱在抽真空时发生形变，提供的用于真空紫外波段检测的真空舱提及往往较大，重量达数吨，占地面积达数十平方。这就导致了真空紫外波段检测往往只能在实验室进行，且安装繁琐，对真空紫外波段的检测带来不便。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种技术方案，解决相关技术中存在的用于真空紫外检测的真空舱体积庞大，使用不便的问题。
[0005]基于上述问题，本申请实施例提供轻量化的一种真空系统，用于真空紫外光谱辐射检测，所述真空系统包括：真空舱和抽真空装置，所述抽真空装置用于对所述真空舱进行抽真空；
[0006]所述真空舱包括真空舱体和真空舱盖，所述真空舱体与所述真空舱盖围合成一密闭容纳腔；
[0007]所述真空舱采用屈服应力高于5.050
×
108N/m2的金属材料制成，并在所述真空舱的外表面采用加强筋进行加固，所述真空舱的体积大于或等于1.8375
×
104cm3，并且所述真空舱的体积小于或等于4.5
×
104cm3。
[0008]进一步的，所述真空舱体为长方体形，所述真空舱体包括四个侧壁，其中第一侧壁与第二侧壁相对设置，第三侧壁与第四侧壁相对设置，所述第一侧壁的面积大于所述第三侧壁的面积；
[0009]所述第一侧壁外设置有第一加强筋，所述第一加强筋的长度基本与所述真空舱体的高度相等，所述第一加强筋基本与所述真空舱体的底面垂直，并且，所述第一加强筋将所述第一侧壁分割为面积相等的两个部分；
[0010]所述第二侧壁外设置有第二加强筋，在垂直于所述第一侧壁表面的方向上，以所述第一加强筋在第一侧壁表面的投影为第一投影，以所述第二加强筋在第一侧壁表面的投影为第二投影，所述第一投影与所述第二投影重合。
[0011]进一步的，所述真空舱盖外侧设置有第三加强筋，在所述第一加强筋与所述第二加强筋构成的平面内，所述第三加强筋位于所述平面。
[0012]进一步的，所述真空舱盖外侧还设置有第四加强筋，在垂直于所述真空舱体底面
的方向上，以所述第三加强筋在底面上的投影为第三投影，以所述第四加强筋在底面上的投影为第四投影，所述第四投影垂直平分所述第三投影。
[0013]进一步的，所述真空舱盖外侧设置有至少三根加强筋，其中，在垂直于所述真空舱体底面的方向上，以所述第三加强筋在底面上的投影为第三投影，以第五加强筋在底面上的投影为第五投影，以第六加强筋在底面上的投影为第六投影；
[0014]所述第三投影、第五投影以及第六投影有一共同交点，所述共同交点位于所述第三投影的中点，并且，所述第五投影与第三投影的夹角基本等于所述第六投影与第三投影的夹角。
[0015]进一步的，真空舱盖内侧设置有至少四个结构加强块，当所述真空舱盖与所述真空舱体组合时，各个所述结构加强块分别与所述真空舱体一侧壁的内壁抵接。
[0016]进一步的，所述真空舱采用7075
‑
T6铝合金，并且，所述加强筋与所述真空舱一体成型。
[0017]进一步的，所述真空舱体的壁厚为6～10mm。
[0018]进一步的，所述加强筋的厚度与所述真空舱的壁厚基本相等。
[0019]进一步的，所述真空舱的侧壁设置有：氘灯入口预留法兰、真空计接口法兰、低压电缆穿舱法兰、高压电缆穿舱法兰和真空分子泵接口法兰；
[0020]其中，所述氘灯入口预留法兰、所述低压电缆穿舱法兰和所述真空分子泵接口法兰与所述真空舱体一体成型；
[0021]所述真空计接口法兰和所述高压电缆穿舱法兰均为KF接口法兰，所述真空计接口法兰和所述高压电缆穿舱法兰通过螺纹与所述真空舱体连接，并通过O型圈密封。
[0022]根据以上说明，本申请提供一种轻量化、便携式的真空系统，用于真空紫外光谱辐射检测，包括真空舱和抽真空装置，采用屈服应力高于5.050
×
108N/m2的金属材料制成真空舱，并利用加强筋对真空舱体的结构进行加强，使得其在6
×
10
‑3Pa的工作真空度依旧不会发生明显变形，满足真空紫外光谱辐射的检测需求。
附图说明
[0023]图1为本申请实施例提供的真空系统示意图；
[0024]图2为本申请实施例提供的真空舱体示意图；
[0025]图3为本申请实施例提供的真空舱体应力仿真图；
[0026]图4为本申请实施例提供的真空舱盖应力仿真图；
[0027]图5为本申请另一实施例提供的真空舱盖应力仿真图；
[0028]图6为本申请另一实施例提供的真空舱盖示意图；
