侦测装置以及集成电路风扇装置制造方法及图纸

本申请提出一种侦测装置。所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态。本申请另外提出一种集成电路风扇装置。所述集成电路风扇装置包括离子风扇以及前述侦测装置。所述离子风扇经配置以提供离子气流。经配置以提供离子气流。经配置以提供离子气流。

【技术实现步骤摘要】
侦测装置以及集成电路风扇装置


[0001]本申请是有关于半导体领域，详细来说，是有关于一种侦测装置以及集成电路风扇装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中，通常使用离子风扇提供离子气流来减少静电放电对芯片制造过程的影响。然而，当离子风扇故障而导致离子气流不足以减少静电放电时难以立刻被使用者发现，如此将导致芯片持续在静电放电的环境下，进而造成芯片不可弥补的损失。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提出一种侦测装置以及集成电路风扇装置来解决上述问题。
[0004]依据本申请的一实施例，提出一种侦测装置。所述侦测装置经配置以侦测所述离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断所述离子风扇的状态。
[0005]依据本申请的一实施例，所述侦测装置包括：电源供应单元、传感单元以及警示单元。所述传感单元电性连接至所述电源供应单元。所述传感单元经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径。所述警示单元电性连接至所述电源供应单元。所述警示单元经配置以在所述第一电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侦测装置，其特征在于，所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态，所述侦测装置包括：电源供应单元；传感单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径；以及警示单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第一电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。2.根据权利要求1所述的侦测装置，其特征在于，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述警示单元串联连接于所述第一电性路径之中。3.一种侦测装置，其特征在于，所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态，所述侦测装置包括：电源供应单元；传感单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径；以及开关单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第一电性路径导通时导通第二电性路径；警示单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第二电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。4.根据权利要求3所述的侦测装置，其特征在于，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述开关单元串联连接于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁井余，杨裕富，陈小辉，吴伟，王志宾，王红星，
申请(专利权)人：日月新半导体昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：