超声波传感器制造技术

提供能够对近距离的对象物发送点直径小的超声波束的超声波传感器。超声波传感器是对对象物发送超声波并接收由对象物反射的超声波的传感器，其具备使进行超声波的发送和接收的超声波元件配置为阵列状的超声波阵列芯片。超声波元件具备振动部和设置于振动部的压电元件，并通过对压电元件施加电压来使振动部振动以发送超声波，并利用通过振动部的振动而从压电元件输出的信号来检测超声波的接收，超声波元件的共振频率在2000kHz以下。波元件的共振频率在2000kHz以下。波元件的共振频率在2000kHz以下。

【技术实现步骤摘要】
超声波传感器


[0001]本专利技术涉及超声波传感器。

技术介绍

[0002]现有技术中已知如下超声波传感器，通过发送超声波并接收由对象物反射的反射波来测量到对象物的距离等(例如参照专利文献1)。
[0003]该专利文献1的现有技术中的超声波传感器通过压电振子振动来使超声波发生，并通过压电振子来接收由对象物反射的超声波。电容器并列地连接到压电振子，且构成为能够通过开关操作来选择与压电振子并列地连着的电容器。在这样的超声波传感器中，通过使连到压电振子的电容器的组合变化，来控制在由压电振子接收到反射波时所输出的接收信号衰减之前消耗的残响时间。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2004
‑
343482号公报。
[0007]但是，在像上述专利文献1那样的、通过压电元件自身的振动发送超声波、并通过压电元件自身接收超声波以进行振动来检测超声波的接收的、所谓的大块(bulk)型的超声波振子中，在制造上难以进行超声波元件的小型化，例如存在难以进行针对10m本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波传感器，其特征在于，对对象物发送超声波，并接收由所述对象物反射的超声波，所述超声波传感器具备：超声波阵列芯片，所述超声波阵列芯片是使进行超声波的发送和接收的超声波元件配置成阵列状而获得的，所述超声波元件具备振动部及设置于所述振动部的压电元件，并通过对所述压电元件施加电压来使所述振动部振动以发送超声波，并利用通过所述振动部的振动而从压电元件输出的信号来检测超声波的接收，所述超声波元件的共振频率在2000kHz以下。2.根据权利要求1所述的超声波传感器，其中，当从超声波的发送方向观察时，所述超声波阵列芯片为矩形，且一边的长度在5mm以下。3.根据权利要求1或2所述的超声波传感器，其中，所述超声波元件的共振频率小于1000kHz，所述超声波元件被构成为，当将通过从所述超声波元件发送超声波而发生的所述振动部的振动振幅到刚发送...

【专利技术属性】
技术研发人员：泉尾诚治，大泽荣治，宫坂满，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：