放射线检测装置制造方法及图纸

技术编号:37469692 阅读:25 留言:0更新日期:2023-05-06 09:48
放射线检测装置具备:挠性基板;放射线检测部,其位于挠性基板上;驱动电路部,其在挠性基板的边部上与放射线检测部相邻地配置,驱动放射线检测部;以及外部连接用的中继部,其位于从挠性基板的边部向外侧延伸的延伸部,具有与驱动电路部连接的多个布线层。此外,中继部也可以是边部侧的根部的宽度比边部的长度短的结构。的结构。的结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测装置


[0001]本公开涉及柔性X射线传感器等放射线检测装置。

技术介绍

[0002]现有技术的放射线检测装置例如记载于专利文献1。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2012

156204号公报

技术实现思路

[0006]本公开的放射线检测装置具备:挠性基板;放射线检测部,其位于所述挠性基板上;驱动电路部,其在所述挠性基板的边部上,与所述放射线检测部相邻地配置并驱动所述放射线检测部;以及外部连接用的中继部,其位于从所述挠性基板的所述边部向外侧延伸的延伸部,具有与所述驱动电路部连接的多个布线层。
附图说明
[0007]根据下述的详细说明和附图,本专利技术的目的、特色以及优点将变得更加明确。
[0008]图1是表示本公开的一实施方式的放射线检测装置的结构的俯视图。
[0009]图2A是从左方观察图1的放射线检测装置的局部放大侧视图。
[0010]图2B是表示在图2A的结构中没有中继部的布线层的上层的例子的局部放大侧视图。
[0011]图3A表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的根部的放大俯视图。
[0012]图3B表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的根部的放大俯视图。
[0013]图4A表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的局部放大侧视图。
[0014]图4B表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的局部放大侧视图。
[0015]图4C表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的局部放大侧视图。
[0016]图5表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置,是中继部的局部放大侧视图。
[0017]图6A是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0018]图6B是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0019]图7是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0020]图8是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0021]图9是从左方观察图8的放射线检测装置的局部放大侧视图。
[0022]图10是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0023]图11是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0024]图12A是从左方观察图11的放射线检测装置的一例的侧视图。
[0025]图12B是从左方观察图11的放射线检测装置的另一例的侧视图。
[0026]图12C是从左方观察图11的放射线检测装置的另一例的侧视图。
[0027]图12D是从左方观察图11的放射线检测装置的另一例的侧视图。
[0028]图13是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0029]图14是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0030]图15是从左方观察图14的放射线检测装置的侧视图。
[0031]图16是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0032]图17是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
[0033]图18是表示本公开的另一实施方式的放射线检测装置的俯视图。
具体实施方式
