本实用新型专利技术涉及靶材加工技术领域的一种平面靶材的表面加工装置，包括底座和固定连接在底座一侧的支撑板，所述支撑板的内部固定连接有液压杆，所述液压杆的底部设有固定座，所述固定座的底部固定连接有驱动座，所述驱动座的内部设有驱动组件，所述驱动组件的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的一端固定连接有固定框，所述固定框的一侧固定连接有切割电机。通过液压杆、固定座、驱动座、驱动组件、电动推杆、切割电机、转轴、切割刀、固定筒、限位组件、限位板和一号防滑垫的配合使用，从而可便于对平面靶材的位置进行固定限位，使平面靶材的中心保持与液压杆的中心一致，同时可便于对平面靶材进行切割的作用。平面靶材进行切割的作用。平面靶材进行切割的作用。
【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材的表面加工装置
[0001]本技术涉及靶材加工
，特别是涉及一种平面靶材的表面加工装置。
技术介绍
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，而靶材在通过真空磁控溅射镀膜之前，需要对靶材本体的边缘进行切割。
[0003]如授权公告号为CN214393317U所公开的一种合金靶材表面加工装置，其虽然通过设置施压手轮、螺纹杆和抵压块，通过抵压块对合金靶材的抵压校平，校平时间短，不会压坏合金靶材，但现有技术中的靶材边缘在切割加工的过程中，靶材在固定时，容易在切割的阻力下，使靶材位置移动，而位置移动则造成靶材切割的位置存在误差，降低对靶材边缘切割精度的问题，为此我们提出一种平面靶材的表面加工装置。
技术实现思路
[0004]针对上述问题，本技术提供了一种平面靶材的表面加工装置，具有对靶材的位置进行定位固定，增加靶材的位置固定精度，提高对靶材切割时的切割精度。
[0005]本技术的技术方案是：一种平面靶材的表面加工装置，包括底座和固定连接在底座一侧的支撑板，所述支撑板的内部固定连接有液压杆，所述液压杆的底部设有固定座，所述固定座的底部固定连接有驱动座，所述驱动座的内部设有驱动组件，所述驱动组件的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的一端固定连接有固定框，所述固定框的一侧固定连接有切割电机，所述切割电机的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的表面固定套接有切割刀，所述固定座的内部均固定连接有四个固定筒，四个所述固定筒的内部均设有限位组件，所述限位组件的一端固定连接有限位板，四个所述限位板的内侧均固定连接有一号防滑垫。
[0006]在进一步的技术方案中，所述底座的上表面开设有放置槽，所述放置槽的上表面固定连接有支撑座，所述支撑座的上表面和驱动座的底部均固定连接有二号防滑垫，所述放置槽的表面开设有若干个碎屑孔，所述底座的内部滑动连接有碎屑框。
[0007]在进一步的技术方案中，所述驱动组件包括固定连接在驱动座内部的驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有转动杆，所述转动杆的一侧与电动推杆固定连接。
[0008]在进一步的技术方案中，所述限位组件包括固定连接在固定筒内部的强力拉伸弹簧，所述强力拉伸弹簧的一端固定连接有滑板，所述滑板的一侧固定连接有拉杆，所述拉杆的一端与限位板固定连接。
[0009]在进一步的技术方案中，所述液压杆的底部固定连接有连接螺杆，所述固定座的
上表面开设有连接螺孔，所述连接螺杆的一端螺纹连接在连接螺孔的内部。
[0010]在进一步的技术方案中，所述驱动座内壁的底部开设有环形凹槽，所述电动推杆的底部固定连接有限位杆，所述限位杆的底部转动连接有滚珠，所述限位杆和滚珠的一端滑动连接在环形凹槽的内部。
[0011]在进一步的技术方案中，所述驱动座的外侧表面开设有环形通槽，所述电动推杆的一端滑动连接在环形通槽的内部。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、通过液压杆、固定座、驱动座、驱动组件、电动推杆、切割电机、转轴、切割刀、固定筒、限位组件、限位板和一号防滑垫的配合使用，从而可便于对平面靶材的位置进行固定限位，使平面靶材的中心保持与液压杆的中心一致，同时可便于对平面靶材进行切割的作用；
[0014]2、通过放置槽、支撑座、二号防滑垫、碎屑孔和碎屑框的配合使用，从而可便于对切割时产生的碎屑进行收集的作用。
附图说明
[0015]图1是本技术实施例的整体结构示意图；
[0016]图2是本技术实施例的驱动组件结构示意图；
[0017]图3是本技术实施例的固定座结构示意图；
[0018]图4是本技术实施例的限位组件内部结构剖视图；