[0029]图7为本申请实施例提供的真空舱盖示意图；
[0030]图8为本申请实施例提供的真空舱在第一方向上的示意图；
[0031]图9为本申请实施例提供的真空舱在第二方向上的示意图；
[0032]图10为本申请实施例提供的抽真空装置示意图。
具体实施方式
[0033]以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述，但这些实施方式并
不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。
[0034]如图1所示，本申请实施例提供一种真空系统100，用于真空紫外光谱辐射检测。本申请实施例提供的真空系统100包括真空舱11和抽真空装置12。其中，抽真空装置12用于对真空舱11进行抽真空。抽真空装置12可以使真空舱11内的真空度至少达到6
×
10
‑3Pa。
[0035]真空舱11包括一真空舱体111和一真空舱盖112。真空舱体111和真空舱盖112可以围合成一密闭容纳腔。
[0036]作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的真空舱11采用屈服应力高于5.050
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108N/m2的金属材料制成，并在真空舱11的外表面采用加强筋进行加固，真空舱11的体积大于或等于1.8375
×
104cm3，并且真空舱11的体积小于或等于4.5
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104cm3。
[0037]例如，本申请实施例采用7075
‑
T6铝合金制作真空舱体111和真空舱盖112，并且，真空舱体111的内部尺寸在设计为长400mm，宽350mm，200mm。其容积仅为2.8
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104cm3，其重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空系统，用于紫外光谱辐射检测，其特征在于，所述真空系统包括：真空舱和抽真空装置，所述抽真空装置用于对所述真空舱进行抽真空；所述真空舱包括真空舱体和真空舱盖，所述真空舱体与所述真空舱盖围合成一密闭容纳腔；所述真空舱采用屈服应力高于5.050
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108N/m2的金属材料制成，并在所述真空舱的外表面采用加强筋进行加固，所述真空舱的体积大于或等于1.8375
×
104cm3，并且所述真空舱的体积小于或等于4.5
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104cm3。2.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于，所述真空舱体为长方体形，所述真空舱体包括四个侧壁，其中第一侧壁与第二侧壁相对设置，第三侧壁与第四侧壁相对设置，所述第一侧壁的面积大于所述第三侧壁的面积；所述第一侧壁外设置有第一加强筋，所述第一加强筋的长度基本与所述真空舱体的高度相等，所述第一加强筋基本与所述真空舱体的底面垂直，并且，所述第一加强筋将所述第一侧壁分割为面积相等的两个部分；所述第二侧壁外设置有第二加强筋，在垂直于所述第一侧壁表面的方向上，以所述第一加强筋在第一侧壁表面的投影为第一投影，以所述第二加强筋在第一侧壁表面的投影为第二投影，所述第一投影与所述第二投影重合。3.根据权利要求2所述的真空系统，其特征在于，所述真空舱盖外侧设置有第三加强筋，在所述第一加强筋与所述第二加强筋构成的平面内，所述第三加强筋位于所述平面。4.根据权利要求3所述的真空系统，其特征在于，所述真空舱盖外侧还设置有第四加强筋，在垂直于所述真空舱体底面的方向上，以所述第三加强筋在底面上的投影为第三投...

【专利技术属性】
技术研发人员：占春连，赵天琦，金尚忠，邹艳霞，方彬，石岩，陈义，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：