侦测装置以及集成电路风扇装置制造方法及图纸

本申请提出一种侦测装置。所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态。本申请另外提出一种集成电路风扇装置。所述集成电路风扇装置包括离子风扇以及前述侦测装置。所述离子风扇经配置以提供离子气流。经配置以提供离子气流。经配置以提供离子气流。

【技术实现步骤摘要】
侦测装置以及集成电路风扇装置


[0001]本申请是有关于半导体领域，详细来说，是有关于一种侦测装置以及集成电路风扇装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中，通常使用离子风扇提供离子气流来减少静电放电对芯片制造过程的影响。然而，当离子风扇故障而导致离子气流不足以减少静电放电时难以立刻被使用者发现，如此将导致芯片持续在静电放电的环境下，进而造成芯片不可弥补的损失。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提出一种侦测装置以及集成电路风扇装置来解决上述问题。
[0004]依据本申请的一实施例，提出一种侦测装置。所述侦测装置经配置以侦测所述离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断所述离子风扇的状态。
[0005]依据本申请的一实施例，所述侦测装置包括：电源供应单元、传感单元以及警示单元。所述传感单元电性连接至所述电源供应单元。所述传感单元经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径。所述警示单元电性连接至所述电源供应单元。所述警示单元经配置以在所述第一电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。
[0006]依据本申请的一实施例，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述警示单元串联连接于所述第一电性路径之中。
[0007]依据本申请的一实施例，所述侦测装置包括电源供应单元、传感单元、开关单元以及警示单元。所述传感单元电性连接至所述电源供应单元。所述传感单元经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径。所述开关单元电性连接至所述电源供应单元。所述开关单元经配置以在所述第一电性路径导通时导通第二电性路径。所述警示单元电性连接至所述电源供应单元。所述警示单元经配置以在所述第二电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。
[0008]依据本申请的一实施例，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述开关单元串联连接于所述第一电性路径之中，所述电源供应单元、所述警示单元以及所述开关单元串联连接于所述第二电性路径之中。
[0009]依据本申请的一实施例，所述电源供应单元在所述第一电性路径导通时驱动所述开关单元导通所述第二电性路径，并在所述第二电性路径导通时驱动所述警示单元以指示所述离子风扇的状态为异常。
[0010]依据本申请的一实施例，所述传感单元包括风量传感器。所述风量传感器的风挡拨片在所述离子气流的速度小于预设速度时连接所述风量传感器的干簧管以导通所述第一电性路径。
[0011]依据本申请的一实施例，所述开关单元包括继电器。所述继电器中的电磁铁连接至所述第一电性路径。所述继电器中的第一常开触点和第二常开触点连接至所述第二电性
路径。
[0012]依据本申请的一实施例，所述警示单元包括发光二极管，所述发光二极管经配置以通过发光以指示所述离子风扇的状态为异常；和/或；所述警示单元包括蜂鸣器，所述蜂鸣器经配置以通过发出报警音以指示所述离子风扇的状态为异常。
[0013]依据本申请的一实施例，提出一种集成电路风扇装置。所述集成电路风扇装置包括上述侦测装置以及离子风扇。所述离子风扇经配置以提供离子气流。
[0014]通过本申请提出的集成电路风扇装置，可以即时提醒使用者离子风扇的状态，避免因离子风扇故障导致芯片生产过程受到静电放电的影响，造成不可弥补的损失。
附图说明
[0015]附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：
[0016]图1演示依据本申请一实施例的集成电路风扇装置的方块示意图。
[0017]图2演示依据本申请一实施例的侦测装置的示意图。
[0018]图3演示依据本申请一实施例的侦测装置的电路示意图。
[0019]图4演示依据本申请一实施例的侦测装置的示意图。
[0020]图5演示依据本申请一实施例的侦测装置的电路示意图。
具体实施方式
[0021]以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。
[0022]再者，在此处使用空间上相对的词汇，譬如「之下」、「下方」、「低于」、「之上」、「上方」及与其相似者，可能是为了方便说明图中所绘示的一组件或特征相对于另一或多个组件或特征之间的关系。这些空间上相对的词汇其本意除了图中所绘示的方位之外，还涵盖了装置在使用或操作中所处的多种不同方位。可能将所述设备放置于其他方位(如，旋转90度或处于其他方位)，而这些空间上相对的描述词汇就应该做相应的解释。
[0023]虽然用以界定本申请较广范围的数值范围与参数皆是约略的数值，此处已尽可能精确地呈现具体实施例中的相关数值。然而，任何数值本质上不可避免地含有因个别测试方法所致的标准偏差。在此处，「约」通常系指实际数值在一特定数值或范围的正负10％、5％、1％或0.5％之内。或者是，「约」一词代表实际数值落在平均值的可接受标准误差之内，视本申请所属
中具有通常知识者的考虑而定。当可理解，除了实验例之外，或除非另有明确的说明，此处所用的所有范围、数量、数值与百分比(例如用以描述材料用量、时间长短、温度、操作条件、数量比例及其他相似者)均经过「约」的修饰。因此，除非另有相反的
说明，本说明书与附随权利要求书所揭示的数值参数皆为约略的数值，且可视需求而更动。至少应将这些数值参数理解为所指出的有效位数与套用一般进位法所得到的数值。在此处，将数值范围表示成由一端点至另一端点或介于二端点之间；除非另有说明，此处所述的数值范围皆包括端点。
[0024]图1演示依据本申请一实施例的集成电路风扇装置1的示意图。在某些实施例中，集成电路风扇装置1经配置以输出离子气流L。在某些实施例中，离子气流L可以对芯片生产线提供保护，避免生产线上的芯片、元器件受到静电放电的影响。在某些实施例中，集成电路风扇装置1包括离子风扇11以及侦测装置12。在某些实施例中，离子风扇11经配置以提供离子气流L。在某些实施例中，侦测装置12经配置以侦测离子气流L的速度，并根据离子气流L的速度判断离子风扇11的状态。
[0025]图2演示依据本申请一实施例的侦测装置22的示意图。在某些实施例中，侦测装置22可以用以实现图1实施例的侦测装置12。在某些实施例中，侦测装置22包括电源供应单元221、传感单元222以及警示单元223。在某些实施例中，传感单元222电性连接至电源供应单元22本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侦测装置，其特征在于，所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态，所述侦测装置包括：电源供应单元；传感单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径；以及警示单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第一电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。2.根据权利要求1所述的侦测装置，其特征在于，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述警示单元串联连接于所述第一电性路径之中。3.一种侦测装置，其特征在于，所述侦测装置经配置以侦测离子气流的速度，并根据所述离子气流的速度判断离子风扇的状态，所述侦测装置包括：电源供应单元；传感单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以根据所述离子气流的速度选择性地导通第一电性路径；以及开关单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第一电性路径导通时导通第二电性路径；警示单元，电性连接至所述电源供应单元，经配置以在所述第二电性路径导通时指示所述离子风扇的状态为异常。4.根据权利要求3所述的侦测装置，其特征在于，所述电源供应单元、所述传感单元以及所述开关单元串联连接于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁井余，杨裕富，陈小辉，吴伟，王志宾，王红星，
申请(专利权)人：日月新半导体昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：