[0019]附图标记说明：
[0020]1、底座；2、支撑板；3、液压杆；4、固定座；5、驱动座；6、电动推杆；7、固定框；8、切割电机；9、转轴；10、切割刀；11、固定筒；12、限位板；13、一号防滑垫；14、支撑座；15、二号防滑垫；16、碎屑孔；17、碎屑框；18、驱动电机；19、转动杆；20、强力拉伸弹簧；21、滑板；22、拉杆；23、连接螺杆；24、连接螺孔；25、环形凹槽；26、限位杆；27、滚珠；28、环形通槽；29、放置槽。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术的实施例作进一步说明。
[0022]实施例：
[0023]如图1
‑
图4所示，一种平面靶材的表面加工装置，包括底座1和固定连接在底座1一侧的支撑板2，支撑板2的内部固定连接有液压杆3，用于推动切割刀10和限位板12下滑的作用，液压杆3的底部设有固定座4，固定座4的底部固定连接有驱动座5，驱动座5的内部固定连接有驱动电机18，用于提供动力的作用，驱动电机18的输出轴通过联轴器固定连接有转动杆19，转动杆19的一端固定连接有电动推杆6，用于推动切割刀10滑动，可切割不同尺寸的平面靶材，电动推杆6的一端固定连接有固定框7，固定框7的一侧固定连接有切割电机8，用于提供动力的作用，切割电机8的输出轴通过联轴器固定连接有转轴9，转轴9的表面固定套接有切割刀10，用于切割靶材的作用，固定座4的内部均固定连接有四个固定筒11，四个固定筒11的内部均固定连接有强力拉伸弹簧20，用于拉动限位板12对不同尺寸的平面靶材进行位置限位的作用，强力拉伸弹簧20的一端固定连接有滑板21，滑板21的一侧固定连接有拉杆22，拉杆22的一端固定连接有限位板12，用于对平面靶材进行位置限位，四个限位板
12的内侧均固定连接有一号防滑垫13，驱动座5内壁的底部开设有环形凹槽25，电动推杆6的底部固定连接有限位杆26，限位杆26的底部转动连接有滚珠27，用于辅助电动推杆6转动的作用，限位杆26和滚珠27的一端滑动连接在环形凹槽25的内部，驱动座5的外侧表面开设有环形通槽28，便于电动推杆6周转的作用，电动推杆6的一端滑动连接在环形通槽28的内部。
[0024]上述技术方案的工作原理如下：
[0025]通过把平面靶材放置在支撑座14的表面上，然后通过启动液压杆3推动固定座4、驱动座5下滑，下滑到一定位置后，通过拉动限位板12带动拉杆22滑动，使四个限位板12的内侧抵触在平面靶材的表面，在强力拉伸弹簧20的拉力下带动了拉杆22和滑板21滑动在固定筒11的内部，从而可通过限位板12对平面靶材的四面进行位置限位，使平面靶材在四个限位板12的限位下，使平面靶材的中心保持在支撑座14的中心位置，从而可便于对平面靶材的位置进行限位，然后继续推动固定座4，使二号防滑垫15抵触在平面靶材的上表面，通过液压杆3的压力可对平面靶材进行固定，然后通过启动驱动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材的表面加工装置，包括底座(1)和固定连接在底座(1)一侧的支撑板(2)，其特征在于：所述支撑板(2)的内部固定连接有液压杆(3)，所述液压杆(3)的底部设有固定座(4)，所述固定座(4)的底部固定连接有驱动座(5)，所述驱动座(5)的内部设有驱动组件，所述驱动组件的一端固定连接有电动推杆(6)，所述电动推杆(6)的一端固定连接有固定框(7)，所述固定框(7)的一侧固定连接有切割电机(8)，所述切割电机(8)的输出轴通过联轴器固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)的表面固定套接有切割刀(10)，所述固定座(4)的内部均固定连接有四个固定筒(11)，四个所述固定筒(11)的内部均设有限位组件，所述限位组件的一端固定连接有限位板(12)，四个所述限位板(12)的内侧均固定连接有一号防滑垫(13)。2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的表面加工装置，其特征在于：所述底座(1)的上表面开设有放置槽(29)，所述放置槽(29)的上表面固定连接有支撑座(14)，所述支撑座(14)的上表面和驱动座(5)的底部均固定连接有二号防滑垫(15)，所述放置槽(29)的表面开设有若干个碎屑孔(16)，所述底座(1)的内部滑动连接有碎屑框(17)。3.根据权利要求1所述的一种平面靶材的表面加工装置，其特征在于：所述驱动组件包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴昊堃，吴拥军，
申请(专利权)人：湖南中正鑫源新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。