【技术实现步骤摘要】
PVDF浆料的回收方法及系统
[0001]本申请实施例涉及材料回收
,尤其涉及一种PVDF浆料的回收方法及系统。
技术介绍
[0002]聚偏二氟乙烯(PVDF,Polyvinylidene fluoride)及其共聚物是一种多晶体的高聚物材料,经过极化处理后具有良好的压电性能。PVDF材料具有质轻、柔韧、可大面积制备等优点,相比传统的压电陶瓷材料具有更高的压电电压系数,更易匹配的声阻抗,且兼容半导体溶液态制程。现如今,PVDF材料已广泛应用在各种超声换能器中,特别地,可被应用于制作超声波生物识别传感器。
[0003]在利用PVDF材料制造超声传感器的制造工序中,以12寸半导体硅制程为例,一般是通过旋转涂布工艺,将具有一定黏度和固含量的PVDF浆料通过旋转装置旋转,在离心力的作用下,于硅基基板上形成均匀膜层。为确保膜层的表面均匀,旋涂喷头通常会吐出过量的PVDF浆料。对于12寸的基板而言,为形成微米级别的干膜,一次至少需要吐出20~40ml的PVDF浆料,但实际最终沉积在硅基表面的仅有其中的5%~10%,大部分的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种PVDF浆料的回收方法,其特征在于,包括:若利用第一PVDF浆料和N种清理材料对目标基体进行涂布,收取所述目标基体外的第一废料,其中,所述清理材料用于在涂布的过程中清除所述目标基体上的部分第一PVDF浆料,所述第一PVDF浆料包括M种溶剂,N≥1且N为整数,M≥1且M为整数;若所述N种清理材料中的至少一种清理材料的种类与所述第一PVDF浆料中的M种溶剂的种类均不相同,则去除所述第一废料所包含的清理材料得到第二废料,并利用所述第二废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述去除所述第一废料所包含的清理材料得到第二废料,包括:对所述第一废料进行煅烧处理,以去除所述第一废料所包含的清理材料,得到粉体形式的第二废料。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述利用所述第二废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料,包括:测定所述粉体形式的第二废料的粉体参数,利用粉体参数满足第一预定条件的第二废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料,其中,所述粉体参数包括PVDF及其共聚物的含量、居里温度、熔点、热塑性塑料熔体流动速率中的至少之一。4.根据权利要求1
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3任一项所述的方法,其特征在于,所述第一废料包括:所述第一PVDF浆料和所述清理材料凝固形成的固体废料,和/或,所述第一PVDF浆料和所述清理材料混合形成的浆料废料。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:若所述N种清理材料的种类均与所述第一PVDF浆料中的M种溶剂中的至少一种溶剂的种类相同,则利用所述第一废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,对于所述第一废料中的固体废料,所述利用所述第一废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料,包括:利用所述第一PVDF浆料的溶剂,将所述固体废料进行溶解处理,得到第二PVDF浆料;将所述第二PVDF浆料的黏度和PVDF固含量调整到预定范围之内,得到再生PVDF浆料;或者,所述利用所述第一废料进行配浆处理,得到再生PVDF浆料,包括:对所述固体废料进...
【专利技术属性】
技术研发人员:许钰旺,韦亚,龙卫,周榆涵,
申请(专利权)人:深圳市汇顶科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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