[0034]本公开的放射线检测装置作为基础的结构的放射线检测装置即X射线传感器具备X射线传感器面板。X射线传感器面板具备玻璃基板,通过在玻璃基板上形成呈矩阵状排列的受光部(光电转换部)以及将在受光部中产生的信号(电荷)取出到外部的驱动电路部等,并在其上层层叠闪烁层来制作该X射线传感器面板。X射线传感器通过在X射线传感器面板安装保护框、电路基板、布线等公知的构件而构成。X射线传感器是将X射线转换为可见光的摄像装置的1种,能够使拍摄到的图像信号显示于显示装置。X射线传感器面板被组装在X射线装置等中使用。
[0035]关于X射线传感器面板,在单体或多个被搬运并组装到X射线装置等大型放射线摄像装置时,从轻量化带来的搬运时的便利性、防破损性等方面考虑,期望是柔性X射线面板(以下,也称为柔性面板)。柔性面板在薄型以及轻量的基础上,与具备玻璃基板的X射线面板相比,具有在掉落、与其他构件碰撞时不易破损的优点。近年来,对于柔性面板的期望在多使用大型放射线摄像装置的医疗领域等中有所提高。
[0036]以往的柔性面板例如如下制作。首先,在玻璃基板上形成作为柔性面板的挠性基板(柔性基板)的聚酰亚胺(PI)树脂膜。接下来,在挠性基板上形成作为排列成矩阵状的光电转换部的受光部、用于将在各受光部产生的信号(电荷)向外部取出的作为开关元件的薄膜晶体管(Thin FilmTransistor:TFT)等,制作光电转换传感器部。在该时间点,柔性面板的主体部完成。接下来,在挠性基板的端部,将作为外部连接构件的柔性印刷基板(Flexible Printed Circuit:FPC)、TAB(Tape Automated Bonding)带等经由各向异性导电膜(Anisotropic Conductive Film:ACF)等导电连接构件电连接和机械连接并安装。外部连接构件经由印刷布线板(Printed Wiring Board:PWB)与外部的控制电路等连接。最后,通过将挠性基板从玻璃基板剥离,从而完成带有外部连接构件的柔性面板。
[0037]这样的柔性面板通常为几微米~数百微米的厚度,因此存在剥离后的处理性(handling)差的课题。因此,大多采用在背面粘贴支承膜、在表面粘贴保护膜的做法。
[0038]如前述的现有技术那样,在完成柔性面板的主体部后,在连接并安装FPC、TAB等外
部连接构件的结构中,外部连接构件从以数百~数千个为单位成为一体的卷筒状的构件进行脱模而进行单片化来制作。若分别制作外部连接构件,则还存在外部连接构件的安装时的成品率降低、工序数的增加导致的制造费用的增加、工序数的增加导致的可靠性降低等风险。此外,带外部连接构件的柔性面板在挠性基板的不是外部连接构件的安装部位的部分,具有相对于纵向(与挠性基板的基板面正交的方向)的弯曲载荷的耐性。但是,在挠性基板的安装部位及与其相连的部分,相对于FPC、TAB带等的向挠性基板的背面侧弯曲外部连接构件而使用时产生的纵向的弯曲载荷的耐性、以及相对于热应变导致的纵向的弯曲载荷的耐性不充分。即,存在外部连接构件从挠性基板的外部连接构件的安装部位剥离、或引起连接不良的情况。
[0039]此外,通过向挠性基板的背面侧弯曲并使用外部连接构件时产生的纵向的弯曲载荷、以及热应变引起的纵向的弯曲载荷,容易对位于挠性基板上的外部连接构件的附近的驱动电路部施加应力。在该情况下,有可能对构成驱动电路部的TFT施加应力而使特性劣化,或者在驱动电路部包含IC等驱动元件的情况下,驱动元件有可能从挠性基板脱离。
[004本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测装置,具备:挠性基板;放射线检测部,其位于所述挠性基板上;驱动电路部,其在所述挠性基板的边部上与所述放射线检测部相邻地配置,驱动所述放射线检测部;外部连接用的中继部,其位于从所述挠性基板的所述边部向外侧延伸的延伸部,具有与所述驱动电路部连接的多个布线层。2.根据权利要求1所述的放射线检测装置,其中,所述中继部的所述边部侧的根部的宽度比所述边部的长度短。3.根据权利要求1或2所述的放射线检测装置,其中,所述挠性基板具有多个所述中继部。4.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,所述驱动电路部位于所述挠性基板的与所述放射线检测部所在的一侧相反的一侧。5.根据权利要求1~4中任一项所述的放射线检测装置,其中,所述多个布线层具有靠所述驱动电路部一侧被内置于所述延伸部的内层部、以及与所述驱动电路部相反的一侧从所述延伸部露出的露出部。6.根据权利要求5所述的放射线检测装置,其中,所述多个布线层的所述内层部的长度比所述露出部的长度长。7.根据权利要求5或6所述的放射线检测装置,其中,所述内层部的所述多个布线层的上侧的部位的厚度比所述多个布线层的下侧的部位的厚度厚。8.根据权利要求1~7中任一项所述的放射线检测装置,其中,所述多个布线层的在俯视时所述中继部中的占有面积比剩余部分的面积大。9.根据权利要求1~8中任一项所述的放射线检测装置,其中,所述中继部的所述根部的两端...

【专利技术属性】
技术研发人员:野口登西冈幸也
申请(专利权)人:京瓷株式会社
类型:发明
国别省市:

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